Το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex είναι το πορώδες κεραμικό υψηλής απόδοσης που έχει κατασκευαστεί ειδικά στη διαδικασία μεταφοράς φυσικού ατμού (PVT). Η ειδική πορώδης δομή και οι εξαιρετικές ιδιότητές του παίζουν σημαντικό ρόλο στη διευκόλυνση της υψηλής ποιότητας ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου. Επιλέγοντας το Semicorex, θα αποκτήσετε ιδανικές πορώδεις κεραμικές λύσεις με σταθερή ποιότητα και σταθερή απόδοση για προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών.
Το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex είναι ένα κεραμικό υλικό εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας με σημείο τήξης περίπου 3880℃, το οποίο μπορεί να διατηρήσει σταθερή απόδοση στα απαιτητικά περιβάλλοντα λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής διάβρωσης χάρη στα ακόλουθα εξαιρετικά χαρακτηριστικά απόδοσης.
Η μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας του Semicorex porousκεραμικό καρβίδιο τανταλίουμπορεί να είναι έως και 3200℃ και μπορεί να λειτουργήσει σταθερά σε συνθήκες ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου υψηλής θερμοκρασίας για μεγάλο χρονικό διάστημα χωρίς καμία παραμόρφωση ή μαλάκυνση.
Το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex παρουσιάζει καλύτερη αντίσταση στη διάβρωση και αντοχή στην οξείδωση από τα συμβατικά κεραμικά. Μπορεί να αντέξει αποτελεσματικά τη διάβρωση του οξυγόνου υψηλής θερμοκρασίας και του ατμού Si στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων.
Το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex διαθέτει ομοιόμορφα κατανεμημένους εσωτερικούς πόρους, με πορώδες μεταξύ 10-60% (προσαρμόσιμο) και ρυθμό διέλευσης πόρων άνω του 98%. Αυτή η ειδική δομή επιτρέπει σε στοιχεία φάσης ατμού όπως το Si και το C να ρέουν και να διαχέονται ομαλά μέσα στον κλίβανο ανάπτυξης κρυστάλλων, διευκολύνοντας σημαντικά την ανάπτυξη κρυστάλλων υψηλής ποιότητας.
Κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου μέσω της διαδικασίας PVT, το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex λειτουργεί κυρίως στη διήθηση στοιχείων σε φάση ατμού, στη ρύθμιση της κλίσης θερμοκρασίας του κλιβάνου και στην καθοδήγηση ροής υλικού αερίου. Διαφορετικό από τα συμβατικά πορώδη υλικά γραφίτη επικαλυμμένα με TaC, το πορώδες κεραμικό καρβίδιο του τανταλίου Semicorex παρουσιάζει ξεχωριστά πλεονεκτήματα: Εξαλείφει τα πορώδηΓραφίτης με επίστρωση TaCΤο μειονέκτημα των υλικών είναι ο χαμηλός ρυθμός διέλευσης πόρων που προκαλείται από την επεξεργασία επίστρωσης, ενώ αποφεύγεται το σημείο πόνου του αποφλοίωσης της επίστρωσης που συναντάται κατά τη λειτουργία των υλικών γραφίτη με επικάλυψη πορώδους TaC. Χρησιμοποιώντας το πορώδες κεραμικό καρβιδίου του τανταλίου Semicorex, μπορείτε να αναστέλλετε αποτελεσματικά τα ελαττώματα εγκλεισμού άνθρακα στην ανάπτυξη κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου, βελτιώνοντας έτσι σημαντικά την ποιότητα ανάπτυξης κρυστάλλων και την απόδοση του προϊόντος.