Το ICP Plasma Etching Plate της Semicorex παρέχει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση για το χειρισμό της γκοφρέτας και τις διαδικασίες εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης. Το προϊόν μας είναι κατασκευασμένο για να αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρό χημικό καθαρισμό, εξασφαλίζοντας ανθεκτικότητα και μακροζωία. Με καθαρή και λεία επιφάνεια, ο φορέας μας είναι τέλειος για το χειρισμό παρθένων γκοφρετών.
Όσον αφορά την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης και το χειρισμό της γκοφρέτας, εμπιστευτείτε το ICP Plasma Etching Plate της Semicorex. Το προϊόν μας προσφέρει ανώτερη αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση, ακόμη και θερμική ομοιομορφία και βέλτιστα μοτίβα στρωτής ροής αερίου. Με καθαρή και λεία επιφάνεια, ο φορέας μας είναι τέλειος για το χειρισμό παρθένων γκοφρετών.
Το ICP Plasma Etching Plate μας έχει σχεδιαστεί για να επιτυγχάνει το καλύτερο μοτίβο στρωτής ροής αερίου, διασφαλίζοντας ομοιόμορφο θερμικό προφίλ. Αυτό βοηθά στην αποφυγή τυχόν μόλυνσης ή διάχυσης ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη στο τσιπ της γκοφρέτας.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα για το ICP Plasma Etching Plate μας.
Παράμετροι ICP Plasma Etching Plate
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά της ICP Plasma Etching Plate
- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών