Επικάλυψη γραφίτη με καρβίδιο πυριτίου για MOCVD

Ο υποδοχέας γραφίτη επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου για MOCVD έχει πολλά βασικά χαρακτηριστικά που το κάνουν να ξεχωρίζει από τον ανταγωνισμό. Εξασφαλίζει επίστρωση σε όλες τις επιφάνειες, αποφεύγοντας το ξεφλούδισμα και έχει αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, εξασφαλίζοντας σταθερότητα ακόμα και σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C. Το προϊόν κατασκευάζεται με υψηλή καθαρότητα μέσω εναπόθεσης χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας. Έχει μια πυκνή επιφάνεια με λεπτά σωματίδια, καθιστώντας το ιδιαίτερα ανθεκτικό στη διάβρωση από οξύ, αλκάλιο, αλάτι και οργανικά αντιδραστήρια.
Ο υποδοχέας γραφίτη επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου για MOCVD έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροή αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αποτρέπει οποιαδήποτε μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.

Παράμετροι επικάλυψης γραφίτη με καρβίδιο πυριτίου για MOCVD

Χαρακτηριστικά της επικάλυψης γραφίτη με καρβίδιο πυριτίου για MOCVD

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών