Δαχτυλίδια χάραξης πυριτίου

Οι δακτύλιοι χάραξης πυριτίου είναι τα βασικά εξαρτήματα εντός του θαλάμου χάραξης πλάσματος του εξοπλισμού χάραξης CCP/ICP και συνήθως τοποθετούνται γύρω από τη γκοφρέτα ημιαγωγών. Οι κύριες λειτουργίες τους είναι να υποστηρίζουν τη γκοφρέτα ημιαγωγών, να διατηρούν ομοιόμορφη κατανομή πλάσματος, να προστατεύουν την άκρη της πλακέτας και έτσι να βοηθούν στη δημιουργία βέλτιστων συνθηκών λειτουργίας για τη διαδικασία χάραξης πλάσματος.

Πλεονεκτήματα των δακτυλίων χάραξης πυριτίου Semicorex

1. Επιλογή υλικού κορυφαίας ποιότητας

Οι δακτύλιοι χάραξης πυριτίου Semicorex κατασκευάζονται από το προσεκτικά επιλεγμένο υψηλής καθαρότητας MCZμονοκρυσταλλικό πυρίτιο, το οποίο προσφέρει τις ακόλουθες εξαιρετικές ιδιότητες έναντι του συμβατικού μονοκρυσταλλικού πυριτίου CZ.

Υψηλή καθαρότητα: Η καθαρότητα είναι πάνω από 99,9999999%, που σημαίνει ότι οι δακτύλιοι χάραξης πυριτίου Semicorex δεν περιέχουν σχεδόν καθόλου ακαθαρσίες. Αυτή η εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα μπορεί να αποφύγει αποτελεσματικά την παρεμβολή από ακαθαρσίες εξαρτημάτων κατά τη διαδικασία χάραξης, εξασφαλίζοντας έτσι υψηλή ακρίβεια χάραξης.

Σταθερή δομή: Το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο MCZ ​​διαθέτει ανώτερη κρυσταλλική δομή με χαμηλότερα ελαττώματα από το συμβατικό μονοκρυσταλλικό πυρίτιο CZ. Αυτή η σταθερή κρυσταλλική δομή δίνει στους δακτυλίους χάραξης πυριτίου Semicorex ενισχυμένη αντοχή στη διάβρωση στη διάβρωση του πλάσματος και τους επιτρέπει να αντέχουν σε σκληρές συνθήκες λειτουργίας χάραξης.

Εξαιρετική ομοιομορφία ειδικής αντίστασης:Δακτύλιοι χάραξης σιλικόνης Semicorexπαρέχουν εξαιρετική ομοιομορφία αντίστασης με RRG < 5%. Low Res. (<0,02 Ω·cm), Middle Res. (0,2–25 Ω·cm), High Res. (>100 Ω·cm). Αυτή η εξαιρετική ομοιομορφία ειδικής αντίστασης μπορεί να ελαχιστοποιήσει την ανομοιόμορφη κατανομή του πλάσματος που προκαλείται από υπερβολικά υψηλή ή χαμηλή ειδική αντίσταση, η οποία συμβάλλει σε ένα ιδανικό ηλεκτρικό πεδίο για χάραξη πλάσματος υψηλής ακρίβειας.

2. Επεξεργασία ακριβείας και αυστηρή ποιοτική επιθεώρηση

Η Semicorex διαθέτει μια έμπειρη τεχνική ομάδα που μπορεί να παρέχει εξατομικευμένη προσαρμογή και τεχνικές αξιολογήσεις για τους αξιότιμους πελάτες μας και έχει επίσης καθιερώσει συστηματικές διαδικασίες επεξεργασίας και επιθεώρησης για να εγγυηθεί την ποιότητα των προϊόντων.

Ευέλικτες υπηρεσίες προσαρμογής: Το Semicorex υποστηρίζει προσαρμογή βάσει σχεδίων πελατών και η μέγιστη προσαρμοσμένη διάμετρος των δακτυλίων χάραξης πυριτίου μπορεί να είναι έως και 470 mm.

Επεξεργασία επιφάνειας υψηλών προδιαγραφών: Η ακρίβεια στίλβωσης μπορεί να ελεγχθεί αυστηρά σε Ra < 0,1 μm και η λεπτή λείανση επιτυγχάνει φινίρισμα επιφάνειας Ra > 0,1 μm.

Αυστηρή επιθεώρηση ποιότητας: Η μέτρηση διαστάσεων, η δοκιμή ειδικής αντίστασης και η οπτική επιθεώρηση θα πραγματοποιηθούν για να διασφαλιστεί ότι οι δακτύλιοι χάραξης πυριτίου δεν έχουν τσιπ, γρατσουνιές, ρωγμές, λεκέδες και άλλα ελαττώματα.