Τσοκ κενού SiC

Το Semicorex SiC Vacuum Chuck είναι ένα ειδικά σχεδιασμένο εργαλείο που συγκρατεί με ασφάλεια τις γκοφρέτες ημιαγωγών κατά τα κρίσιμα στάδια επεξεργασίας με μέγιστη σταθερότητα και αξιοπιστία. Η επίστρωση CVD SiC του τσοκ SiC Vacuum παρέχει εξαιρετική μηχανική αντοχή, χημική αντοχή και θερμική σταθερότητα, διασφαλίζοντας ότι οι ευαίσθητες γκοφρέτες προστατεύονται από οποιαδήποτε πιθανή ζημιά ή μόλυνση.

Ο μοναδικός συνδυασμός γραφίτη και επίστρωσης SiC του τσοκ κενού SiC προσφέρει υψηλή θερμική αγωγιμότητα και ελάχιστο συντελεστή θερμικής διαστολής. Αυτό επιτρέπει την αποτελεσματική απαγωγή θερμότητας και την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου. Αυτά τα χαρακτηριστικά είναι απαραίτητα για τη διατήρηση των βέλτιστων συνθηκών επεξεργασίας και τη βελτίωση της απόδοσης στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Το τσοκ SiC Vacuum είναι επίσης συμβατό με περιβάλλοντα κενού, εξασφαλίζοντας ανώτερη πρόσφυση μεταξύ του τσοκ και της γκοφρέτας. Αυτό εξαλείφει τον κίνδυνο ολίσθησης ή κακής ευθυγράμμισης κατά τη διάρκεια εργασιών υψηλής ακρίβειας. Η μη πορώδης επιφάνεια και οι αδρανείς ιδιότητές του αποτρέπουν περαιτέρω τυχόν εξάτμιση αερίων ή μόλυνση από σωματίδια, προστατεύοντας την καθαρότητα και την ακεραιότητα του περιβάλλοντος παραγωγής ημιαγωγών.

Το Semicorex SiC Vacuum Chuck είναι μια τεχνολογία ακρογωνιαίο λίθο στην κατασκευή ημιαγωγών, που προσφέρει απαράμιλλη απόδοση και ανθεκτικότητα για να ανταποκριθεί στις εξελισσόμενες απαιτήσεις της βιομηχανίας. Είτε χρησιμοποιείται σε λιθογραφία, χάραξη, εναπόθεση ή άλλες κρίσιμες διεργασίες, αυτή η προηγμένη λύση συνεχίζει να επαναπροσδιορίζει τα πρότυπα αριστείας στον χειρισμό και την επεξεργασία γκοφρετών ημιαγωγών.