Κεραμικά σκάφη

Τα κεραμικά σκάφη Semicorex SIC είναι υπερσύγχρονες μεταφορείς ειδικά σχεδιασμένοι για να μεταφέρουν με ασφάλεια, να αποθηκεύουν και να επεξεργάζονται πλακίδια ημιαγωγών στα πιο απαιτητικά χημικά και θερμικά ακραία περιβάλλοντα. Η βιομηχανία ημιαγωγών υιοθέτησε ταχέως νέα πρότυπα απόδοσης που απαιτούσαν τα κεραμικά σκάφη SIC σε αξιόπιστα, εμπιστευτικά και χωρίς μολύνσεις να επιτύχουν τις δυσανεξία και τις κρίσιμες απαιτήσεις για τις σύγχρονες διαδικασίες κατασκευής πλακιδίων.

Ισχυρή θερμική σταθερότητα και δύναμη

Το καθοριστικό χαρακτηριστικό των κεραμικών σκαφών SIC είναι η πολύ υψηλή θερμική σταθερότητα του. Τα κεραμικά σκάφη SIC μπορούν να υπομείνουν θερμοκρασία άνω των 1600 ° C χωρίς να χάσουν το σχήμα ή τη δομή τους κατά τη διάρκεια επιθετικών διεργασιών θερμικής ποδηλασίας. Λόγω του εξαιρετικά χαμηλής θερμικής διαστολής, τα κεραμικά σκάφη SIC είναι λιγότερο επιρρεπείς σε παραμόρφωση και ρωγμές, επιτρέποντας στενές ανοχές και συνολική ασφάλεια πλακιδίων κατά τη διάρκεια του χειρισμού υπό δύσκαμπτες συνθήκες.

Υψηλή καθαρότητα και χημική αντίσταση

Τα κεραμικά σκάφη SIC κατασκευάζονται από καρβίδιο πυριτίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας. Τα κεραμικά σκάφη SIC είναι επίσης εξαιρετικά ανθεκτικά στη χημική αποικοδόμηση, διαβρωτική και διαβρώντας πλάσμα. Η αδρανή φύση των κεραμικών σκαφών SIC σημαίνει διαδικασίες διαβρωτικών αερίων, αντιδραστικών περιβαλλόντων, όξινες συνθήκες δεν θα αποτελούν μόλυνση από το σκάφος ή τίποτα διαλυτό για να βλάψει τη διαδικασία εργασίας. Η μη μολυσμένη επιφάνεια των κεραμικών σκαφών SIC δεν επιτρέπει την παραγωγή σωματιδίων ή την έκπλυση ιόντων, επομένως μια επιφάνεια δίσκων δεν τίθεται σε κίνδυνο από ακαθαρσίες που εμποδίζουν την απόδοση της συσκευής ή την απόδοση.

Μηχανική ακριβείας για ασφαλή και ασφαλή χειρισμό πλακιδίων

Τα κεραμικά σκάφη SIC κατασκευάζονται εντός στενών ανοχών, επιτρέποντάς τους να χειρίζονται πλακίδια διαφόρων διαμέτρων, συμπεριλαμβανομένων 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm και πολλά άλλα. Ο δομικός σχεδιασμός των σκαφών SIC παρέχει εξαιρετική επιπεδότητα, παραλληλισμό και ομοιόμορφο μέγεθος υποδοχής για να διατηρήσει τον κατάλληλο προσανατολισμό των πλακιδίων και να προστατεύει τις άκρες του δίσκου όταν μεταφέρεται σε άλλη διαδικασία ή εργαλείο. Όλα τα σκάφη SIC μπορούν να σχεδιαστούν με προσαρμοσμένες διαστάσεις για να ταιριάζουν με το σύνολο εργαλείων ή να πληρούν οποιεσδήποτε προδιαγραφές αυτοματισμού.

Μεγάλη διάρκεια ζωής και πιο αποδοτικό οικονομικό

Το SIC αντικαθιστά τα παραδοσιακά υλικά (χαλαζία, αλουμίνα) με σημαντικά βελτιωμένη μηχανική αντοχή, σκληρότητα θραύσης και αντοχή σε θερμικό σοκ. Αυτό το επίπεδο ανθεκτικότητας μεταφράζεται σε μεγαλύτερη διάρκεια ζωής πριν από την «αποτυχία», σημαντικά λιγότερες αντικαταστάσεις κατά τη διάρκεια της λειτουργίας και το χαμηλότερο συνολικό κόστος ιδιοκτησίας. Η συνέπεια της απόδοσης από την ανθεκτικότητα της SIC θα μειώσει τους χρόνους κάτω και θα επιταχύνει τη διακίνηση στις γραμμές παραγωγής ημιαγωγών.

Ανοίξτε τις εφαρμογές σε διαδικασίες ημιαγωγών

Τα κεραμικά σκάφη SIC χρησιμοποιούνται ευρέως σε διεργασίες ημιαγωγών εμπρόσθιου άκρου όπως:

LPCVD και PECVD εναπόθεση

Θερμική οξείδωση

Εμφύτευση ιόντων

Ανόπτηση και διάχυση

Καθαρισμός πλακιδίων και χημική επεξεργασία

Οι κεραμικές λαβές SIC διαθέτουν συμβατές εφαρμογές επεξεργασίας τόσο σε ατμόσφαιρα όσο και σε θαλάμους διαδικασιών κενού, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για χυτήρια και fabs που θέλουν να ελαχιστοποιήσουν και να μειώσουν τον κίνδυνο μόλυνσης ενώ παράλληλα ενισχύουν την παραγωγικότητα.