Σωληνίσκοι

Οι σωλήνες Semicorex SIC είναι κεραμικά μέρη για συστήματα φούρνου ημιαγωγών.  Έχουν μοναδικές ιδιότητες που περιλαμβάνουν υψηλή θερμική μετάδοση και υψηλή θερμοκρασία και χημική αντίσταση που απαιτείται σε ημιαγωγικές εφαρμογές όπου υπάρχουν ακραίες υψηλές θερμοκρασίες και χημικές περιβαλλοντικές συνθήκες που αναμένονται και όπου οι ιδιότητες είναι επιθυμητές - ανθεκτικότητα, ενεργειακή απόδοση και μοναδικές σταθερές συνθήκες διεργασιών - οι οποίες επιτρέπουν τις χρήσεις να είναι οικονομικές στο προηγμένο ημιαγωγικό περιβάλλον.

Οι σωλήνες Semicorex Sic χρησιμοποιούν ένα λεπτό κόκκινο υψηλής καθαρότηταςκαρβίδιο πυριτίουΑυτό κατασκευάζεται για να έχει εξαιρετική μηχανική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας ως αποτέλεσμα προηγμένων μεθόδων και τεχνικών ανακρυστάλλωσης και ανακρυστάλλωσης. Η ενεργοποίηση της SIC υψηλής απόδοσης έχει ως αποτέλεσμα εξαιρετική μηχανική αντοχή και διατήρηση θερμικής σταθερότητας σε υψηλές θερμοκρασίες λειτουργίας. Το SIC έχει εξαιρετική σκληρότητα που μετριάζει τη φθορά ή την πιθανή παραμόρφωση.  Επιπλέον, τα χαρακτηριστικά που σχετίζονται με τις ιδιότητες SIC είναι χαμηλού καυσίμου συντελεστή θερμικής διαστολής είναι ευεργετικά επειδή περιορίζουν τη θερμική τάση, καθώς θα υπάρξουν απαιτήσεις για την ποδηλασία αυτού του υλικού μεταξύ ακραίας υψηλής και χαμηλής θερμότητας λειτουργίας. Σε όλες αυτές τις εκτιμήσεις έχουν μια ειδική χρησιμότητα για ιδανικές εφαρμογές σε κλιβάνους διάχυσης, κλιβάνους οξείδωσης και συστήματα LPCVD/PECVD για τη διατήρηση του μέγιστου σταθερού συνθηκών διεργασίας, είναι προς όφελος για την εξάλειψη ή τον περιορισμό, τα ελαττώματα που είναι επίσης μετρήσεις που σχετίζονται με δίσκους ή υλικό με εξαιρετικά σταθερές, ακόμη και συνθήκες διεργασίας.

Μια άλλη σημαντική χρησιμότητα των σωλήνων SIC είναι τα υψηλά προφίλ θερμικής αγωγιμότητας σε συγκεκριμένες συνθήκες και τα εφαρμοστέα σχέδια του κλιβάνου για την παραγωγή υψηλών ποσοστών αγώγιμων και, σημαντικά, μιας ομοιόμορφης και σταθερής κατανομής της θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.  Αυτή η αξιόπιστη συμπεριφορά επιτρέπει την εκτέλεση των πλακών σε ημι-ισότιμες κατανομές θερμοκρασίας σε λογικά χρονικά διαστήματα και επιπλέον για τον περιορισμό των θερμικών κλίσεων για την άμβλυνση των στρεβλωμένων και/ή των καταστημάτων των πλακών που βελτιώνονται κατά τη βελτίωση των πιο ομοιόμορφων συνθηκών εναπόθεσης ταινιών.

Η χημική σταθερότητα και η αντίσταση είναι ένας άλλος σημαντικός παράγοντας απόδοσης.  Στις διεργασίες ημιαγωγών, ο σωλήνας του κλιβάνου υποβάλλεται στην επίδραση εξαιρετικά αντιδραστικών αερίων, όπως οξυγόνο, υδρογόνο, αμμωνία και όλα τα αλογόνα, τα οποία μπορούν να υποβαθμίσουν τα συμβατικά υλικά με ταχείς ρυθμούς. Η πυκνή και μη πορώδη μικροδομή, μαζί με χημικά αδρανή φύση του SIC, την προστατεύει από την οξείδωση και τη διάβρωση, ενώ παράλληλα παρέχει επιχειρησιακές και μηχανικές επιδόσεις στο περιβάλλον ακραίας διαδικασίας.  Η ανθεκτικότητα των φούρνων SIC τους βοηθά να διατηρήσουν την ακεραιότητα της μορφής και της ακρίβειας διαστάσεων σε μεγάλες χρονικές περιόδους, η οποία είναι σημαντική για τον έλεγχο της διαδικασίας και τη σταθερότητα.

Οι σωλήνες SIC μπορούν να κατασκευαστούν σε ένα ευρύ φάσμα μεγεθών και πάχους τοίχου, γεωμετρικά διαμορφωμένα ώστε να ταιριάζουν σε σχέδια κλιβάνου και ανάγκες διεργασίας.  Τα ακριβή χαρακτηριστικά κατεργασίας ακρίβειας διατηρούνται επίσης κατά τη διάρκεια του σχεδιασμού και της παραγωγής σωλήνων SIC, έτσι ώστε οι επιχειρησιακές ανοχές να μπορούν να είναι σφιχτές, με ομαλές εσωτερικές επιφάνειες και εξαιρετική ομόκεντρη για τη διατήρηση της ισορροπίας της στρωμικής ροής αερίου και των ομοιόμορφων θερμικών προφίλ. Η επιφανειακή στίλβωση και οι επικαλύψεις μπορούν να παρέχονται ως επιλογές θεραπείας που θα ενισχύσουν την απόδοση μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων και τη βελτίωση της αντοχής στη διάβρωση.

Οι σωλήνες SIC διαθέτουν σαφή λειτουργικά και κόστους πλεονεκτήματα σε σύγκριση με εναλλακτικά υλικά όπως οι σωλήνες χαλαζία ή αλουμίνας.  Το αρχικό κόστος για τα εξαρτήματα SIC μπορεί να είναι ελαφρώς υψηλότερο, αλλά η διάρκεια ζωής του προϊόντος, η μείωση της θραύσης και οι χαμηλότερες απαιτήσεις συντήρησης οδηγούν στο συνολικό κόστος ιδιοκτησίας που είναι χαμηλότερο κόστος από τα εναλλακτικά υλικά και τους σωλήνες.

Να καταλήξει, SemicorexΟύτωΟι σωλήνες είναι η καλύτερη επιλογή για εφαρμογές του κλιβάνου ημιαγωγών, καθώς παρέχουν την καλύτερη θερμική απόδοση, τη μηχανική αντοχή, τη χημική αντίσταση και την αξιοπιστία για τα απαιτητικά περιβάλλοντα παραγωγής. Αυτό το υλικό βελτιώνει τη σταθερότητα της διαδικασίας και βοηθά στην εξοικονόμηση και την αποτελεσματικότητα του κόστους προς τα κάτω (δηλαδή χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας). Οι σωλήνες SIC αποτελούν θεμελιώδες υλικό για τη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών.