SIC Vertical Boats

Τα Semicorex SIC κατακόρυφα σκάφη είναι μηχανικοί φορείς πλακιδίων, σχεδιασμένοι και κατασκευασμένοι για να παρέχουν την υψηλότερη θερμική, μηχανική και χημική σταθερότητα για την κατακόρυφη επεξεργασία ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από υψηλή καθαρότητακαρβίδιο πυριτίου, πιστεύουμε ότι είναι η καλύτερη ισορροπία δύναμης, ανθεκτικότητας και καθαριότητας για πολύ προχωρημένη θερμική επεξεργασία πλακιδίων, σημειωμένη ως οξείδωση, διάχυση, LPCVD και ανόπτηση σε κατακόρυφα συστήματα κλιβάνου.

Τα περιβάλλοντα επεξεργασίας κάθετων κλιβάνου απαιτούν ένα σύστημα υποστήριξης πλακιδίων που μπορεί να αντέξει τις επαναλαμβανόμενες εκθέσεις σε υψηλή θερμοκρασία, που συχνά υπερβαίνει τους 1.200 ° C, και να παραμένουν σταθερές διασταυρώσεις χωρίς προβλήματα μόλυνσης. Τα κατακόρυφα σκάφη SIC υπερέχουν στην ευρωστία τους σε αυτές τις καταστάσεις λόγω των εγγενών μηχανικών και θερμικών ιδιοτήτων του ανακρυσταλλικού ή καρβιδίου πυριτίου CVD. Ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής τους εξασφαλίζει ελάχιστη στρεβλή ή παραμόρφωση λόγω της ταχείας θερμικής κύκλησης. Επιπλέον, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα, προσφέρει τη μεγαλύτερη τοπική ομοιογένεια θερμοκρασίας σε όλες τις πλακές, η οποία είναι κρίσιμη για τη συνοχή του πλακιδίου στο πάχος του στρώματος, τα προφίλ ντόπινγκ και την ηλεκτρική απόδοση. Σημαντικές πτυχές της κατασκευής μεγάλου όγκου στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία, τα κατακόρυφα σκάφη SIC παρέχουν ανώτερη μηχανική αντοχή και εκτεταμένη διάρκεια ζωής. Ο Quartz τείνει να γίνει εύθραυστος και να αποδυναμώσει με την πάροδο του χρόνου, ιδιαίτερα σε επιθετικές χημικές ουσίες του κλιβάνου, οδηγώντας σε υψηλότερο κόστος αντικατάστασης και πιθανές διακοπές παραγωγής. Αντίθετα, το καρβίδιο του πυριτίου διατηρεί την ακεραιότητά του ακόμη και μετά από παρατεταμένη έκθεση σε διαβρωτικά αέρια όπως χλώριο, HCl ή αμμωνία, τα οποία είναι κοινά σε διάφορες διεργασίες διάχυσης και LPCVD. Η εξαιρετική αντοχή της φθοράς και της οξείδωσης μειώνει σημαντικά την παραγωγή σωματιδίων, συμβάλλοντας στη διασφάλιση των επιφανειών των δισκίων από τη μόλυνση και τον σχηματισμό ελαττωμάτων.

Τα κατακόρυφα σκάφη SIC προσφέρουν επίσης ένα σημαντικό όφελος όσον αφορά την εξαιρετικά καθαρή επεξεργασία. Το υλικό SIC υψηλής καθαρότητας επεξεργάζεται υπό αυστηρή επιμέλεια για τη μείωση των ανιχνευτών ιχνών που μολύνουν τα μέταλλα που μπορούν να παρεμβαίνουν στα λειτουργικά χαρακτηριστικά των συσκευών ημιαγωγών. Οι επιφάνειες SIC κατακόρυφων σκαφών είναι καλά τελειωμένες με χαρακτηριστικά που ελαχιστοποιούν την πιθανότητα να ρίξουν μικρο-σωματίδια. Οι επιφάνειες SIC είναι χημικά αδρανείς και δεν αντιδρούν με αέρια διεργασίας και επομένως είναι λιγότερο επιρρεπείς στη μόλυνση. Από την άποψη αυτή, τα κατακόρυφα σκάφη SIC είναι κατάλληλα για το μπροστινό άκρο της γραμμής (FEOL) και το πίσω άκρο της επεξεργασίας επεξεργασίας πλακιδίων (BEOL).

Τα κάθετα σκάφη SIC προσφέρουν επίσης ευελιξία σχεδιασμού. Κάθε κατακόρυφο σκάφος μπορεί να είναι ειδικό για το σχεδιασμό για να φιλοξενήσει πολλαπλές διαμέτρους (150 mm, 200 mm ή 300 mm πλακιδίων) και ο αριθμός υποδοχής και η απόσταση μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την κάλυψη των απαιτήσεων διεργασιών. Η κατεργασία ακριβείας και ο έλεγχος διαστάσεων επιτρέπουν την κατάλληλη ευθυγράμμιση των πλακιδίων και την υποστήριξη των πλακιδίων ελαχιστοποιώντας την πιθανότητα τυχόν μικρο-κρούστας ή ρωγμές στρες κατά τη φόρτωση, την επεξεργασία και την εκφόρτωση. Επίσης, εάν απαιτείται ανώτερη ομοιομορφία θερμοκρασίας και / ή λιγότερη θερμική μάζα για μια συγκεκριμένη διαδικασία, οι βελτιστοποιημένες γεωμετρίες και τα σχέδια υποδοχής μπορούν να ενσωματωθούν σε διαμορφώσεις SIC κατακόρυφων σκαφών, χωρίς να θυσιάζονται οι μηχανικές ιδιότητες.

Ένα άλλο πλεονέκτημα είναι η συντήρηση και η επιχειρησιακή απόδοση. Η άκαμπτη κατασκευή τουΟύτωΤα κατακόρυφα σκάφη μειώνουν τον χρόνο και τη συχνότητα αντικατάστασης, ελαχιστοποιώντας έτσι το χρόνο διακοπής ή το κόστος ιδιοκτησίας. Η αντοχή σε θερμικό σοκ του SIC επιτρέπει στους μικρότερους κύκλους θέρμανσης και ψύξης για να δώσουν υψηλότερη απόδοση στις γραμμές παραγωγής. Η συντήρηση ή ο καθαρισμός των SIC κατακόρυφων σκαφών είναι επίσης πολύ απλός. Το υλικό μπορεί να υπομείνει τις περισσότερες συμβατικές διαδικασίες υγρού ή στεγνού καθαρισμού που είναι κοινές σε ημιαγωγούς, όπως χημικός καθαρισμός με οξέα και ψήνοντας υψηλής θερμοκρασίας.

Σε αυτή τη σύγχρονη εποχή της εκλεπτυσμένης κατασκευής ημιαγωγών, όπου η βελτίωση της απόδοσης, ο έλεγχος μόλυνσης και η σταθερότητα στη διαδικασία έχουν όλη τη σημασία, τα κατακόρυφα σκάφη SIC προσφέρουν ένα πραγματικό τεχνολογικό πλεονέκτημα. Ασχολούνται με τις φυσικές και χημικές προκλήσεις των κατακόρυφων εφαρμογών του κλιβάνου και συμβάλλουν στη συνολική βελτιστοποίηση των διαδικασιών παρέχοντας ακεραιότητα, συνεπή αποτελέσματα και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.