Δαχτυλίδια εστίασης SiC

Οι προηγμένοι δακτύλιοι εστίασης SiC υψηλής καθαρότητας Semicorex είναι κατασκευασμένοι για να αντέχουν στα ακραία περιβάλλοντα σε θαλάμους χάραξης πλάσματος (ή ξηρής χάραξης). Εστιάζουμε σε βιομηχανίες ημιαγωγών, όπως στρώματα καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγούς επιταξίας. Τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής και καλύπτουν πολλές από τις αγορές της Ευρώπης και της Αμερικής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Η Semicorex προμηθεύει τα SiC Focus Rings είναι πραγματικά σταθερά για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό. Οι δακτύλιοι εστίασης SiC ή οι δακτύλιοι ακμής έχουν σχεδιαστεί για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της πλακέτας. Ελαχιστοποιήστε τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση με εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για τις ακαμψίες της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος. Οι δακτύλιοι εστίασης SiC με επίστρωση SiC είναι μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Έχει υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και στη θερμότητα καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Εφαρμόζουμε SiC σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD).

Παράμετροι δακτυλίων εστίασης SiC

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπυλική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά των δακτυλίων εστίασης SiC

- Επιστρώσεις καρβιδίου πυριτίου CVD για βελτίωση της διάρκειας ζωής.

- Θερμομόνωση κατασκευασμένη από καθαρό άκαμπτο άνθρακα υψηλής απόδοσης.

- Σύνθετος θερμαντήρας άνθρακα/άνθρακα και πλάκα. - Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Γραφίτης υψηλής καθαρότητας και επίστρωση SiC για αντοχή στις τρύπες και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής