Η Semicorex παρέχει βάρκες, βάθρα και προσαρμοσμένα δοχεία γκοφρέτας για κατακόρυφες/κολώνες και οριζόντιες διαμορφώσεις. Είμαστε κατασκευαστής και προμηθευτής φιλμ επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου για πολλά χρόνια. Το σκάφος μας με κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου έχει ένα καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτει το μεγαλύτερο μέρος των ευρωπαϊκών και αμερικανικών αγορών. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου Semicorex, η απόλυτη λύση για το χειρισμό της γκοφρέτας και την προστασία στην κατασκευή ημιαγωγών.
Το κεραμικό σκάφος μας με καρβίδιο πυριτίου είναι κατασκευασμένο από υλικό υψηλής ποιότητας επικαλυμμένο με στρώμα καρβιδίου του πυριτίου (SiC) που χρησιμοποιείται στη μέθοδο CVD, τα οποία έχουν καλή αντοχή στη διάβρωση και εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και θερμικό σοκ. Τα προηγμένα κεραμικά προσφέρουν εξαιρετική θερμική αντοχή και ανθεκτικότητα στο πλάσμα, ενώ μετριάζουν τα σωματίδια και τους ρύπους για φορείς γκοφρέτας υψηλής χωρητικότητας.
Παράμετροι κεραμικής βάφου καρβιδίου του πυριτίου
Τεχνικές Ιδιότητες |
||||
Δείκτης |
Μονάδα |
Αξία |
||
Όνομα υλικού |
Αντίδραση πυροσυσσωματωμένο καρβίδιο πυριτίου |
Καρβίδιο πυριτίου χωρίς πίεση |
Ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου |
|
Σύνθεση |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Χύδην πυκνότητα |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Δύναμη κάμψης |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Αντοχή σε Θλίψη |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Σκληρότητα |
Κουμπί |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Θερμική αγωγιμότητα |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Συντελεστής Θερμικής Διαστολής |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Ειδική Θερμότητα |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Μέγιστη θερμοκρασία στον αέρα |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Μέτρο ελαστικότητας |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Η διαφορά μεταξύ SSiC και RBSiC:
1. Η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης είναι διαφορετική. Το RBSiC πρόκειται να διεισδύσει ελεύθερο Si σε καρβίδιο του πυριτίου σε χαμηλή θερμοκρασία, το SSiC σχηματίζεται από φυσική συρρίκνωση στους 2100 μοίρες.
2. Τα SSiC έχουν λεία επιφάνεια, υψηλότερη πυκνότητα και μεγαλύτερη αντοχή, για ορισμένες σφραγίσεις με πιο αυστηρές απαιτήσεις επιφάνειας, το SSiC θα είναι καλύτερο.
3. Διαφορετικός χρόνος χρήσης κάτω από διαφορετικό PH και θερμοκρασία, το SSiC είναι μεγαλύτερο από το RBSiC
Χαρακτηριστικά του Silicon Carbide Ceramic Wafer Boat
Ανώτερη αντοχή στη θερμότητα & θερμική ομοιομορφία
Λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC για λεία επιφάνεια
Υψηλή αντοχή στον χημικό καθαρισμό
Το υλικό είναι σχεδιασμένο έτσι ώστε να μην εμφανίζονται ρωγμές και αποκόλληση.