Σκούβια κενού

ΗμικόρουΚαρβίδιο πυριτίουΤα Chucks κενού SIC είναι κεραμικά εργαλεία υψηλής τεχνολογίας που έχουν σχεδιαστεί για να κρατούν με ασφάλεια και αξιόπιστα πλακίδια ημιαγωγών κατά τη διάρκεια διαδικασιών απομάκρυνσης υλικού ακριβείας. Είναι κατασκευασμένα για χρήση σε εξαιρετικά καθαρά, υψηλής θερμοκρασίας και χημικά σκληρά περιβάλλοντα. Τα τσοκ κενών SIC βοηθούν στην παροχή ανώτερης προσρόφησης και ευθυγράμμισης. Τα τσουκκάρια Semicorex SIC κατασκευάζονται από κεραμικό καρβίδιο υψηλής καθαρότητας για την παροχή εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, θερμικής αγωγιμότητας και χημικής ανθεκτικότητας.

Η κύρια δουλειά ενός τσοκ κενών είναι να τραβήξει ομοιόμορφη αναρρόφηση στην επιφάνεια του δίσκου, έτσι ώστε το δίσκο να διατηρείται σταθερή κατά τη διάρκεια διαδικασιών όπως η επιθεώρηση, η εναπόθεση, η χάραξη και η λιθογραφία. Τα τυπικά τσοκ κενών έχουν προβλήματα με την παραγωγή σωματιδίων, τη στρέβλωση ή τη χημική υποβάθμιση με την πάροδο του χρόνου. Για τις ακραίες συνθήκες κατασκευής ημιαγωγών, οι τσουκάρδες κενού SIC θα παρέχουν ανώτερη μακροπρόθεσμη ανθεκτικότητα και σταθερότητα.

Τα υλικά καρβιδίου του πυριτίου είναι πολύ αποτιμημένα για τη σκληρότητα, τη θερμική σταθερότητα και τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Αυτά τα υλικά θα παραμείνουν διαστασιακά σταθερά σε ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασιών, επιτρέποντας τη θερμική σταθερότητα και τη βελτιωμένη ακρίβεια της διαδικασίας χωρίς θερμική αναντιστοιχία στο δίσκο. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητά τους επιτρέπει επίσης την ταχεία διάχυση της θερμότητας, η οποία είναι χρήσιμη σε ταχείες θερμικές αρχικές συνθήκες αύξησης ή για σύντομες εκθέσεις σε πλάκες υψηλής ενέργειας.

Το κεραμικό SIC όχι μόνο έχει θερμικά και μηχανικά οφέλη, αλλά είναι επίσης ανθεκτικό στη διάβρωση του πλάσματος και τα επιθετικά αέρια διεργασιών. Αυτό το χαρακτηριστικό καθιστά τις τσιπς κενού SIC ιδιαίτερα ευνοϊκή για τις διαδικασίες ξηρού χάραξη, CVD και PVD όπου τα υλικά χαλαζία ή αλουμινίου μπορούν να υποβαθμιστούν με χρήση. Η χημική αδράνεια του SIC θα βοηθήσει στον περιορισμό της μόλυνσης και τη βελτίωση του χρόνου λειτουργίας του εργαλείου.

Προκειμένου να παρέχει ανώτερη απόδοση. Το Semicorex κάνει το SIC κενού τσιμπήματα και καθορίζει εξαιρετικά σφιχτές ανοχές με επιφάνειες εξαιρετικά flat με δομές καναλιών στην ενημέρωση Micron's. Με αυτά τα χαρακτηριστικά, παρέχει υποστήριξη με δισκίο με ακριβή περιοχή αναρρόφησης και συνεχή περιοχή αναρρόφησης για υποστήριξη από πλακίδια μειώνοντας τις πιθανότητες στημονιού ή θραύσης των ίδιων των πλακών. Οι υπηρεσίες προσαρμοσμένου σχεδιασμού είναι επίσης διαθέσιμες για να ταιριάζουν σε διάφορα μεγέθη πλακιδίων (2 "έως 12") σε διαφορετικές εφαρμογές.

Καθώς η υψηλότερη απόδοση, ο έλεγχος και η αξιοπιστία της διαδικασίας είναι παράγοντες, τα τσοκ κενών SIC είναι τα νέα βασικά συστατικά του εξοπλισμού ημιαγωγών επόμενης γενιάς. Οι εφαρμογές των τσοκ κενών SIC συνδέονται άμεσα με την αύξηση της απόδοσης, την αξιοπιστία του εξοπλισμού και τον έλεγχο της επεξεργασίας.