SIC PLANSVER

Τα κουτάκια Semicorex SIC είναι συστατικά που σχεδιάζονται ακριβώς για χειρισμό πλακιδίων και μεταφορά πλακιδίων σε εξοπλισμό θερμικής επεξεργασίας ημιαγωγών (LPCVD, PECVD, οξείδωση και κλίβανο διάχυσης). Αυτά τα κουτάκια πρόβολου παρέχουν μια πλατφόρμα για τα πλακίδια και μια απαραίτητη μορφή υποστήριξης που εξασφαλίζει σταθερή και αξιόπιστη μεταφορά εύθραυστων πλακιδίων μέσω σκληρών διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας (που συχνά υπερβαίνουν τους 1200 ° C). Τα κουτάκια του προβόλου κατασκευάζονται από καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC), το οποίο παρέχει μηχανική ανθεκτικότητα, θερμική σταθερότητα και αντι-διστικές ιδιότητες για το περιβάλλον κατασκευής ημιαγωγών.

Το καρβίδιο του πυριτίου είναι ένα κεραμικό υλικό υπερέκριου με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χαμηλή θερμική επέκταση και η ικανότητα να εκτελεί αξιόπιστα σε χημικά εχθρικά περιβάλλοντα. Το καρβίδιο του πυριτίου σε κουτάκια προβόλου μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της θερμικής στρέβλωσης

 και η κίνηση που κρατά επίπεδα και στην ονομαστική τους θέση επεξεργασίας. Η θερμική σταθερότητα του δισκίου στο πλαίσιο των κουπιών του προβόλου είναι σημαντική για την ελαχιστοποίηση των ζητημάτων μόλυνσης των σωματιδίων και μηχανικής κίνησης, ειδικά κατά την παραγωγή προηγμένων συσκευών κόμβων. Αυτά τα ζητήματα μπορούν να οδηγήσουν σε απώλεια απόδοσης ή δαπανηρή ανακατασκευή και αντικατάσταση των πλακιδίων.

Η μονολιθική μορφή των πεντάρων SIC προβλήματος βελτιώνει τη μηχανική ευρωστία και τη θερμική ομοιομορφία ενώ εξαλείφει τους αρθρώσεις και τα αδύναμα σημεία που μπορούν συνήθως να υπάρχουν σε σύνθετα υλικά. Επιπλέον, το φινίρισμα των επιφανειών των κουπιών ελέγχεται ειδικά και γενικά γυαλισμένο σε μια σχεδόν ποιότητα καθρέφτη για να ελαχιστοποιηθεί η παραγωγή σωματιδίων και είναι πολύ συμβατή με την κατηγορία καθαρού χώρου.

Σε διεργασίες διάχυσης και οξείδωσης που περιλαμβάνουν οξυγόνο, ατμό και άλλα αντιδραστικά αέρια. Τα συμβατικά υλικά μπορεί να κατακρημνίσουν ή να παραμορφωθούν με την πάροδο του χρόνου. Η εγγενή χημική αδρανή ιδιοκτησία της SIC εξασφαλίζει ότι τα κουτάκια δεν θα ξεπεράσουν και θα διαβιβάσουν και θα εισαγάγουν τη μόλυνση στη διαδικασία λόγω της χρήσης ασταθών υλικών, συμβάλλοντας σε μια πιο σταθερή διαδικασία και αξιόπιστα αποτελέσματα.  Η δομική ακεραιότητα των πεντάλων SIC παραμένει σταθερή παρά την ταχεία ποδηλασία της θέρμανσης και της ψύξης. Ως εκ τούτου, προσφέρουν μεγάλη διάρκεια ζωής λειτουργίας με πολύ μειωμένη συντήρηση ή χρόνο αντικατάστασης μέρους.

Επιπλέον, η μειωμένη μάζα και το ελαφρύ βάρος των πεντάρων SIC επιτρέπουν μια ταχύτερη θερμική απόκριση. επιτρέποντας έτσι ταχύτερους χρόνους θερμικής αύξησης και δροσιάς που συμβάλλουν στην αυξημένη παραγωγικότητα και την ενεργειακή απόδοση, όλες οι σημαντικές μετρήσεις στο ανταγωνιστικό τοπίο της κατασκευής ημιαγωγών.

Τα κουτάκια SIC μπορούν να παρασχεθούν σε διάφορες διαμορφώσεις και μεγέθη, σχεδιασμένα και κατασκευασμένα για να φιλοξενήσουν διάφορα σχέδια κλιβάνου και μεγέθη πλακιδίων που κυμαίνονται από 100 mm έως 300 mm και μεγαλύτερα. Οι ολοκληρωτές των ΚΑΕ και του εξοπλισμού εκτιμούν τη συνέπεια και την αξιοπιστία των πεντάρων SIC με την πάροδο του χρόνου, για την ανάπτυξη τόσο σε διαδικασίες εμπρόσθιου άκρου όσο και στο back-end.

Το Semicorex προσφέρει Premium SIC Plantles Pantdles με αυστηρό έλεγχο στην καθαρότητα του υλικού, τη μικροδομή και τις διαστασιακές ανοχές. Οι προηγμένες δυνατότητες διεργασίας μας, σε συνδυασμό με τις γνώσεις μας σχετικά με τη θερμική δυναμική των ημιαγωγών, μας επιτρέπουν να παράγουμε κουπιά με αυτά τα χαρακτηριστικά που πληρούν ή υπερβαίνουν τα πρότυπα της βιομηχανίας για σταθερότητα, καθαριότητα και ανθεκτικότητα. Όταν πρέπει να είναι σωστό και αξιόπιστο, το Semicorex είναι το μέρος για να πάτε για ποιοτικά εξαρτήματα SIC.