ΠΟΡΟΛΟΚΛΗΡΟ ΣΚΥΛΟ

Το Semicorex Porous Sic Vacuum Chuck αντιπροσωπεύει μια λύση χειρισμού που στοχεύει στην επίτευξη ακριβούς, σταθερής τοποθέτησης των πλακιδίων σε όλα τα στάδια της επεξεργασίας ημιαγωγών. Αυτός ο τσοκ κενών διατηρεί εξαιρετική πρόσφυση για εφαρμογές χειρισμού πλακιδίων και ευθυγράμμισης υποστρώματος, ενισχύοντας έτσι τόσο την αξιοπιστία όσο και την απόδοση. Οι επιλογές βασικού υλικού - SUS430, κράμα αλουμινίου 6061, πυκνό κεραμικό αλουμίνα, γρανίτη και κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου, προσφέρουν την ευελιξία του χρήστη να επιλέξει το βέλτιστο υλικό ανάλογα με τις μεμονωμένες απαιτήσεις σε θερμικές επιδόσεις, μηχανικές ιδιότητες ή βάρος.

Καλύτερη επιλογή υλικού: Το κάτω μέρος του πορώδους τσοκ κενού SIC μπορεί να αλλάξει με διαφορετικά υλικά που ταιριάζουν σε διάφορες ανάγκες:

• SUS430: Μια φτηνή επιλογή που αντιστέκεται στη σκουριά καλά για κοινές χρήσεις.
• Το κράμα αλουμινίου 6061: δίνει ένα μείγμα αντοχής, ελαφρού βάρους και εξαιρετικής λειτουργίας, καθιστώντας το καλό για τον κανονικό χειρισμό των πλακιδίων.
• Πυκνό κεραμικό αλουμίνα (99% AL2O3): παρέχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και υψηλή σκληρότητα, κατάλληλη για εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας ή ακρίβειας.
• Γρανίτης: Γνωστός για την εξαιρετική επίπεδη και σταθερότητα του, ο γρανίτης παρέχει χαμηλή θερμική επέκταση, ιδανική για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή ακρίβεια.
• Κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου: γνωστό για την υψηλή θερμική αγωγιμότητα, την χημική αντίσταση και την ανθεκτικότητα, το SIC είναι ιδανικό για περιβάλλοντα υψηλής απόδοσης όπου συναντώνται ακραίες συνθήκες.

Υψηλή επίπεδη ακρίβεια: Το πορώδες τσοκ κενών SIC εξασφαλίζει ανώτερη επίπεδη επίπεδη, με ακρίβεια ποικίλλει με βάση το χρησιμοποιούμενο υλικό. Η κατάταξη υλικού από την υψηλότερη έως τη χαμηλότερη ακρίβεια επίπεδης είναι:

Κεραμικό καρβίδιο γρανίτη και πυριτίου: Και τα δύο υλικά προσφέρουν υψηλή επίπεδη ακρίβεια, εξασφαλίζοντας τη σταθερότητα των πλακιδίων ακόμη και στα πιο απαιτητικά περιβάλλοντα επεξεργασίας.

Πυκνή αλουμίνα (99% AL2O3): ελαφρώς μικρότερη επιπεδότητα σε σύγκριση με τον γρανίτη και το SIC, αλλά εξακολουθεί να προσφέρει καλή ακρίβεια για γενικές εφαρμογές ημιαγωγών.

Κράμα αλουμινίου 6061 και SUS430: Παρέχετε ελαφρώς χαμηλότερη ακρίβεια επίπεδου, αλλά εξακολουθούν να είναι εξαιρετικά αξιόπιστα για το χειρισμό των πλακιδίων σε λιγότερο απαιτητικές εφαρμογές.

Μεταβολές βάρους για συγκεκριμένες ανάγκες: Το πορώδες SIC κενό κενό επιτρέπει στους χρήστες να επιλέξουν από μια ποικιλία επιλογών υλικού που βασίζονται στις απαιτήσεις βάρους:

Κράμα αλουμινίου 6061: Η πιο ελαφριά επιλογή υλικού, προσφέροντας εύκολη χειρισμό και μεταφορά.

Γρανίτης: Ένα βαρύτερο υλικό βάσης που παρέχει υψηλή σταθερότητα και ελαχιστοποιεί τις δονήσεις κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας.

Κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου: Έχει μέτριο βάρος, προσφέροντας ισορροπία ανθεκτικότητας και θερμικής αγωγιμότητας.

Πυκνό κεραμικό πυκνό αλουμίνα: Η βαρύτερη επιλογή, ιδανική για εφαρμογές όπου η σταθερότητα και η υψηλή θερμική αντίσταση έχουν προτεραιότητα.

Υψηλή ανθεκτικότητα και απόδοση: Το πορώδες τσοκ κενών SIC είναι κατασκευασμένο για μακροχρόνια απόδοση, ικανή να αντέξει ακραίες μεταβολές της θερμοκρασίας και τη φθορά που σχετίζονται με την επεξεργασία ημιαγωγών. Η κεραμική παραλλαγή καρβιδίου πυριτίου είναι ιδιαίτερα επωφελής για την υψηλή θερμοκρασία και τα χημικά επιθετικά περιβάλλοντα λόγω της εξαιρετικής αντοχής του στη θερμική επέκταση και τη διάβρωση.

Κόστα αποδοτικές λύσεις: Με πολλαπλές επιλογές υλικού, το Porous SIC Vacuum Chuck παρέχει μια οικονομικά αποδοτική λύση που μπορεί να προσαρμοστεί σε διαφορετικούς προϋπολογισμούς και απαιτήσεις εφαρμογής. Για γενικές εφαρμογές, το κράμα αλουμινίου και το SUS430 είναι οικονομικά αποδοτικά, ενώ παράλληλα προσφέρουν ικανοποιητική απόδοση. Για πιο απαιτητικά περιβάλλοντα, οι επιλογές γρανίτη ή SIC παρέχουν βελτιωμένη απόδοση και ανθεκτικότητα.

Εφαρμογές:

Το Porous SIC Cacuum Chuck χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών για χειρισμό πλακιδίων, συμπεριλαμβανομένων σε διαδικασίες όπως:

• Δίσκο και κοπή
• Φωτοβολταϊκή κατασκευή
• Ανάπτυξη MOCVD και CVD Epitaxy
• Εμφύτευση ιόντων
• Διαδικασίες οξείδωσης και διάχυσης

Το πορώδες SIC Vacuum του Semicorex ξεχωρίζει για την ακρίβειά του, την ευελιξία και την ανθεκτικότητα του. Είτε χρειάζεστε ελαφρές λύσεις για γενικό χειρισμό ή προηγμένα υλικά για διαδικασίες ημιαγωγών υψηλής απόδοσης, το προϊόν μας προσφέρει ένα ευρύ φάσμα επιλογών για την κάλυψη των αναγκών σας. Κατασκευασμένα με τα πρότυπα υψηλότερης ποιότητας, οι Chucks κενού μας εξασφαλίζουν αξιόπιστο και αποτελεσματικό χειρισμό πλακιδίων για διάφορες εφαρμογές, παρέχοντας σταθερά αποτελέσματα τόσο σε τυποποιημένες όσο και σε εξειδικευμένες διαδικασίες.

Για τις βιομηχανίες όπου η σταθερότητα των πλακιδίων και ο ακριβής χειρισμός είναι ζωτικής σημασίας, το πορώδες SIC Vacuum Chuck προσφέρει μια ιδανική λύση. Με την επιλογή των υλικών, της υψηλής ακρίβειας και της ανώτερης ανθεκτικότητας, είναι η τέλεια επιλογή για ένα ευρύ φάσμα διαδικασιών ημιαγωγών.