Φορείς πλακών με επίστρωση SiC για MOCVD

Οι φορείς μας με επίστρωση SiC για MOCVD διαθέτουν υψηλή καθαρότητα, καθιστώντας το μια εξαιρετική επιλογή για όσους αναζητούν έναν φορέα που είναι εξαιρετικά ομοιόμορφος και συνεπής στις ιδιότητές του.
Οι πλακοφόροι φορείς μας με επίστρωση SiC για MOCVD κατασκευασμένοι με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας σε γραφίτη, που το καθιστά εξαιρετικά ανθεκτικό στην οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C. Η διαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών CVD που χρησιμοποιείται στην κατασκευή του εξασφαλίζει υψηλή καθαρότητα και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση. Είναι ιδιαίτερα ανθεκτικό στη διάβρωση, με πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια, καθιστώντας το ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια. Η αντίσταση στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία εξασφαλίζει σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C.

Παράμετροι φορέων πλακών με επικάλυψη SiC για MOCVD

Χαρακτηριστικά του SiC Coated Graphite Susceptor για MOCVD

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών