Ως απαραίτητα εξαρτήματα μεταφοράς γκοφρέτας, τα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου Semicorex έχουν σχεδιαστεί ειδικά για να συσφίγγουν, να υποστηρίζουν και να μεταφέρουν με ασφάλεια τις γκοφρέτες στην κατασκευή ημιαγωγών, ειδικά στις διαδικασίες θερμικής επεξεργασίας ακριβείας. Η Semicorex, η κορυφαία εταιρεία του κλάδου στην Κίνα, έχει δεσμευτεί να παρέχει υψηλής ποιότητας κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου που ενισχύουν την απόδοση της γκοφρέτας και τη λειτουργική απόδοση.
Οι εξαιρετικές ιδιότητες του κεραμικού καρβιδίου του πυριτίου Semicorexβάρκες γκοφρέταςοφείλονται σε υψηλής ποιότητας πρώτες ύλες. Κατασκευασμένα από υλικό SiSiC ποιότητας ημιαγωγού και επικαλυμμένα με επίστρωση CVD SiC, τα κεραμικά σκάφη γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου παρουσιάζουν τις ακόλουθες εξαιρετικές ιδιότητες.
Προσμίξεις υποστρώματος: <100 ppm
Προσμίξεις επίστρωσης CVD SiC: <1 ppm
Τα σκάφη κεραμικής γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου είναι σε θέση να αποδίδουν σταθερά σε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας 1250℃, παρέχοντας ελάχιστη παραμόρφωση και αντίσταση ερπυσμού.
Καρβίδιο του πυριτίουδιαθέτει υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά, επιτρέποντας στα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου Semicorex να αντιστέκονται σε γρατσουνιές, γδαρσίματα και ζημιές, αποδίδοντας έτσι καλά κατά τη μακροχρόνια λειτουργία και ανθεκτικά στις ζημιές.
Επειδή το καρβίδιο του πυριτίου είναι ανθεκτικό στη διάβρωση από ισχυρά οξέα και αλκάλια, τα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου Semicorex μπορούν να διατηρήσουν τη δομική του ακεραιότητα και τη λειτουργική του απόδοση ακόμη και κάτω από εξαιρετικά διαβρωτικές συνθήκες εργασίας.
Τα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι σχεδιασμένα για επεξεργασία γκοφρέτας παρτίδας, το βελτιστοποιημένο δομικό τους πλαίσιο εξασφαλίζει σταθερή υποστήριξη παρτίδας και σταθερή σταθερότητα διεργασίας για κάθε γκοφρέτα.
Η κατακόρυφη δομή των κεραμικών βαφών καρβιδίου του πυριτίου Semicorex τους επιτρέπει να ταιριάζουν άψογα με τις εφαρμογές κάθετου κλιβάνου. Με αυτή τη δομή, οι κεραμικές βάρκες με καρβίδιο του πυριτίου emicorex μπορούν να διευκολύνουν την ομοιογενή κυκλοφορία των αερίων διεργασίας και την ομοιόμορφη κατανομή της θερμικής ενέργειας εντός του κλίβανου υψηλής θερμοκρασίας.
Οι κεραμικές βάρκες με καρβίδιο του πυριτίου Semicorex είναι εξοπλισμένες με πολλαπλές υποδοχές με μηχανική επεξεργασία ακριβείας στους στύλους στήριξης τους. Τα ομοιόμορφα τσιμπήματα σχισμής τους επιτυγχάνουν την κατάλληλη απόσταση σχισμών, η οποία επιτρέπει στα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου να ασφαλίζουν σταθερά τις γκοφρέτες ημιαγωγών, συμβάλλοντας έτσι στη βελτίωση της συνοχής των αποτελεσμάτων θερμικής επεξεργασίας γκοφρετών.
Με τόσες πολλές εξαιρετικές επιδόσεις και λειτουργίες, τα κεραμικά πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου Semicorex χρησιμοποιούνται ευρέως σε βασικές διεργασίες κατασκευής γκοφρετών ημιαγωγών, όπως οξείδωση, διάχυση, εμφύτευση ιόντων και ανόπτηση σε υψηλή θερμοκρασία.