Βάρκες κασέτας καρβιδίου πυριτίου

Semicorexσκάφη κασέτας καρβιδίου πυριτίουείναι τα απαραίτητα εξαρτήματα μεταφοράς, με τη σταθερή και υψηλής αντοχής δομή τους, με ασφάλεια και ακρίβεια συγκρατούν, μεταφέρουν και χειρίζονται πολλαπλές γκοφρέτες ημιαγωγών. Χρησιμοποιούνται ευρέως στις διάφορες διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας για να εξασφαλίσουν βελτιστοποιημένη κατανομή ροής θερμότητας και αερίου για σταθερά αποτελέσματα επεξεργασίας.

Προσεκτικά επιλεγμένη πρώτη ύλη

Κατασκευασμένα με ακρίβεια από σκόνη καρβιδίου του πυριτίου ποιότητας ημιαγωγού μέσω πυροσυσσωμάτωσης υψηλής θερμοκρασίας, τα σκάφη κασέτας καρβιδίου του πυριτίου Semicorex διαθέτουν τις ακόλουθες εξαιρετικές ιδιότητες.

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα:Η περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες του υποστρώματος ελέγχεται να είναι κάτω από 100 PPM και το επίπεδο ακαθαρσίαςΚαρβίδιο του πυριτίου CVDη επίστρωση μπορεί να φτάσει λιγότερο από 1 PPM.

2.Αξιόπιστη αντίσταση στη διάβρωση:Το κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου παρέχει ισχυρή αντίσταση στη διάβρωση και είναι ανθεκτικό στη διάβρωση από τα περισσότερα οξέα (όπως υδροχλωρικό οξύ, θειικό οξύ και υδροφθορικό οξύ), αλκάλια (όπως καυστική σόδα), διαλύτες και οξειδωτικά μέσα.

3.Εξαιρετική ικανότητα θερμικής διαχείρισης:Με εξαιρετική θερμική αντίσταση και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, τα σκάφη κασέτας καρβιδίου του πυριτίου μπορούν να διατηρήσουν τις χημικές τους ιδιότητες και τη μηχανική αντοχή ακόμη και όταν εκτίθενται σε παρατεταμένες συνθήκες λειτουργίας σε υψηλή θερμοκρασία περίπου 1250 °C.

Δομή σχεδιασμένη με ακρίβεια

1. Οριζόντια δομή πλαισίου:Η οριζόντια δομή πλαισίου των σκαφών κασέτας καρβιδίου του πυριτίου Semicorex τα κάνει να εφαρμόζουν τέλεια σε οριζόντιους σωλήνες κλιβάνου υψηλής θερμοκρασίας.

2. Ομοιόμορφα τοποθετημένες εγκοπές:Διαθέτοντας πολλές ομοιόμορφες εγκοπές, τα σκάφη κασέτας καρβιδίου του πυριτίου Semicorex μπορούν να συγκρατούν σταθερά τη γκοφρέτα στη θέση της, γεγονός που μπορεί να αποτρέψει σημαντικά τις ανεπιθύμητες γρατσουνιές, γδαρσίματα και ζημιές που προκύπτουν από τη μετατόπιση της πλακέτας, διασφαλίζοντας έτσι αποτελεσματικά τη σταθερότητα της διεργασίας ημιαγωγών και την απόδοση της γκοφρέτας.

3. Σχέδιο πολλαπλών θυρίδων:Οι πολλαπλές υποδοχές που έχουν σχεδιαστεί για να μεταφέρουν πολλαπλές γκοφρέτες επιτρέπουν στα σκάφη κασέτας καρβιδίου του πυριτίου Semicorex να βελτιώσουν την απόδοση επεξεργασίας μιας παρτίδας και τη συνολική απόδοση παραγωγής τους.

4. Ανοικτή αρχιτεκτονική:Τα σκάφη κασέτας καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι εξοπλισμένα με τη στοχαστική ανοιχτή αρχιτεκτονική, η οποία μπορεί να βοηθήσει στην επίτευξη ομοιόμορφης κατανομής αερίου και επαρκή επαφή αντίδρασης, η οποία ελαχιστοποιεί αποτελεσματικά τα ασυνεπή αποτελέσματα της διαδικασίας.