Το Silicon Carbide ICP Etching Plate είναι ένα απαραίτητο στήριγμα γκοφρέτας που κατασκευάζεται από πυροσυσσωματωμένο κεραμικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας. Ειδικά σχεδιασμένο από τη Semicorex, χρησιμεύει ως ο κρίσιμος παράγοντας για συστήματα χάραξης και εναπόθεσης επαγωγικά συζευγμένου πλάσματος (ICP) στη βιομηχανία ημιαγωγών αιχμής.
Πλάκα χάραξης ICP Carbide Siliconείναι ικανός να παρέχει σταθερή στήριξη και ακριβή τοποθέτηση για τις γκοφρέτες στις εργασίες χάραξης, αποτρέποντας αποτελεσματικά τις μειώσεις στην ακρίβεια χάραξης που προκαλούνται από κραδασμούς ή μετατόπιση.
Η πλάκα χάραξης ICP Carbide Silicon έχει δυνατότητες θερμικής διαχείρισης. Ανώτερη θερμική αγωγιμότηταSIC κεραμικόείναι ικανός να παρέχει σταθερή στήριξη και ακριβή τοποθέτηση για τις γκοφρέτες στις εργασίες χάραξης, αποτρέποντας αποτελεσματικά τις μειώσεις στην ακρίβεια χάραξης που προκαλούνται από κραδασμούς ή μετατόπιση.
Βασιζόμενη στις εξαιρετικές του ιδιότητες σκληρότητας και αντοχής, το Silicon Carbide ICP Etching Plate δείχνει την ικανότητα να ανέχεται τη μηχανική καταπόνηση και την κρούση στο πλάσμα που συναντώνται κατά τη διαδικασία χάραξης με ελάχιστη παραμόρφωση ή ζημιά. Αυτή η ικανότητα βελτιώνει αποτελεσματικά την απόδοση και την παραγωγική απόδοση των συσκευών ημιαγωγών.
بلبرینگها و بوشهای گرافیتی Semicorex به دلیل توانایی فوقالعادهشان در مقاومت در برابر دماهای بالا بسیار مورد توجه قرار میگیرند و به طور قابل توجهی از یاتاقانهای فلزی معمولی پیشی میگیرند. بر خلاف فلزات که ممکن است در هنگام قرار گرفتن در معرض گرما نرم شوند، اکسید شوند یا جذب شوند، گرافیت ساختار، کیفیت اصطکاک پایین و استحکام مکانیکی خود را حتی در محیط های بیش از 300 درجه سانتیگراد حفظ می کند. در اتمسفرهای خاص، می تواند دمای بالای 1000 درجه سانتیگراد را تحمل کند. این ویژگیهای استثنایی یاتاقانهای گرافیتی را برای تجهیزات پردازش حرارتی، کورههای خلاء، تنظیمات مربوط به گازهای واکنشپذیر و تجهیزات صنعتی با گرمای شدید معمولی مناسب میسازد.
Η Semicorex δίνει προτεραιότητα στην ευκολία του χρήστη, προσφέροντας προσαρμοσμένα σχέδια καρβιδίου πυριτίου ICP Etching Plate που ενσωματώνονται άψογα με τα υπάρχοντα συστήματα χάραξης ICP και είναι συμβατά με διάφορες διαμορφώσεις. Αυτό επιτρέπει την ομαλή μετάβαση, καθιστώντας την ιδανική λύση αναβάθμισης για τους κατασκευαστές εξοπλισμού.