Υποδοχείς βάσης γραφίτη με επικάλυψη SiC για MOCVD

Τα επικαλυμμένα SiC Base Susceptors για MOCVD έχουν υψηλή αντοχή στη θερμότητα και τη διάβρωση που εξασφαλίζουν μεγάλη σταθερότητα ακόμη και σε ακραία περιβάλλοντα.
Τα χαρακτηριστικά αυτού του επικαλυμμένου γραφίτη με επικάλυψη SiC για MOCVD είναι εξαιρετικά. Είναι κατασκευασμένο με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας σε γραφίτη, που το καθιστά εξαιρετικά ανθεκτικό στην οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C. Η διαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών CVD που χρησιμοποιείται στην κατασκευή του εξασφαλίζει υψηλή καθαρότητα και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση. Η επιφάνεια του φορέα είναι πυκνή, με λεπτά σωματίδια που ενισχύουν την αντίστασή του στη διάβρωση, καθιστώντας τον ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
Τα επικαλυμμένα με SiC γραφίτη Βάση Susceptors για MOCVD εξασφαλίζουν ένα ομοιόμορφο θερμικό προφίλ, εγγυώντας το καλύτερο μοτίβο στρωτής ροής αερίου. Αποτρέπει τη διάχυση οποιασδήποτε μόλυνσης ή ακαθαρσιών στη γκοφρέτα, καθιστώντας την ιδανική για χρήση σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου. Η Semicorex είναι μεγάλης κλίμακας κατασκευαστής και προμηθευτής επικαλυμμένου SiC Graphite Susceptor στην Κίνα και τα προϊόντα μας έχουν καλό πλεονέκτημα τιμής. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Παράμετροι επικαλυμμένων επικαλυμμένων με SiC επιδεκτικά βάσης γραφίτη για MOCVD

Χαρακτηριστικά του SiC Coated Graphite Susceptor για MOCVD

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών