ICP Etching Carrier με επικάλυψη SiC

Οι φορείς γκοφρέτας που χρησιμοποιούνται σε φάσεις εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η επιταξία ή το MOCVD, ή η επεξεργασία χειρισμού πλακιδίων, όπως η χάραξη, πρέπει να αντέχουν σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό. Η Semicorex παρέχει υψηλής καθαρότητας SiC Coated ICP Etching Carrier παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία για σταθερό πάχος και αντοχή στο στρώμα epi και ανθεκτική χημική αντοχή. Η λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC παρέχει μια καθαρή, λεία επιφάνεια, ζωτικής σημασίας για το χειρισμό, καθώς οι παρθένες γκοφρέτες έρχονται σε επαφή με τον υποδοχέα σε πολλά σημεία σε ολόκληρη την περιοχή τους.

Ο φορέας χάραξης ICP με επίστρωση SiC έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.

Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για τον φορέα μας με επικάλυψη SiC ICP Etching Carrier.

Παράμετροι φορέα χάραξης ICP με επικάλυψη SiC

Χαρακτηριστικά του φορέα χάραξης ICP με επικάλυψη SiC υψηλής καθαρότητας

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια

Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C

Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.

Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.

Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.

- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου

- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ

- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών