Κεραμικό τσοκ κενού SiC

Καθώς προσπαθούν για τον νόμο του Moore, οι εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών χρειάζονται πλατφόρμες συγκράτησης γκοφρετών που μπορούν να αντέξουν έντονες μηχανικές δυνάμεις και να παραμείνουν επίπεδες, χωρίς χτυπήματα ή βυθίσεις. Το κεραμικό τσοκ κενού Semicorex SiC παρέχει την τέλεια λύση για την αντικατάσταση των παραδοσιακών τσοκ αλουμίνας και ανοξείδωτου χάλυβα. Θα παρέχουν την απαραίτητη αναλογία ακαμψίας προς βάρος και δεν θα αντιδρούν χημικά, και τα δύο είναι απαραίτητα για την επεξεργασία γκοφρετών 300 mm και πέρα.

1. Πλεονεκτήματα υλικού με τη χρήση πυροσυσσωματωμένου πυκνού καρβιδίου του πυριτίου (SSiC).

Το βασικό συστατικό μαςSiC ΚεραμικόΤο τσοκ κενού είναι πυροσυσσωματωμένοΚαρβίδιο του πυριτίου, ένα υλικό που ορίζεται από τον πολύ ισχυρό ομοιοπολικό δεσμό του. Το SSiC μας δεν είναι πορώδες ή συνδεδεμένο με την αντίδραση. Μάλλον, συντήκεται σε > 2000 βαθμούς Κελσίου για να επιτευχθεί σχεδόν θεωρητική πυκνότητα (> 3,10 g/cm3) — με απλά λόγια, είναι πιο στερεό από άλλα υλικά που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή τσοκ κενού.

Εξαιρετική μηχανική ακαμψία.

Το Modulus του SSiC του Young είναι περίπου 420 GPa, καθιστώντας το έτσι πολύ πιο άκαμπτο από την αλουμίνα (περίπου 380 GPa). Λόγω αυτού του υψηλού συντελεστή ελαστικότητας, τα τσοκ μας θα παραμείνουν σταθερά τόσο σε συνθήκες κενού όσο και σε συνθήκες υψηλής ταχύτητας περιστροφής και δεν θα παραμορφωθούν. Ως εκ τούτου, οι γκοφρέτες δεν θα "τσιπ πατάτας" (δηλαδή, θα παραμορφωθούν) και θα κάνουν πάντα ομοιόμορφη επαφή σε ολόκληρη την επιφάνεια τους.

Θερμική σταθερότητα και χαμηλό CTE

Σε διαδικασίες που περιλαμβάνουν υπεριώδη ακτινοβολία υψηλής έντασης ή θερμότητα που προκαλείται από τριβή, η θερμική διαστολή μπορεί να οδηγήσει σε σφάλματα επικάλυψης. Τα τσοκ SiC μας διαθέτουν χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής (CTE) 4,0 x 10^{-6}/K, σε συνδυασμό με υψηλή θερμική αγωγιμότητα (>120W/m·K). Αυτός ο συνδυασμός επιτρέπει στο τσοκ να διαχέει τη θερμότητα γρήγορα, διατηρώντας τη σταθερότητα των διαστάσεων κατά τη διάρκεια κύκλων λιθογραφίας ή μετρολογίας μεγάλης διάρκειας.

2. Μηχανική και Σχεδιασμός Ακριβείας

Όπως φαίνεται στην εικόνα του προϊόντος, τα τσοκ κενού μας διαθέτουν ένα περίπλοκο δίκτυο ομόκεντρων και ακτινικών καναλιών κενού. Αυτά είναι κατεργασμένα με CNC με εξαιρετική ακρίβεια για να εξασφαλίσουν ομοιόμορφη αναρρόφηση σε όλη τη γκοφρέτα, ελαχιστοποιώντας τα σημεία τοπικής πίεσης που θα μπορούσαν να οδηγήσουν σε θραύση της πλακέτας.

Επιπεδότητα Sub-Micron: Χρησιμοποιούμε προηγμένες τεχνικές λείανσης και περιτύλιξης διαμαντιών για να επιτύχουμε συνολική επιπεδότητα <1μm. Αυτό είναι κρίσιμο για τη διατήρηση του εστιακού βάθους που απαιτείται σε προηγμένους κόμβους λιθογραφίας.

Ελαφρύ βάρος (Προαιρετικό): Για την προσαρμογή σταδίων υψηλής επιτάχυνσης σε steppers και σαρωτές, προσφέρουμε εσωτερικές δομές "ελαφριάς" κηρήθρας που μειώνουν τη μάζα χωρίς να διακυβεύεται η δομική ακαμψία.

Περιμετρικές εγκοπές ευθυγράμμισης: Οι ενσωματωμένες εγκοπές επιτρέπουν την απρόσκοπτη ενσωμάτωση με ρομποτικούς τελικούς τελεστές και αισθητήρες ευθυγράμμισης εντός του εργαλείου διεργασίας.

3. Κρίσιμες Εφαρμογές στην Εφοδιαστική Αλυσίδα Ημιαγωγών

Τα κεραμικά τσοκ SiC μας είναι το βιομηχανικό πρότυπο για:

Αραίωση και λείανση γκοφρέτας (CMP): Παρέχει την άκαμπτη υποστήριξη που απαιτείται για να αραιωθούν οι γκοφρέτες μέχρι το επίπεδο micron χωρίς κοπή άκρων.

Λιθογραφία (Steppers/Scanners): Λειτουργεί ως το εξαιρετικά επίπεδο «στάδιο» που εξασφαλίζει ακριβή εστίαση με λέιζερ για κόμβους κάτω των 7 nm.

Μετρολογία & AOI: Διασφάλιση ότι οι γκοφρέτες είναι τέλεια επίπεδα για επιθεώρηση υψηλής ανάλυσης και χαρτογράφηση ελαττωμάτων.

Wafer Dicing: Παροχή σταθερής αναρρόφησης κατά τη διάρκεια μηχανικών εργασιών υψηλής ταχύτητας ή λέιζερ.

Στη Semicorex, καταλαβαίνουμε ότι ένα τσοκ κενού είναι τόσο καλό όσο η ακεραιότητα της επιφάνειας του. Κάθε τσοκ υποβάλλεται σε διαδικασία ποιοτικού ελέγχου πολλαπλών σταδίων:

Συμβολομετρία λέιζερ: Για την επαλήθευση της επιπεδότητας σε ολόκληρη τη διάμετρο.

Έλεγχος διαρροής ηλίου: Διασφάλιση ότι τα κανάλια κενού είναι τέλεια σφραγισμένα και αποτελεσματικά.

Cleanroom Cleaning: Επεξεργάζεται σε περιβάλλοντα Κλάσης 100 για να εξασφαλιστεί μηδενική μεταλλική ή οργανική μόλυνση.

Η ομάδα μηχανικών μας συνεργάζεται στενά με κατασκευαστές εργαλείων OEM για την προσαρμογή των μοτίβων, των διαστάσεων και των διεπαφών τοποθέτησης θυρίδων. Επιλέγοντας το Semicorex, επενδύετε σε ένα εξάρτημα που μειώνει το χρόνο διακοπής λειτουργίας, βελτιώνει την ακρίβεια επικάλυψης και μειώνει το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας μέσω εξαιρετικής ανθεκτικότητας.