Τσοκκινό σιλικόνων

Το Chuck Silicorex Silicon Carbide είναι ένα σημαντικό μέρος της κατασκευής ημιαγωγών για διαδικασίες που χρειάζονται υψηλή ακρίβεια και χαμηλή μόλυνση. Τα τσιμπήματα κενού κατασκευάζονται από κεραμικά καρβιδίου πορώδους πυριτίου υψηλής καθαρότητας και παρέχουν εξαιρετική μηχανική αντοχή, θερμική αγωγιμότητα και χημική αδράνεια και διαθέτουν μια ακριβή ελεγχόμενη δομή πόρων για αξιόπιστη συγκράτηση κενού. Το τσοκ κενό καρβιδίου πυριτίου είναι μια λειτουργική συσκευή προσρόφησης που κατασκευάζεται από ένα κεραμικό υλικό καρβιδίου πυριτίου (SIC), το οποίο βασίζεται σε αρνητική πίεση κενού, ηλεκτροστατική προσρόφηση ή μηχανική σύσφιξη για να παρέχει σταθερή αντίληψη του τεμαχίου. Οι τσουκάρδες κενού έχουν χρήση σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, ακριβείς κατασκευές και άλλες εφαρμογές που έχουν εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία υλικού, αντοχή στη φθορά και καθαριότητα.

Η βάση τουχαϊδεύωείναι ένα πορώδες υλικό SIC, το οποίο έχει μια προβλέψιμη διαπερατότητα αέρα στην επιφάνεια του. Αυτό σημαίνει ότι είναι δυνατόν να προσροφηθεί με ασφάλεια ένα δισκίο χωρίς μηχανική σύσφιξη και ως εκ τούτου να ασχοληθεί με τη δυνατότητα φυσικής βλάβης ή μόλυνσης του δείγματος. Το πορώδες του υλικού ελέγχεται αυστηρά - συνήθως με πορώδες 35-40% - για να παρέχει σωστή κατανομή κενού αλλά και να ικανοποιεί τις δομικές απαιτήσεις για ανθεκτική θερμική και μηχανική ποδηλασία.

Chucks κενούείναι συνήθως κατασκευασμένα από σκληρή επιφάνεια με πολλές μικρές τρύπες ή κανάλια στην επιφάνεια. Μέσα από αυτές τις μικρές τρύπες, ο τσοκ μπορεί να συνδεθεί με μια αντλία κενού, η οποία δημιουργεί αποτέλεσμα κενού. Όταν τοποθετείται το δίσκο στο τσοκ, η αντλία κενού είναι ενεργοποιημένη και ο αέρας τραβιέται μέσα από τις μικρές τρύπες, δημιουργώντας ένα κενό μεταξύ του δίσκου και του τσοκ. Αυτό το φαινόμενο κενού δημιουργεί αρκετή αναρρόφηση για να προσκολληθεί σταθερά το δίσκο στην επιφάνεια του τσοκ.

Οι κεραμικές επιφάνειες χρησιμοποιούνται συχνά σε εφαρμογές που απαιτούν υψηλή καθαρότητα και χημική σταθερότητα. Τα κεραμικά είναι υλικά που παράγονται με σύντηξη ορυκτών υψηλής θερμοκρασίας. Σε γενικές γραμμές, τα κεραμικά είναι ηλεκτρικοί μονωτήρες ή ημιαγωγοί και έχουν υψηλή αντίσταση στη θερμική διάσπαση, τη διάβρωση και τη ζημιά.

Το Semicorex δημιουργεί προσαρμοσμένο σκαμπανεβάσιμο καρβιδίου σιλικόνων στις προδιαγραφές του πελάτη για πράγματα όπως διαστάσεις, πορώδες, φινίρισμα επιφάνειας και μοτίβα για τη διοχέτευση κενού. Ως αποτέλεσμα των δυνατοτήτων κατασκευής και καθαρού δωματίου μας, προσφέρουμε το καλύτερο σε χαμηλή απόρριψη σωματιδίων και καθαριότητα για να ικανοποιήσουμε τις απαιτήσεις καθαριότητας όλων των κατασκευαστών ημιαγωγών και κατασκευαστών εξοπλισμού.

Μπορούμε να φτιάξουμε ένα τσοκ για οποιοδήποτε δισκίο μεγέθους, από 2 ιντσών έως 12 ιντσών και προσαρμογή για να ενσωματώσει το τσοκ σε μια πληθώρα εξοπλισμού επεξεργασίας πλακιδίων. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για διαδικασίες front-end ή/και διαδικασίες back-end, καθιστώντας το SIC κενό να τσαλακώνει μια οικονομική, ακριβή, σταθερή και μόλυνση χωρίς τη στήριξη του πλακιδίου στη ροή εργασίας FAB του ημιαγωγού.

Το Chuck Vacuum Carbide Silicon είναι ένα βασικό εργαλείο στη σημερινή παραγωγή ημιαγωγών, συνδυάζοντας τα καλύτερα υλικά και μηχανική. Η ανθεκτική και προσκολλημένη αξιοπιστία μέσω θερμικών και χημικών ακραίων καθιστούν την τέλεια υποστήριξη σε εφαρμογές διεργασιών που περιλαμβάνουν την αποτρίχωση, την αραίωση, τον καθαρισμό και το RTA. Με την προμήθεια του σκακιού του πυριτίου Carbide Carbide, το Semicorex εξασφαλίζετε την καλύτερη καθαρότητα υλικών, προσαρμοσμένες λύσεις και αξιόπιστες επιδόσεις για ανώτερα αποτελέσματα σε όλες τις γραμμές επεξεργασίας των πλακιδίων.