Καμπύλα ηλεκτρόδια πυριτίου

Κατά τη διάρκεια του προηγμένου εξοπλισμού χάραξης, το καμπύλο ηλεκτρόδιο πυριτίου είναι συνήθως τοποθετημένο στην κορυφή του θαλάμου χάραξης, στραμμένο προς τη γκοφρέτα ημιαγωγών. Το καμπύλο ηλεκτρόδιο πυριτίου συνήθως λειτουργεί σε συνδυασμό με το ηλεκτροστατικό τσοκ, τον δακτύλιο εστίασης Si, τον δακτύλιο ακμής Si, τον δακτύλιο εξαγωγής Si και τον δακτύλιο θωράκισης Si για να παρέχει βέλτιστες συνθήκες λειτουργίας για χάραξη υψηλής ακρίβειας.

Λειτουργίες καμπύλων ηλεκτροδίων πυριτίου Semicorex

1. Συμβατό με σύνθετη τρισδιάστατη χάραξη δομής

Με εξαιρετική δυνατότητα τρισδιάστατου ελέγχου ηλεκτρικού πεδίου, Semicorexκαμπύλα ηλεκτρόδια πυριτίουμπορεί να ταιριάζει απόλυτα με τα γεωμετρικά χαρακτηριστικά σύνθετων κατασκευών. Ο ειδικός καμπύλος σχεδιασμός επιτρέπει τον ακριβή έλεγχο του πλάσματος και τη βελτιστοποιημένη κατανομή ενέργειας, η οποία επηρεάζει σημαντικά την αναλογία διαστάσεων και την καθετότητα του πλευρικού τοιχώματος της χάραξης 3D δομής και ικανοποιεί πλήρως τις απαιτήσεις της γραμμής παραγωγής προηγμένων διαδικασιών συσκευασίας και ενσωμάτωσης 3D IC.

2. Ακριβής Έλεγχος Διανομής Αερίου Etch

Τα καμπύλα ηλεκτρόδια πυριτίου Semicorex διαθέτουν πολλαπλές ομοιόμορφα κατανεμημένες μικροοπές στην επιφάνειά τους για την είσοδο του αερίου χάραξης στον θάλαμο χάραξης. Τα κυρτά ηλεκτρόδια πυριτίου Semicorex μπορούν να επιτύχουν ακριβή έλεγχο στο αέριο χάραξης και να του επιτρέψουν να κατανεμηθεί ομοιόμορφα στον θάλαμο χάραξης, ελαχιστοποιώντας έτσι τις διακυμάνσεις της διαδικασίας που προκαλούνται από την ανομοιόμορφη κατανομή αερίου.

Πλεονεκτήματα των κυρτών ηλεκτροδίων πυριτίου Semicorex

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα

Τα κυρτά ηλεκτρόδια πυριτίου Semicorex είναι κατασκευασμένα από μονοκρύσταλλο εξαιρετικά υψηλής καθαρότηταςπυρίτιομε επίπεδο καθαρότητας πάνω από 99,9999999%, προσφέροντας ανώτερη αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος. Αυτή η επιλογή υλικού υψηλών προδιαγραφών μπορεί να αποφύγει αποτελεσματικά την ανεπιθύμητη μόλυνση που προκύπτει από τη χάραξη των παραπροϊόντων, ενώ παράλληλα επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των καμπυλωτών ηλεκτροδίων πυριτίου.

2. Εξαιρετικές ηλεκτρικές ιδιότητες

Κατασκευασμένα από μονοκρυσταλλικό πυρίτιο που έχει αναπτυχθεί σε MCZ, τα καμπύλα ηλεκτρόδια πυριτίου Semicorex παρουσιάζουν εξαιρετική ομοιομορφία ειδικής αντίστασης: 5% και ένα ευρύ επιλέξιμο εύρος ειδικής αντίστασης: χαμηλή ανάλυση. (<0,02), μεσαία ανάλυση. (1–4) και υψηλή ανάλυση. (70–90).

3. Ακρίβεια επεξεργασίας

Μέσω μηχανικής επεξεργασίας υψηλής ακρίβειας, τα κυρτά ηλεκτρόδια πυριτίου Semicorex επιτυγχάνουν σταθερό μέγεθος πόρων και ομοιόμορφη κατανομή οπών. Οι επιφάνειές τους είναι λεπτώς γυαλισμένες και λειασμένες: γυαλισμένες (Ra < 0,1 μm) και αλεσμένες (Ra < 1,6 μm), με συνολική ακρίβεια κατεργασίας ελεγχόμενη εντός 0,03 mm.