SiC Vertical Boats

Τα Semicorex SiC Vertical Boats είναι κατασκευασμένα δοχεία γκοφρέτας, σχεδιασμένα και κατασκευασμένα για να παρέχουν την υψηλότερη θερμική, μηχανική και χημική σταθερότητα για την επεξεργασία ημιαγωγών σε κάθετο φούρνο. Κατασκευασμένο από υψηλής καθαρότηταςκαρβίδιο του πυριτίου, πιστεύουμε ότι αποτελούν την καλύτερη ισορροπία αντοχής, αντοχής και καθαριότητας για πολύ προηγμένη θερμική επεξεργασία πλακιδίων, που σημειώνονται ως οξείδωση, διάχυση, LPCVD και ανόπτηση σε συστήματα κατακόρυφων κλιβάνων.

Τα περιβάλλοντα επεξεργασίας κάθετου κλιβάνου απαιτούν ένα σύστημα υποστήριξης πλακιδίων που μπορεί να αντέξει επαναλαμβανόμενες εκθέσεις σε υψηλές θερμοκρασίες, που συχνά υπερβαίνουν τους 1.200°C, και να παραμένει σταθερό διαστάσεων χωρίς προβλήματα μόλυνσης. Τα SiC Vertical Boats υπερέχουν ως προς τη στιβαρότητά τους σε αυτές τις καταστάσεις λόγω των εγγενών μηχανικών και θερμικών ιδιοτήτων του ανακρυσταλλωμένου ή CVD καρβιδίου του πυριτίου. Ο εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής τους εξασφαλίζει ελάχιστη παραμόρφωση ή παραμόρφωση λόγω του γρήγορου θερμικού κύκλου. Επιπλέον, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα, προσφέρει τη μεγαλύτερη ομοιογένεια τοπικής θερμοκρασίας σε όλες τις γκοφρέτες, η οποία είναι κρίσιμη για τη συνοχή από γκοφρέτα σε γκοφρέτα σε πάχος στρώματος, προφίλ ντόπινγκ και ηλεκτρική απόδοση. σημαντικές πτυχές της παραγωγής μεγάλου όγκου στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία, τα SiC Vertical Boats προσφέρουν ανώτερη μηχανική αντοχή και εκτεταμένη διάρκεια ζωής. Ο χαλαζίας τείνει να γίνεται εύθραυστος και να απουαλώνεται με την πάροδο του χρόνου, ιδιαίτερα σε επιθετικές χημικές ουσίες κλιβάνων, οδηγώντας σε υψηλότερο κόστος αντικατάστασης και πιθανές διακοπές παραγωγής. Αντίθετα, το καρβίδιο του πυριτίου διατηρεί την ακεραιότητά του ακόμη και μετά από παρατεταμένη έκθεση σε διαβρωτικά αέρια όπως το χλώριο, το HCl ή η αμμωνία, τα οποία είναι κοινά σε διάφορες διαδικασίες διάχυσης και LPCVD. Η εξαιρετική του αντοχή στη φθορά και την οξείδωση μειώνει σημαντικά τη δημιουργία σωματιδίων, συμβάλλοντας στην προστασία των επιφανειών πλακιδίων από μόλυνση και σχηματισμό ελαττωμάτων.

Τα SiC Vertical Boats προσφέρουν επίσης ένα σημαντικό πλεονέκτημα όσον αφορά την εξαιρετικά καθαρή επεξεργασία. Υλικό SiC υψηλής καθαρότητας υποβάλλεται σε επεξεργασία με αυστηρή επιμέλεια για τη μείωση των αναγνωρίσιμων ιχνών που μολύνουν τα μέταλλα που μπορούν να επηρεάσουν τα λειτουργικά χαρακτηριστικά των συσκευών ημιαγωγών. Οι επιφάνειες SiC Vertical Boat είναι καλά φινιρισμένες με ορθογώνια χαρακτηριστικά που ελαχιστοποιούν την πιθανότητα αποβολής μικροσωματιδίων. Οι επιφάνειες SiC είναι χημικά αδρανείς και δεν αντιδρούν με αέρια διεργασίας και επομένως είναι λιγότερο επιρρεπείς σε μόλυνση. Από αυτή την άποψη, τα SiC Vertical Boats είναι κατάλληλα για τις λειτουργίες επεξεργασίας πλακιδίων στο μπροστινό μέρος της γραμμής (FEOL) και στο πίσω τέλος της γραμμής (BEOL).

Τα SiC Vertical Boats προσφέρουν επίσης ευελιξία σχεδιασμού. Κάθε Vertical Boat μπορεί να σχεδιαστεί ειδικά για να φιλοξενήσει πολλαπλές διαμέτρους γκοφρέτας (150 mm, 200 mm ή 300 mm γκοφρέτες) και ο αριθμός σχισμής και η απόσταση μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την κάλυψη των απαιτήσεων της διαδικασίας. Η μηχανική κατεργασία ακριβείας και ο έλεγχος διαστάσεων επιτρέπουν τη σωστή ευθυγράμμιση του πλακιδίου και τη στήριξη του πλακιδίου ελαχιστοποιώντας την πιθανότητα οποιωνδήποτε μικρογρατσουνιών ή ρωγμών κατά τη διάρκεια της φόρτωσης, της επεξεργασίας και της εκφόρτωσης. Επίσης, εάν απαιτείται ανώτερη ομοιομορφία θερμοκρασίας και/ή λιγότερη θερμική μάζα για μια συγκεκριμένη διαδικασία, βελτιστοποιημένες γεωμετρίες και σχέδια θυρίδων μπορούν να ενσωματωθούν στις διαμορφώσεις SiC Vertical Boat, χωρίς να θυσιάζονται μηχανικές ιδιότητες.

Ένα άλλο πλεονέκτημα είναι η συντήρηση και η λειτουργική αποτελεσματικότητα. Η άκαμπτη κατασκευή τουΟύτωΤο Vertical Boats μειώνει τον χρόνο και τη συχνότητα αντικατάστασης, ελαχιστοποιώντας έτσι το χρόνο διακοπής λειτουργίας ή το κόστος ιδιοκτησίας. Η αντίσταση σε θερμικό σοκ του SiC επιτρέπει μικρότερους κύκλους θέρμανσης και ψύξης για την παροχή υψηλότερης απόδοσης στις γραμμές παραγωγής. Η συντήρηση ή ο καθαρισμός των SiC Vertical Boats είναι επίσης πολύ απλή. το υλικό μπορεί να αντέξει τις περισσότερες συμβατικές διεργασίες υγρού ή στεγνού καθαρισμού που είναι κοινές στα προϊόντα ημιαγωγών, όπως ο χημικός καθαρισμός με οξέα και το ψήσιμο σε υψηλή θερμοκρασία.

Σε αυτή τη σύγχρονη εποχή της εξελιγμένης κατασκευής ημιαγωγών όπου η βελτίωση της απόδοσης, ο έλεγχος της μόλυνσης και η σταθερότητα στη διαδικασία έχουν μεγάλη σημασία, τα SiC Vertical Boats προσφέρουν ένα πραγματικό τεχνολογικό πλεονέκτημα. Αντιμετωπίζουν καλά τις φυσικές και χημικές προκλήσεις των εφαρμογών κάθετων κλιβάνων και συμβάλλουν στη συνολική βελτιστοποίηση της διαδικασίας παρέχοντας ακεραιότητα πλακιδίων, σταθερά αποτελέσματα και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.