Πορώδη τσοκ κενού SiC

Semicorex πορώδες SiCτσοκ κενούείναι τα απαραίτητα εξαρτήματα, τα οποία μπορούν να χρησιμοποιηθούν εκτενώς στις προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως αραίωση γκοφρέτας, κοπή σε κύβους, λείανση, στίλβωση, φωτολιθογραφία, χάραξη. Η πλατφόρμα προσρόφησής τους είναι κατασκευασμένη με μια πορώδη κεραμική πλάκα SiC με πολυάριθμους ομοιόμορφα κατανεμημένους πόρους σε κλίμακα micron. Με σταθερή διάμετρο πόρων και εξαιρετικό ρυθμό διέλευσης οπών, τα πορώδη τσοκ SiC Semicorex παρέχουν μια ομαλή διαδρομή αερίου για εκκένωση κενού. Κατά τη λειτουργία, δημιουργείται σταθερή και ομοιόμορφη αρνητική πίεση μεταξύ του τσοκ και της γκοφρέτας, επιτρέποντας υψηλής απόδοσης σύσφιξη υπό κενό και απελευθέρωση πλακών ημιαγωγών.

Πλεονεκτήματα των πορωδών τσοκ κενού SiC Semicorex 

1. Εξαιρετική ακρίβεια επεξεργασίας

Οι γκοφρέτες ημιαγωγών που επεξεργάζονται στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών είναι εξαιρετικά λεπτές, επομένως ακόμη και μια ελαφριά κάμψη, δόνηση ή ανομοιόμορφη τοπική πίεση μπορεί να οδηγήσει σε θραύση, παραμόρφωση και μειωμένη ακρίβεια σε κρίσιμες διεργασίες όπως η λιθογραφία. Semicorexπορώδες SiCΤα τσοκ κενού υποβάλλονται σε επεξεργασία μέσω λείανσης και στίλβωσης υψηλής ακρίβειας, επιτυγχάνοντας τέλεια τραχύτητα επιφάνειας Ra ＜ 0,1 μm. Αυτό επιτρέπει στα πορώδη τσοκ κενού SiC Semicorex να παρέχουν μια βελτιστοποιημένη λειτουργική επιφάνεια για την κατασκευή ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας.

2. Υψηλή καθαριότητα και υψηλή αντοχή στη διάβρωση

Για να πληροί πλήρως τα αυστηρά πρότυπα καθαριότητας ημιαγωγών, η Semicorex κατασκευάζει πορώδη τσοκ κενού SiC με πρώτες ύλες καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας μέσω πυροσυσσωμάτωσης σε υψηλή θερμοκρασία. Αυτό διασφαλίζει ότι τα τσοκ είναι απαλλαγμένα από αποβολή σωματιδίων και μεταναστευτική μεταλλική μόλυνση. Επωφελούμενοι από την εξαιρετική χημική σταθερότητα του SiC, τα πορώδη τσοκ κενού SiC Semicorex είναι σε θέση να αντέχουν στα σκληρά περιβάλλοντα διάβρωσης και να μην παράγουν επιπλέον παραπροϊόντα, καθιστώντας τα εξαιρετικά κατάλληλα για τις υψηλής ποιότητας διαδικασίες κατασκευής καθαρών ημιαγωγών.

3. Εξαιρετική αντοχή και μακροπρόθεσμη σταθερότητα

Τα τσοκ κενού που χρησιμοποιούνται στις γραμμές παραγωγής πρέπει να αντέχουν σε χιλιάδες κύκλους προσρόφησης και απελευθέρωσης, καθώς και σε μακροχρόνιες διακυμάνσεις της θερμοκρασίας. Αυτό επιβάλλει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις στην απόδοση των υλικών των τσοκ κενού. Τα πορώδη τσοκ SiC κενού Semicorex διαθέτουν εξαιρετική σκληρότητα υλικού και αντοχή στη φθορά, με σταθερή θερμική διαστολή. Δεν παρουσιάζουν ερπυσμό ή υποβάθμιση της απόδοσης σε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, γεγονός που παρατείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής τους και μειώνει τη συντήρηση και τη συχνότητα αντικατάστασης των εξαρτημάτων.