Οριζόντιοι σωλήνες φούρνου SIC

Οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SICείναι οι απαραίτητοι φορείς του συστήματος κλιβάνου, που βρίσκονται συνήθως στην περιοχή θέρμανσης του πυρήνα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών ή φωτοβολταϊκών. Λειτουργούν μαζί με τα θερμαντικά στοιχεία, τα συστήματα ελέγχου θερμοκρασίας, τα συστήματα ελέγχου αερίου και τα πλοιάρια για να σχηματίσουν το πλήρες σύστημα κλιβάνου.

Στην πραγματική λειτουργία, οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SIC θερμαίνονται από τα θερμαντικά στοιχεία, τα οποία μεταφέρουν ομοιόμορφα τη θερμότητα στους σωλήνες του κλιβάνου με τη βοήθεια της εξαιρετικής θερμικής αγωγιμότητας των υλικών καρβιδίου του πυριτίου. Εν τω μεταξύ, ειδικά αέρια διεργασίας (όπως οξυγόνο, άζωτο, αέρια ντόπινγκ κ.λπ.) εισάγονται στον σωλήνα του κλιβάνου. Υπό την επίδραση αυτής της υψηλής θερμοκρασίας ατμόσφαιρας αερίου, τα υλικά ημιαγωγών μέσα στον κλίβανο θα υποστούν χημικές αντιδράσεις ή φυσικές αλλαγές, επιτυγχάνοντας τελικά τροποποίηση υλικού, ντόπινγκ ή δομική βελτιστοποίηση.

Οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SIC της Semicorex παρέχουν αξιοσημείωτη μηχανική αντοχή και σκληρότητα, η οποία παίζει σημαντικό ρόλο σε εφαρμογές που περιλαμβάνουν χειρισμό και επεξεργασία πλακιδίων μεγάλου όγκου. Οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SIC είναι σε θέση να παρέχουν σταθερή υποστήριξη για γκοφρέτες σε διεργασίες θερμικής επεξεργασίας όπως οξείδωση, διάχυση και ανόπτηση, διασφαλίζοντας ότι οι γκοφρέτες βρίσκονται στη σωστή θέση κατά την επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία και αποφεύγοντας τη μετατόπιση ή την παραμόρφωση που προκαλείται από θερμική καταπόνηση.

Οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SIC της Semicorex κατασκευάζονται από υψηλής καθαρότηταςκεραμικά καρβιδίου του πυριτίουμε εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, ακολουθούμενη από την εναπόθεση ενός CVDεπίστρωση καρβιδίου του πυριτίουστην επιφάνειά τους. Αυτή η μέθοδος κατασκευής προσθέτει ένα προστατευτικό στρώμα στους οριζόντιους σωλήνες κλιβάνου SIC, το οποίο τους επιτρέπει να λειτουργούν σταθερά σε απαιτητικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά με την πάροδο του χρόνου. Αυτή η απόδοση αντίστασης στη διάβρωση των οριζόντιων σωλήνων κλιβάνου SIC βελτιώνει την απόδοση της κατασκευής γκοφρέτας ημιαγωγών μειώνοντας αποτελεσματικά τον κίνδυνο βλάβης εξαρτημάτων που σχετίζεται με τη διάβρωση και μειώνοντας την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις και συντήρηση.

Με τόσες πολλές ανώτερες ιδιότητες, οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου SIC της Semicorex χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλές διεργασίες επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας στις βιομηχανίες φωτοβολταϊκών και ημιαγωγών, όπως η διαδικασία οξείδωσης, η διαδικασία διάχυσης, η διαδικασία ανόπτησης και η εναπόθεση χημικών ατμών χαμηλής πίεσης.