Δίσκοι εκτροπής αερίου με επίστρωση SiC

Αποτελώντας το εξαιρετικό παράδειγμα προηγμένων υλικών ποιότητας ημιαγωγών και τεχνολογιών κατασκευής αιχμής, η SemicorexΕπικαλυμμένο με SiCΟι δίσκοι εκτροπής αερίου κατασκευάζονται με ακρίβεια από γραφίτη υψηλής καθαρότητας ως μήτρες τους με πυκνή επίστρωση SiC μέσω χημικής εναπόθεσης ατμών. Οι δίσκοι εκτροπής αερίου έχουν σχεδιαστεί κυρίως για να κατανέμουν ομοιόμορφα το αέριο αντίδρασης σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου για να εξασφαλίζονται πλήρεις αντιδράσεις κατά την επεξεργασία, διευκολύνοντας έτσι τον σχηματισμό σταθερών και ομοιόμορφων μονοκρυστάλλων λεπτών μεμβρανών.

Τα πλεονεκτήματα των δίσκων εκτροπής αερίου με επίστρωση Semicorex SiC

1. Υψηλή καθαρότητα υλικού

Η Semicorex υποστηρίζει αυστηρά πρότυπα ποιότητας προϊόντων ξεκινώντας από την προσεκτική επιλογή υλικού. Χάρη σε αυτόν τον αυστηρό έλεγχο καθαρότητας της πρώτης ύλης, οι δίσκοι εκτροπής αερίου με επίστρωση Semicorex SiC παρέχουν χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες και διαθέτουν εξαιρετική καθαριότητα. Αυτό μπορεί να αποτρέψει σημαντικά τα μεταλλικά ιόντα και άλλους ρύπους από το να διακυβεύουν τις διαδικασίες επιταξίας ημιαγωγών.

2. Ανώτερη θερμική σταθερότητα

Τα εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται σε αυτά τα συστήματα απαιτείται να έχουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα επειδή ο επιταξιακός εξοπλισμός ημιαγωγών συνήθως λειτουργεί σε θερμοκρασίες άνω των 1400°C. Αυτή η εξαιρετική θερμική σταθερότητα μπορεί να διασφαλίσει ότι οι δίσκοι εκτροπής αερίου με επίστρωση Semicorex αντέχουν στις δύσκολες συνθήκες λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας και μπορούν να αποτρέψουν αποτελεσματικά την απελευθέρωση ακαθαρσιών που προκαλείται από υψηλή θερμοκρασία κατά τη λειτουργία, γεγονός που βοηθά στην εγγύηση της ποιότητας και της απόδοσης των επιταξιακών γκοφρετών.

3. Αξιοσημείωτη αντοχή στη διάβρωση υψηλής θερμοκρασίας

Οι μη προστατευμένες μήτρες γραφίτη είναι επιρρεπείς στη διάβρωση και τη δημιουργία σωματιδίων, γι' αυτό οι δίσκοι εκτροπής αερίου συνήθως επεξεργάζονται με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου για να ενισχυθεί η αντοχή τους στη διάβρωση. Καλυμμένοι με πυκνή επίστρωση SiC, οι δίσκοι εκτροπής αερίου με επίστρωση Semicorex SiC προσφέρουν εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση και τη χημική διάβρωση, γεγονός που τους επιτρέπει να λειτουργούν σταθερά για μεγάλη διάρκεια ζωής ακόμα και κάτω από δύσκολες συνθήκες λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας και διάβρωσης.

4. Ευέλικτες δυνατότητες προσαρμογής

Η Semicorex είναι εξοπλισμένη με πολλαπλό προηγμένο εξοπλισμό επεξεργασίας, όπως εξοπλισμό κατεργασίας CNC, μηχανές λείανσης επιφανειών και εξοπλισμό γεώτρησης με υπερήχους,  προσφέροντας έμπειρες δυνατότητες επεξεργασίας. Η Semicorex είναι σε θέση να προσφέρει ευέλικτες υπηρεσίες προσαρμογής σύμφωνα με τα σχέδια πελατών και να προσαρμόζει τις διαστάσεις, τις ανοχές, την επιπεδότητα επιφάνειας, τις διαμέτρους οπών και τις αποστάσεις των δίσκων εκτροπής αερίου με επίστρωση SiC για να εξασφαλίσει απρόσκοπτη συμβατότητα με τον επιταξιακό εξοπλισμό των πελατών.