Η Semicorex παρέχει κεραμικά ποιότητας ημιαγωγών για τα εργαλεία ημικατασκευής OEM και τα εξαρτήματα χειρισμού πλακιδίων που εστιάζουν σε στρώματα καρβιδίου του πυριτίου στις βιομηχανίες ημιαγωγών. Είμαστε κατασκευαστής και προμηθευτής Silicon Wafer Carrier για πολλά χρόνια. Το Silicon Wafer Carrier έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει τις περισσότερες από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Οι διαδικασίες εναπόθεσης ημιαγωγών χρησιμοποιούν έναν συνδυασμό πτητικών πρόδρομων αερίων, πλάσματος και υψηλής θερμοκρασίας για τη στρώση λεπτών μεμβρανών υψηλής ποιότητας σε γκοφρέτες. Οι θάλαμοι εναπόθεσης και τα εργαλεία χειρισμού γκοφρετών χρειάζονται ανθεκτικά κεραμικά εξαρτήματα για να αντέχουν σε αυτά τα απαιτητικά περιβάλλοντα.
Το Semicorex Silicon Wafer Carrier είναι καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, το οποίο έχει υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και στη θερμότητα καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα.
Παράμετροι Silicon Wafer Carrier
Τεχνικές Ιδιότητες |
||||
Δείκτης |
Μονάδα |
Αξία |
||
Όνομα υλικού |
Αντίδραση πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο πυριτίου |
Καρβίδιο πυριτίου χωρίς πίεση |
Ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου |
|
Σύνθεση |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Χύδην πυκνότητα |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Δύναμη κάμψης |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Αντοχή σε Θλίψη |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Σκληρότητα |
Κουμπί |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Θερμική αγωγιμότητα |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Συντελεστής Θερμικής Διαστολής |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ειδική Θερμότητα |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Μέγιστη θερμοκρασία στον αέρα |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Μέτρο ελαστικότητας |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Η διαφορά μεταξύ SSiC και RBSiC:
1. Η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης είναι διαφορετική. Το RBSiC πρόκειται να διεισδύσει ελεύθερο Si σε καρβίδιο του πυριτίου σε χαμηλή θερμοκρασία, το SSiC σχηματίζεται από φυσική συρρίκνωση στους 2100 μοίρες.
2. Τα SSiC έχουν λεία επιφάνεια, υψηλότερη πυκνότητα και μεγαλύτερη αντοχή, για ορισμένες σφραγίσεις με πιο αυστηρές απαιτήσεις επιφάνειας, το SSiC θα είναι καλύτερο.
3. Διαφορετικός χρόνος χρήσης κάτω από διαφορετικό PH και θερμοκρασία, το SSiC είναι μεγαλύτερο από το RBSiC
Χαρακτηριστικά του Silicon Wafer Carrier
Γραφίτης με επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.
Διαθέσιμα σχήματα κεραμικών καρβιδίου του πυριτίου:
● Κεραμική ράβδος / κεραμική περόνη / κεραμικό έμβολο
● Κεραμικός σωλήνας / κεραμικός δακτύλιος / κεραμικό χιτώνιο
● Κεραμικός δακτύλιος / κεραμική ροδέλα / κεραμικός αποστάτης
● Κεραμικός δίσκος
● Κεραμική πλάκα / κεραμικό μπλοκ
● Κεραμική μπάλα
● Κεραμικό έμβολο
● Κεραμικό ακροφύσιο
● Κεραμικό χωνευτήριο
● Άλλα προσαρμοσμένα κεραμικά μέρη