Υπόστρωμα γραφίτη από καρβίδιο πυριτίου Semicorex Το MOCVD Susceptor είναι η απόλυτη επιλογή για κατασκευαστές ημιαγωγών που αναζητούν έναν φορέα υψηλής ποιότητας που μπορεί να προσφέρει ανώτερη απόδοση και ανθεκτικότητα. Το προηγμένο υλικό του εξασφαλίζει ομοιόμορφο θερμικό προφίλ και μοτίβο στρωτή ροής αερίου, παρέχοντας γκοφρέτες υψηλής ποιότητας.
Το υπόστρωμα γραφίτη από καρβίδιο πυριτίου MOCVD Susceptor είναι εξαιρετικά καθαρό, κατασκευασμένο με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας την ομοιομορφία και τη συνοχή του προϊόντος. Είναι επίσης εξαιρετικά ανθεκτικό στη διάβρωση, με πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια, καθιστώντας το ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια. Η αντίσταση στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία εξασφαλίζει σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το υπόστρωμα γραφίτη από καρβίδιο πυριτίου MOCVD Susceptor.
Παράμετροι υποστρώματος γραφίτη καρβιδίου πυριτίου MOCVD Susceptor
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του SiC Coated Graphite Susceptor για MOCVD
- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών