Οι υποδοχείς γκοφρετών γραφίτη Semicorex 1x2" είναι τα εξαρτήματα μεταφοράς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί ειδικά για γκοφρέτες 2 ιντσών, τα οποία είναι κατάλληλα για την επιταξιακή διαδικασία των πλακιδίων ημιαγωγών. Επιλέξτε το Semicorex για κορυφαία καθαρότητα υλικού, μηχανική ακρίβειας και απαράμιλλη επαναστατική ικανότητα ανάπτυξης.
Στην κατασκευή γκοφρέτας ημιαγωγών, το επιταξιακό στρώμα απαιτείται να αναπτυχθεί στο υπόστρωμα του πλακιδίου για την επακόλουθη κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Δεδομένου ότι η διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης είναι ιδιαίτερα ευαίσθητη στις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας και τη μόλυνση, οι επιλογές αξιόπιστωνυποδοχείς γκοφρέταςείναι κρίσιμης σημασίας. Καθώς τα απαραίτητα εξαρτήματα στήριξης στην επιταξιακή διεργασία γκοφρέτας, η ακρίβεια μηχανικής κατεργασίας, η ικανότητα θερμικής διαχείρισης και η απόδοση αντοχής στη μόλυνση είναι κρίσιμοι παράγοντες για την επίτευξη επιταξιακής ανάπτυξης γκοφρέτας υψηλής ποιότητας.
Κατασκευασμένοι από εξαιρετικά λεπτούς κόκκους, γραφίτη υψηλής καθαρότητας ως μήτρα τους με την πυκνή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου μέσω ειδικών διεργασιών, οι υποδοχείς γκοφρέτας γραφίτη Semicorex 1x2 παρέχουν τις ακόλουθες λειτουργίες:
Semicorex 1x2"γραφίτηςΟι υποδοχείς γκοφρέτας διαθέτουν μηχανική κατεργασία και επεξεργασία ακριβείας, παρέχοντας εξαιρετική επιπεδότητα επιφάνειας και ακρίβεια διαστάσεων. Αυτό διασφαλίζει ότι είναι σταθερά στερεωμένα σε κατάλληλη θέση και παρέχει μια σταθερή, επίπεδη πλατφόρμα στήριξης για επιταξιακή ανάπτυξη γκοφρέτας.
Με την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα υλικών γραφίτη και SiC, οι υποδοχείς γκοφρέτας γραφίτη Semicorex 1x2" παρέχουν γρήγορη και ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας σε όλη την ημιαγωγική ουσία. Ελαχιστοποιώντας τις διαβαθμίσεις θερμοκρασίας, οι υποδοχείς γραφίτη Semicorex 1x2" μπορούν να αποφύγουν αποτελεσματικά ζητήματα όπως η άνιση επιταξιακή ποιότητα και η συγκέντρωση στρες.
Καλυμμένοι με την πυκνή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου, οι υποδοχείς γραφίτη Semicorex 1x2" είναι αποτελεσματικά ανθεκτικοί στα περισσότερα χημικά, καθιστώντας τους κατάλληλους για εφαρμογές σε εξαιρετικά διαβρωτικές συνθήκες λειτουργίας όπου το υλικό εκτίθεται συχνά σε διαβρωτικά αέρια και χημικούς ατμούς.
Semicorexεπίστρωση καρβιδίου του πυριτίουέχει υψηλή αντοχή συγκόλλησης με τη μήτρα γραφίτη, η οποία μπορεί να αποφύγει σημαντικά τον κίνδυνο μόλυνσης του υποστρώματος λόγω αποκόλλησης της επίστρωσης λόγω διάβρωσης και πτώσης σωματιδίων που προκαλείται από περιβάλλοντα υψηλής διάβρωσης.
Αν και οι μήτρες γραφίτη παρουσιάζουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα και μηχανική αντοχή, είναι επιρρεπείς σε διάβρωση και κονιοποίηση υπό συνθήκες λειτουργίας επιταξιακής διαδικασίας, μειώνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής των μη επικαλυμμένων μητρών γραφίτη. Ενθυλακώνοντας πλήρως τις μήτρες γραφίτη με πυκνές επικαλύψεις SiC, οι υποδοχείς γκοφρέτας γραφίτη 1×2" επιτυγχάνουν ανώτερη και αξιόπιστη ανθεκτικότητα.
Στοιχεία υλικού Semicorex SiC Coating
|
Τυπικές ιδιότητες |
Μονάδες |
Αξίες |
| Δομή |
/ |
FCC β φάση |
| Προσανατολισμός | Κλάσμα (%) |
111 προτιμώ |
| Χύδην πυκνότητα |
g/cm³ |
3.21 |
| Σκληρότητα | Σκληρότητα Vickers |
2500 |
| Θερμοχωρητικότητα | J·kg-1·K-1 |
640 |
| Θερμική διαστολή 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
| Modulus του Young |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300°C) |
430 |
| Μέγεθος κόκκου |
μm |
2 – 10 |
| Θερμοκρασία εξάχνωσης |
°C |
2700 |
| Δύναμη κάμψης |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
| Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |