RTA SiC Wafer Carriers

Η ταχεία θερμική ανόπτηση είναι μια τεχνική θερμικής επεξεργασίας που χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών. Χρησιμοποιώντας λαμπτήρες υπερύθρων αλογόνου ως πηγή θερμότητας, θερμαίνει γκοφρέτες ή ημιαγωγικά υλικά γρήγορα σε θερμοκρασίες μεταξύ 300 ℃ και 1200 ℃ με εξαιρετικά γρήγορο ρυθμό θέρμανσης, ακολουθούμενο από ταχεία ψύξη. Η ταχεία διαδικασία θερμικής ανόπτησης μπορεί να εξαλείψει την υπολειπόμενη πίεση και τα ελαττώματα στο εσωτερικό των πλακών και των υλικών ημιαγωγών, βελτιώνοντας την ποιότητα και την απόδοση του υλικού. Οι φορείς πλακών RTA SiC είναι το απαραίτητο συστατικό μεταφοράς που χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία RTA, το οποίο μπορεί να υποστηρίξει σταθερά τα υλικά πλακιδίων και ημιαγωγών κατά τη λειτουργία και εξασφαλίζει σταθερό αποτέλεσμα θερμικής επεξεργασίας.

Τα πλεονεκτήματα των φορέων γκοφρέτας Semicorex RTA SiC

1. Ανώτερη μηχανική αντοχή και σκληρότητα

Οι φορείς γκοφρέτας Semicorex RTA SiC προσφέρουν εξαιρετική μηχανική αντοχή και σκληρότητα και είναι σε θέση να αντέχουν διάφορες μηχανικές καταπονήσεις κάτω από σκληρές συνθήκες RTA, ενώ παραμένουν σταθερές και ανθεκτικές διαστάσεις. Με την εξαιρετική σκληρότητά τους, η επιφάνεια των φορέων πλακιδίων RTA SiC είναι λιγότερο επιρρεπής σε γρατσουνιές, γεγονός που παρέχει μια επίπεδη, λεία επιφάνεια στήριξης που αποτρέπει αποτελεσματικά τη ζημιά του πλακιδίου που προκαλείται από γρατσουνιές φορέα.

2. Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα

Οι φορείς πλακιδίων Semicorex RTA SiC διαθέτουν εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, που τους επιτρέπει να διαχέουν αποτελεσματικά και να μεταφέρουν τη θερμότητα. Μπορούν να παρέχουν ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της ταχείας θερμικής επεξεργασίας, η οποία μειώνει σημαντικά τον κίνδυνο θερμικής βλάβης στα πλακίδια και βελτιώνει την ομοιομορφία και τη συνέπεια της διαδικασίας ανόπτησης.

3. Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Το καρβίδιο του πυριτίου έχει σημείο τήξης περίπου 2700°C και διατηρεί εξαιρετική σταθερότητα σε συνεχείς θερμοκρασίες λειτουργίας 1350–1600°C. Αυτό δίνει το SemicorexRTA SiC φορείς γκοφρέταςανώτερη θερμική σταθερότητα για συνθήκες λειτουργίας RTA υψηλής θερμοκρασίας. Επιπλέον, με το χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής τους, οι φορείς πλακιδίων Semicorex RTA SiC μπορούν να αποφύγουν το ράγισμα ή τη ζημιά που προκαλείται από ανομοιόμορφη θερμική διαστολή και συστολή κατά τη διάρκεια γρήγορων κύκλων θέρμανσης και ψύξης.

4. Εξαιρετική απόδοση χαμηλής μόλυνσης

Κατασκευασμένο από προσεκτικά επιλεγμένο υψηλής καθαρότηταςκαρβίδιο του πυριτίουΟι φορείς γκοφρέτας Semicorex RTA SiC διαθέτουν χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες. Χάρη στην αξιοσημείωτη χημική τους αντοχή, οι φορείς πλακιδίων Semicorex RTA SiC μπορούν να αποφύγουν τη διάβρωση από τα αέρια διεργασίας κατά τη διάρκεια της ταχείας θερμικής ανόπτησης, ελαχιστοποιώντας έτσι τη μόλυνση του πλακιδίου που προκαλείται από τα αντιδρώντα και πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας των διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών.