Τα χέρια του ρομπότ Sic

Τα χέρια ρομπότ Semicorex SIC είναι τα τελευταία στους τελικούς παράγοντες που έχουν σχεδιαστεί για εφαρμογές μεταφοράς δισκίων ρομποτικής στον τομέα της παραγωγής ημιαγωγών. Κατασκευασμένα με υλικά υψηλής απόδοσης, κατασκευάσαμε αυτά τα ρομποτικά χέρια με κεραμικά καρβιδίου πυριτίου (SIC) για να παρέχουμε μέγιστη θερμική καταγραφή, χημική σταθερότητα και μηχανική αντοχή για ένα όλο και πιο σκληρό περιβάλλον κατασκευής ή χειρισμού.

Κεντρική στα χέρια ρομπότ SIC είναι το ιδιόκτητο προχωρημένο μαςκαρβίδιο πυριτίουΓνωστή για την υψηλή σκληρότητα του (MOHS 9), την υψηλή θερμική αγωγιμότητα και την αντίσταση στη διάβρωση. Σε αντίθεση με τα παραδοσιακά υλικά όπως το αλουμίνιο ή ανοξείδωτο χάλυβα, το SIC είναι συμβατό με το σκληρό περιβάλλον επεξεργασίας των καθαριστικών ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των επεξεργασμένων υψηλών θερμοκρασιών και των αντιδραστικών αερίων. Προσφέρουμε μακροπρόθεσμη ανθεκτικότητα και ελαχιστοποιούμε τη μόλυνση, σύμφωνα με την αυστηρή καθαρότητα που απαιτείται για την κατασκευή πλακιδίων.

Εξοπλισμός ημιαγωγών με χέρια ρομπότ SIC Χρησιμοποιήστε αναρρόφηση αρνητικής πίεσης για να αποκτήσετε το δίσκο, δηλαδή, το δίσκο ημιαγωγών προσροφάται στο χαλαζία ή το κεραμικό δάχτυλο χρησιμοποιώντας την αρχή της αναρρόφησης που ακολουθείται από μεταφορά χρησιμοποιώντας μηχανικό βραχίονα δράσης που εκτείνεται, περιστρεφόμενες κινήσεις και ανυψωτικές κινήσεις αντίστοιχα.

Τα "υψηλή ταχύτητα" και η "καθαριότητα" είναι τα βασικά χαρακτηριστικά του εξοπλισμού χειρισμού των πλακιδίων ημιαγωγών. Για να ικανοποιηθούν αυτά τα χαρακτηριστικά, ο εξοπλισμός έχει εξαιρετικά αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με την απόδοση των χρησιμοποιούμενων στοιχείων. Δεδομένου ότι οι περισσότερες διαδικασίες διεξάγονται σε κενό, υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικό περιβάλλον αερίου, ο βραχίονας χειρισμού που χρησιμοποιείται στον εξοπλισμό πρέπει να έχει εξαιρετικές φυσικές ιδιότητες, όπως: υψηλή μηχανική αντοχή, αντοχή στη διάβρωση, υψηλή αντοχή στη θερμοκρασία, αντοχή στη φθορά, υψηλή σκληρότητα, μόνωση κ.λπ. και προχωρημένα κεραμικά υλικά.

Κεραμικά καρβιδίου πυριτίουΈχετε τις φυσικές ιδιότητες της πυκνής υφής, της υψηλής σκληρότητας, της υψηλής αντοχής στη φθορά, καθώς και της καλής αντοχής στη θερμότητα, της εξαιρετικής μηχανικής αντοχής, της καλής μόνωσης σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, της καλής αντοχής στη διάβρωση και άλλων φυσικών ιδιοτήτων. Είναι ένα εξαιρετικό υλικό για την παρασκευή όπλων χειρισμού εξοπλισμού ημιαγωγών.

Αναγνωρίζοντας ότι οι ρομποτικές πλατφόρμες ποικίλλουν μεταξύ των FAB και των κατασκευαστών εργαλείων, τα χέρια μας SIC ρομπότ είναι διαθέσιμα σε μια σειρά τυποποιημένων μεγεθών και μπορούν να προσαρμοστούν για μοναδικές διαμορφώσεις εργαλείων. Οι διεπαφές τοποθέτησης, οι γεωμετρίες των δακτύλων και τα χαρακτηριστικά υποστήριξης των πλακιδίων μπορούν να προσαρμοστούν για να καλύψουν τον συγκεκριμένο εξοπλισμό και τις ανάγκες διεργασίας. Είτε μεταφέρετε πλακίδια μέσα σε εργαλεία συμπλέγματος, θαλάμους κενού ή συστήματα FOUP, τα χέρια ρομπότ μας ενσωματώνονται άψογα με κορυφαίες μάρκες ρομποτικής.

Κάθε χέρι ρομπότ SIC υφίσταται αυστηρό καθαρισμό, επιθεώρηση και διαδικασίες συσκευασίας για να εξασφαλιστεί η συμμόρφωση με τα πρότυπα καθαρού χώρου κατηγορίας 1. Η μη πορώδη, αντι-στατική επιφάνεια του SIC μειώνει την προσκόλληση των σωματιδίων, ενώ η ισχυρή δομή δομής αντιστέκεται σε μικροκρατείες που θα μπορούσαν να οδηγήσουν σε παραγωγή σωματιδίων με την πάροδο του χρόνου. Αυτό τους καθιστά ιδανικούς για διαδικασίες πλακιδίων front-end, όπου ακόμη και η παραμικρή μόλυνση μπορεί να οδηγήσει σε αποτυχία της συσκευής.

Από την εμφύτευση επιταξίας και ιόντων σε PVD, CVD και CMP, τα χέρια ρομπότ SIC εμπιστεύονται σε κάθε βήμα της κατασκευής συσκευών ημιαγωγών. Η ανώτερη αντίσταση τους σε περιβάλλοντα θερμικού σοκ και πλάσματος τα καθιστά απαραίτητα σε προχωρημένες γραμμές ημιαγωγών λογικής και ισχύος, ειδικά όταν χρησιμοποιούνται υποστρώματα SIC Wafer.