SiC κασέτα γκοφρέτας

Η κασέτα γκοφρέτας Semicorex SiC, γνωστή και ως πλακάκια γκοφρέτας, αναπτύχθηκε ειδικά για εργασίες οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης σε θερμοκρασίες άνω των 1200°C. Οι κασέτες παρέχουν σημαντική μηχανική υποστήριξη, καθώς και ευθυγράμμιση για πολλές γκοφρέτες ταυτόχρονα κατά τη χρήση του κλιβάνου σε υψηλή θερμοκρασία και παρουσιάζουν μεγάλη μηχανική και διαστατική σταθερότητα κατά τη θερμική καταπόνηση και μετά.  Η ζήτηση για εξαιρετικά καθαρά και θερμικά σταθερά υλικά για συστήματα χειρισμού πλακιδίων αυξάνεται καθώς οι συσκευές ημιαγωγών μειώνονται σε μέγεθος και αυξάνουν την απόδοση.

Η κασέτα είναι κατασκευασμένη από υψηλής καθαρότηταςκαρβίδιο του πυριτίου, υπάρχουν επίσης επιστρώσεις που μπορούν να εφαρμοστούν για ακόμη μεγαλύτερα οφέλη. Το SiC έχει εξαιρετική σταθερότητα θερμικού σοκ, διάβρωσης και παραμόρφωσης διαστάσεων.  Το SiC έχει μοναδική σκληρότητα, χημική αδράνεια και θερμική αγωγιμότητα, έτσι ώστε να είναι ιδανικό υλικό για αυτό το περιβάλλον διεργασίας. Το SiC, σε σχέση με τα εναλλακτικά του χαλαζία και της αλουμίνας δεν θα μειώσει τις μηχανικές και χημικές του ιδιότητες σε υψηλές θερμοκρασίες επεξεργασίας, μειώνοντας έτσι τον κίνδυνο μόλυνσης και βελτιώνοντας την ομοιομορφία της διεργασίας πλακιδίων κατά τις διαδικασίες παραγωγής.

Η εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα της κασέτας πλακιδίων SiC παρουσιάζει αντοχή σε μεταλλικούς ή ιοντικούς ρύπους που εισέρχονται στον θάλαμο διεργασίας. κάτι που είναι απολύτως απαραίτητο για υψηλή καθαρότητα για την κάλυψη των απαιτήσεων διεργασίας για προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Με την ελαχιστοποίηση των πηγών ρύπων, οι κασέτες καρβιδίου του πυριτίου θα αυξήσουν την απόδοση της γκοφρέτας και την αξιοπιστία της συσκευής.

Η τεχνολογία κατεργασίας ακριβείας της Semicorex επιτρέπει την παραγωγή κάθε κασέτας με αυστηρές ανοχές, ομοιόμορφο βήμα υποδοχής και παράλληλη ευθυγράμμιση. Η μηχανική κατεργασία ακριβείας των υλικών υποστηρίζει την ομαλή φόρτωση και εκφόρτωση της γκοφρέτας, γεγονός που μειώνει την πιθανότητα γρατσουνιών κατά το χειρισμό της γκοφρέτας. Η ακριβής απόσταση των θυρίδων επιτρέπει ομοιόμορφη θερμοκρασία και ροή αέρα σε όλα τα πλακίδια, γεγονός που προάγει την ομοιομορφία στην οξείδωση και τη διάχυση, ενώ μειώνει τη μεταβλητότητα της διαδικασίας.

Το SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, σταθερότητα διαστάσεων και παρέχει αξιόπιστη απόδοση υπό επαναλαμβανόμενο θερμικό κύκλο. Το υλικό είναι σταθερό και δεν παραμορφώνεται ή ραγίζει. Η υψηλή ακαμψία του διατηρεί τη δομική ακεραιότητα με υψηλή θερμοκρασία για μεγάλα χρονικά διαστήματα, μειώνοντας σημαντικά τη μηχανική καταπόνηση στις γκοφρέτες, ενώ περιορίζει την πιθανότητα ανεπιθύμητων σωματιδίων που δημιουργούνται από το χειρισμό λόγω τριβής ή μικροδονήσεων.

Εξάλλου,ΟύτωΗ αδράνεια του προς τα χημικά προστατεύει τις γκοφρέτες από την αντίδραση στα αέρια διεργασίας (π.χ. οξυγόνο, υδρογόνο, αμμωνία) που συνήθως εμπλέκονται κατά την επεξεργασία. Οι κασέτες πλακιδίων είναι σταθερές σε οξειδωτικές και μη οξειδωτικές ατμόσφαιρες και μπορούν να ενσωματωθούν στη ροή εργασιών του κλιβάνου σε διάφορες διεργασίες όπως οξείδωση, διάχυση, LPCVD και ανόπτηση.

Για να καλύψει συγκεκριμένες απαιτήσεις διαδικασίας, η Semicorex προσφέρει προσαρμοσμένες κασέτες πλακιδίων SiC σε διάφορα μεγέθη, πλήθος θυρίδων και διαμορφώσεις. Κάθε μονάδα υφίσταται αυστηρή ποιοτική επιθεώρηση και επεξεργασία επιφάνειας για να διασφαλιστεί η ομαλότητα, η καθαριότητα και η ακρίβεια των διαστάσεων. Το προαιρετικό γυάλισμα επιφάνειας μειώνει περαιτέρω τη δημιουργία σωματιδίων και ενισχύει τη συμβατότητα με αυτοματοποιημένα συστήματα χειρισμού πλακιδίων.