Σκάφη καρβιδίου πυριτίου

Τα σκαφών καρβιδίου πυριτίου ημιτονοειδούς παρουσιάζουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα, επιτρέποντάς τους να αντέξουν τις ακραίες θερμοκρασίες που απαιτούνται για τις διεργασίες οξείδωσης και διάχυσης. Η εξαιρετική αντίσταση θερμικού σοκ ελαχιστοποιεί τον κίνδυνο ρωγμών ή παραμόρφωσης, εξασφαλίζοντας την παρατεταμένη λειτουργική μακροζωία. Η σύνθεση SIC υψηλής πυκνότητας παρέχει ανώτερη μηχανική αντοχή, διατηρώντας τη δομική ακεραιότητα ακόμη και υπό συνεχή θερμική κύκληση. Αυτή η εξαιρετική αντίσταση στο μηχανικό στρες μειώνει την πιθανότητα μόλυνσης και θραύσης των πλακιδίων, συμβάλλοντας στις υψηλότερες αποδόσεις της διαδικασίας. Επιπλέον, τα σκάφη SIC διαθέτουν εξαιρετική χημική αντίσταση, παραμένουν αδρανείς σε επιθετικά αέρια διεργασιών που χρησιμοποιούνται σε στάδια οξείδωσης και διάχυσης. Αυτό το χαρακτηριστικό εμποδίζει τις ανεπιθύμητες αντιδράσεις που θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο την καθαρότητα και την αποδοτικότητα της παραγωγής.

Τα σκάφη καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιούνται κυρίως σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, όπου είναι απαραίτητος ακριβής έλεγχος της έκθεσης σε υψηλές θερμοκρασίες και αντιδραστικά αέρια. Υποστηρίζουν τα πλακίδια κατά τη διάρκεια της θερμικής οξείδωσης για την ανάπτυξη στρωμάτων διοξειδίου του πυριτίου υψηλής ποιότητας και διευκολύνουν την ομοιόμορφη ντόπινγκ μέσω ελεγχόμενης έκθεσης σε αέρια προσφρούσης. Επιπλέον, παρέχουν μια σταθερή πλατφόρμα για ανόπτηση και άλλες θεραπείες υψηλής θερμοκρασίας που απαιτούν παρατεταμένη έκθεση σε θερμότητα.

Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία και γραφίτη, τα σκάφη καρβιδίου πυριτίου προσφέρουν απαράμιλλη ανθεκτικότητα, μακροζωία και απόδοση. Η ικανότητά τους να αντέχουν σε σκληρά θερμικά και χημικά περιβάλλοντα ενώ ελαχιστοποιούν τη μόλυνση τους καθιστά την προτιμώμενη επιλογή για την κατασκευή ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας. Με έμφαση στην ποιότητα και την καινοτομία, τα σκάφη του πυριτίου Carbide παρέχουν ανώτερες επιδόσεις, εξασφαλίζοντας υψηλές αποδόσεις και αποτελεσματική επεξεργασία πλακιδίων για κατασκευαστές ημιαγωγών παγκοσμίως. Είτε για τις προηγμένες τεχνολογίες κόμβων είτε για την κατασκευή ημιαγωγών κληρονομιάς, αυτά τα σκάφη παρέχουν μια αξιόπιστη λύση για την κάλυψη αυστηρών απαιτήσεων της βιομηχανίας.

(1) Μεταφορά και προστασία: Τα σκάφη καρβιδίου πυριτίου μεταφέρουν υλικά ημιαγωγών, όπως πλακίδια μέσω εσωτερικών αγκύλων ή υποδοχών και χρησιμοποιούν την υψηλή θερμοκρασία και τη διάβρωση αντοχής των υλικών καρβιδίου πυριτίου για να προστατεύσουν τις δισκότητες από το εξωτερικό περιβάλλον.

(2) Η ομοιόμορφη θέρμανση: Το σκάφος καρβιδίου πυριτίου επιτρέπει στην ενίσχυση των πλακών να θερμαίνονται ομοιόμορφα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θερμικής επεξεργασίας. Αυτό βοηθά να διασφαλιστεί ότι η θερμοκρασία και ο ρυθμός αντίδρασης κάθε τμήματος του δίσκου παραμένουν συνεπείς κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θερμικής επεξεργασίας, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση και την ποιότητα του δισκίου.

Υπάρχουν σήμερα τρεις κύριοι τύποιΚεραμικό καρβίδιο πυριτίουΥλικά: Η πυροσυσσωμάτωση της αντίδρασης, η πυροσυσσωμάτωση χωρίς πίεση και η πυροσυσσωμάτωση ανακρυστάλλωσης. Στις περισσότερες εφαρμογές, το καρβίδιο του πυριτίου που έχει υποστεί αντίδραση είναι ένα πιο κατάλληλο και οικονομικά αποδοτικό προϊόν. Τα ανακρυσταλλοποιημένα σκάφη SIC συνήθως πυρπολούν και επεξεργάζονται αρκετά τμήματα μονάδων πρώτα, στη συνέχεια χρησιμοποιούν πάστα SI για να συνδυάσουν τα μέρη σε μια βάρκα σε υψηλή θερμοκρασία και τελικά να εφαρμόσουν επικάλυψη CVD-SIC (περίπου 100um). Δεδομένου ότι η ανακρυστάλλωση είναι πορώδης, εάν δεν υπάρχει επίστρωση SIC, θα εισαγάγει επίσης μερικούς στη διαδικασία ημιαγωγών. Αυτός ο τύπος ανακρυσταλλοποιημένου σκάφους SIC με επικάλυψη CVD-SIC έχει τη μεγαλύτερη διαδικασία παραγωγής και είναι πολύ ακριβό. Σε σύγκριση με τα σκάφη γραφίτη με επικάλυψη SIC, τα ανακρυσταλλοποιημένα σκάφη SIC με CVD-SIC δεν έχουν πρόβλημα αναντιστοιχίας CTE.