SiC Boat

Τα Semicorex SiC Boats είναι κατασκευασμένα σχολαστικά από κεραμικό SiC υψηλής καθαρότητας, ένα υλικό που φημίζεται για την απαράμιλλη θερμική του σταθερότητα, την εξαιρετική μηχανική του αντοχή και την αταλάντευτη χημική του αδράνεια. Αυτές οι ιδιότητες το καθιστούν την τέλεια επιλογή για τις αυστηρές συνθήκες κατασκευής ημιαγωγών.

Τα SiC Boats διαθέτουν απαράμιλλη μηχανική αντοχή και ανθεκτικότητα, λόγω της σκληρότητας του υλικού και της εξαιρετικής αντοχής στη φθορά. Αυτό τους επιτρέπει να αντέχουν την απαιτητική φύση των περιβαλλόντων παραγωγής ημιαγωγών υψηλής απόδοσης χωρίς να υποκύπτουν στη σταδιακή φθορά. Σε αντίθεση με άλλα υλικά, το SiC διατηρεί τη δομική του ακεραιότητα με την πάροδο του χρόνου, μειώνοντας σημαντικά την ανάγκη για συχνές αντικαταστάσεις και ελαχιστοποιώντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας στις κατασκευαστικές εργασίες – οδηγώντας τελικά σε σημαντική εξοικονόμηση κόστους για τους κατασκευαστές ημιαγωγών.

Η χημική αδράνεια του SiC στερεοποιεί περαιτέρω την καταλληλότητά του για διεργασίες ημιαγωγών καθιστώντας το εξαιρετικά ανθεκτικό στη χημική προσβολή από αντιδραστικά αέρια και κοινώς χρησιμοποιούμενα υλικά όπως το χλώριο και το φθόριο. Αυτή η στιβαρή αντίσταση διασφαλίζει ότι τα σκάφη SiC δεν μολύνουν τις γκοφρέτες κατά την επεξεργασία, διατηρώντας έτσι την καθαρότητα και την ποιότητα των συσκευών ημιαγωγών που κατασκευάζονται. Για διαδικασίες που απαιτούν ακόμη υψηλότερο επίπεδο χημικής αντοχής, τα SiC Boats μπορούν να επικαλυφθούν με ένα επιπλέον στρώμα SiC, παρέχοντας ένα επιπλέον φράγμα κατά της χημικής επίθεσης και ανυψώνοντας το φινίρισμα της επιφάνειας του σκάφους για να μειώσει τον κίνδυνο μόλυνσης από σωματίδια.

Η υψηλή καθαρότητα του κεραμικού SiC που χρησιμοποιείται σε αυτά τα σκάφη είναι κρίσιμη, καθώς η κατασκευή ημιαγωγών απαιτεί υλικά με ελάχιστες ακαθαρσίες. Ακόμη και ίχνη μολυσματικών ουσιών μπορεί να βλάψουν τις ηλεκτρικές ιδιότητες των γκοφρετών και να οδηγήσουν σε ελαττώματα στις τελικές συσκευές. Τα SiC Boats είναι κατασκευασμένα από κεραμικό SiC εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας για να διασφαλιστεί ότι δεν εισάγουν ακαθαρσίες στο περιβάλλον της διεργασίας, ακόμη και σε υψηλές θερμοκρασίες και συνθήκες αντίδρασης τυπικές της κατασκευής ημιαγωγών. Αυτή η καθαρότητα στερεοποιεί την αξιοπιστία των SiC Boats για κρίσιμα στάδια διαδικασίας.

Η συμβατότητα των SiC Boats με διάφορους εξοπλισμούς ημιαγωγών είναι πρωταρχικής σημασίας. Η ευελιξία του SiC του επιτρέπει να κατεργάζεται με ακρίβεια στις συγκεκριμένες διαστάσεις και διαμορφώσεις που απαιτούνται από διαφορετικούς τύπους κλιβάνων και αντιδραστήρων ημιαγωγών, καθιστώντας τα κατάλληλα για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, από εργασίες έρευνας και ανάπτυξης μικρής κλίμακας έως γραμμές παραγωγής μεγάλης κλίμακας. Επιπλέον, η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και οι ιδιότητες απαγωγής θερμότητας του υλικού συμβάλλουν σε πιο αποτελεσματικό έλεγχο της θερμοκρασίας κατά την επεξεργασία, βελτιώνοντας περαιτέρω την απόδοση και την απόδοση των συσκευών ημιαγωγών.