Κεραμικά τσοκ SiC

Οι μικρο-οπές σχεδιασμένες με ακρίβεια κατανέμονται ομοιόμορφα στην επιφάνεια των κεραμικών τσοκ κενού SiC, επιτρέποντας αξιόπιστη σύνδεση με τον εξωτερικό εξοπλισμό κενού. Κατά τη λειτουργία, η αντλία κενού ενεργοποιείται για να τραβήξει αέρα μέσα από τις οπές, δημιουργώντας ένα περιβάλλον αρνητικής πίεσης μεταξύ της γκοφρέτας ημιαγωγών και του τσοκ κενού. Αυτό επομένως επιτρέπει στη γκοφρέτα να συγκρατείται ομοιόμορφα και σταθερά στην επιφάνεια του τσοκ κενού.

Τα πλεονεκτήματα των κεραμικών τσοκ κενού Semicorex SiC

1. Επιλογή υλικού Premium

SemicorexΚεραμικά τσοκ κενού SiCεπιλέξτε προσεκτικά καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας ως πρώτη ύλη. Ο αυστηρός έλεγχος της καθαρότητας του υλικού του Semicorex αποτρέπει αποτελεσματικά τη μόλυνση του πλακιδίου που προκαλείται από ακαθαρσίες κατά τη λειτουργία, ικανοποιώντας έτσι τις αυξανόμενες απαιτήσεις για καθαριότητα και απόδοση παραγωγής.

2. Λεπτή ακρίβεια κατεργασίας

Η επιφάνεια των κεραμικών τσοκ κενού Semicorex SiC υφίσταται στίλβωση καθρέφτη και η επιπεδότητά τους ελέγχεται στα 0,3–0,5 μm. Αυτός ο έλεγχος ακραίας επιπεδότητας μπορεί να επιτρέψει το βέλτιστο αποτέλεσμα επαφής, το οποίο μειώνει σημαντικά τον κίνδυνο γρατσουνιών γκοφρέτας που προκαλούνται από τραχιές επιφάνειες επαφής. Κάθε μικρο-οπή και αυλάκωση στα τσοκ κενού είναι επεξεργασμένα με ακρίβεια, παρέχοντας έτσι ένα σταθερό και ομοιόμορφο αποτέλεσμα προσρόφησης κατά τη λειτουργία.

3.Ευέλικτες υπηρεσίες προσαρμογής

Η Semicorex παρέχει στους πολύτιμους πελάτες μας υπηρεσίες προσαρμογής, προσφέροντας διάφορες επιλογές μεγέθους κεραμικών τσοκ κενού SiC, όπως 6 ιντσών, 8 ιντσών, 12 ιντσών. Μπορούμε να προσαρμόσουμε τις ανοχές διαστάσεων, το μέγεθος των πόρων, την επιπεδότητα και την τραχύτητα για να ανταποκριθούμε στις απαιτήσεις των πελατών, εξασφαλίζοντας τέλεια αντιστοίχιση με τον εξοπλισμό επεξεργασίας και επιθεώρησης ημιαγωγών σας.

4.Εξαιρετική αντοχή και διάρκεια ζωής

SemicorexΚεραμικό SiCΟι τσοκ κενού σχηματίζονται με ισοστατική πίεση και στη συνέχεια πυροσυσσωματώνονται σε υψηλή θερμοκρασία. Μετά από αυτή την τεχνολογία ειδικών διεργασιών, τα κεραμικά τσοκ κενού Semicorex SiC διαθέτουν πολλαπλές εξαιρετικές επιδόσεις, όπως ελαφρύ βάρος, υψηλή ακαμψία, ισχυρή αντοχή στη φθορά και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Αυτές οι ιδιότητες επιτρέπουν στα κεραμικά τσοκ κενού Semicorex SiC να λειτουργούν συνεχώς στις δύσκολες συνθήκες χειρισμού και επεξεργασίας γκοφρέτας ημιαγωγών.