SiC Wafer Boats

Το Semicorex SiC Wafer Boat, κατασκευασμένο από κεραμικό καρβίδιο πυριτίου (SiC), πρωτοπορεί στην κάλυψη των απαιτήσεων της βιομηχανίας ημιαγωγών, παρέχοντας απαράμιλλη απόδοση σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Καθώς η βιομηχανία ημιαγωγών ωθεί ακατάπαυστα τα όρια της μικροκατασκευής, η ζήτηση για ελαστικά και στιβαρά υλικά γίνεται πρωταρχική.

Το SiC Wafer Boat παίζει κρίσιμο ρόλο στη συγκράτηση και υποστήριξη πολλαπλών πλακιδίων κατά τη διάρκεια θερμικών διεργασιών όπως η διάχυση, η οξείδωση και η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD). Αυτές οι διαδικασίες περιλαμβάνουν την υποβολή των γκοφρετών σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, που συχνά υπερβαίνουν τους 1000°C, σε ελεγχόμενη ατμόσφαιρα. Η ομοιομορφία και η συνέπεια αυτών των θερμικών επεξεργασιών είναι κρίσιμες για τη διασφάλιση της ποιότητας και της απόδοσης των συσκευών ημιαγωγών που κατασκευάζονται. Η ικανότητα του SiC Wafer Boat να αντέχει σε τέτοιες υψηλές θερμοκρασίες χωρίς παραμόρφωση ή υποβάθμιση διασφαλίζει την ομοιόμορφη επεξεργασία των γκοφρετών, οδηγώντας σε ανώτερη απόδοση και απόδοση της συσκευής.

Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα των σκαφών γκοφρέτας SiC εγγυάται ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας σε όλες τις γκοφρέτες, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο διαβαθμίσεων θερμοκρασίας που θα μπορούσαν να οδηγήσουν σε ελαττώματα στις συσκευές ημιαγωγών. Επιπλέον, ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (CTE) του SiC οδηγεί σε ελάχιστη θερμική διαστολή και συστολή κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης και ψύξης. Αυτή η σταθερότητα είναι ζωτικής σημασίας για την αποφυγή μηχανικής καταπόνησης και πιθανής ζημιάς στις γκοφρέτες, ειδικά με τη συρρίκνωση των γεωμετριών της συσκευής.

Κατά τη διάρκεια θερμικών διεργασιών, οι γκοφρέτες εκτίθενται σε διάφορα αντιδραστικά αέρια που μπορούν να αλληλεπιδράσουν με τα υλικά του σκάφους γκοφρέτας SiC. Η εξαιρετική χημική αντοχή του SiC διασφαλίζει ότι δεν αντιδρά με αυτά τα αέρια, αποτρέποντας τη μόλυνση και διασφαλίζοντας την καθαρότητα των γκοφρετών. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για την παραγωγή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών, όπου ακόμη και ελάχιστα ποσά μόλυνσης μπορούν να οδηγήσουν σε ελαττώματα και να μειώσουν την αξιοπιστία της συσκευής.