ICP γραφίτης με επίστρωση πυριτίου με άνθρακα

Οι φορείς γκοφρέτας που χρησιμοποιούνται στην επεξεργασία επιταξιακής ανάπτυξης πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Οι υποδοχείς γραφίτη Semicorex ICP με επίστρωση πυριτίου άνθρακα έχουν σχεδιαστεί ειδικά για αυτές τις απαιτητικές εφαρμογές εξοπλισμού επιταξίας. Το προϊόν μας είναι κατασκευασμένο για να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό, εξασφαλίζοντας μακροζωία και βέλτιστα αποτελέσματα.
Ο γραφίτης με επίστρωση πυριτίου ICP με άνθρακα έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τον γραφίτη με επίστρωση πυριτίου ICP με άνθρακα.

Παράμετροι ICP γραφίτη με επικάλυψη πυριτίου με άνθρακα

Χαρακτηριστικά του ICP Silicon Coated Graphite

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επίστρωση σε όλη την επιφάνεια

Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C

Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.

Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.

Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.

- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου

- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ

- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών