SiC Cantilever Paddle

Το Semicorex SiC (Carbide Silicon) Cantilever Paddle είναι ένα κρίσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται σε διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα σε φούρνους διάχυσης ή LPCVD (χαμηλής πίεσης χημική εναπόθεση ατμών) κατά τη διάρκεια διεργασιών όπως η διάχυση και η RTP (Rapid Thermal Processing). Εξυπηρετεί τον σκοπό της υποστήριξης και μεταφοράς πλακών εντός του σωλήνα επεξεργασίας αυτών των κλιβάνων.

Το Semicorex SiC Cantilever Paddle αποτελείται κυρίως από καρβίδιο του πυριτίου, ένα στιβαρό και θερμικά σταθερό υλικό γνωστό για την αντοχή του σε υψηλές θερμοκρασίες και τις εξαιρετικές μηχανικές του ιδιότητες. Το SiC επιλέγεται για την ικανότητά του να αντέχει στις σκληρές συνθήκες που συναντώνται στα περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας των κλιβάνων ημιαγωγών. Ο σχεδιασμός του SiC Cantilever Paddle του επιτρέπει να εκτείνεται στον σωλήνα επεξεργασίας του κλιβάνου ενώ είναι σταθερά αγκυρωμένος στο ένα άκρο έξω από το σωλήνα. Αυτός ο σχεδιασμός εξασφαλίζει σταθερότητα και υποστήριξη για τις γκοφρέτες που υποβάλλονται σε επεξεργασία, ενώ ελαχιστοποιεί την παρεμβολή στο θερμικό περιβάλλον μέσα στον κλίβανο.

Το SiC Cantilever Paddle πρόκειται να μεταφέρει γκοφρέτες ημιαγωγών με ασφάλεια εντός του σωλήνα διεργασίας κατά τη διάρκεια διαφόρων διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας, όπως η διάχυση και το RTP. Η στιβαρή κατασκευή του διασφαλίζει ότι μπορεί να αντέξει τις ακραίες θερμοκρασίες και τα χημικά περιβάλλοντα που συναντώνται κατά τη διάρκεια αυτών των διεργασιών χωρίς υποβάθμιση ή αστοχία. Τα SiC Cantilever Paddles έχουν σχεδιαστεί για να είναι συμβατά με ένα ευρύ φάσμα μεγεθών και σχημάτων γκοφρέτας ημιαγωγών που χρησιμοποιούνται συνήθως στη βιομηχανία. Συχνά προσαρμόζονται για να καλύπτουν συγκεκριμένες διαμορφώσεις κλιβάνου και απαιτήσεις διεργασίας.