Πορώδες sic chuck

Το Semicorex Porous Sic Chuck είναι ένα κεραμικό τμήμα που έχει συναρμολογηθεί με ακρίβεια για ασφαλή, αποτελεσματική χειρισμό υποστρωμάτων πλακιδίων για εφαρμογές ημιαγωγών μέσω βημάτων διεργασίας όπως η επιθεώρηση, η δοκιμή και η λιθογραφία. Ο τσοκ είναι κατασκευασμένος από κεραμικό καρβίδιο μικρο-πορώδους πυριτίου (sic). Το SIC έχει μηχανικές αντοχές, χημική αντίσταση και θερμικές ιδιότητες σταθερότητας που απαιτούνται για τα περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών αιχμής.

Ένα βασικό χαρακτηριστικό του πορώδους SIC Chuck είναι η μοναδική μικροδομή του, η οποία παρουσιάζει πορώδες 35%-40%. Με το πορώδες του τσοκ είναι σφιχτά ελεγχόμενο, ο υπερκείμενος σχεδιασμός επιτρέπει την αναρρόφηση κενού να διανέμεται ομοιόμορφα σε όλο το τσοκ δημιουργώντας σταθερή σταθερή και μη επαφή υποστήριξης για τυπικά ευαίσθητα υποστρώματα: πυρίτιο ή GAN και άλλους σύνθετους ημιαγωγούς.  Ο τρόπος αναρρόφησης κενού αποφεύγει τόσο τη μόλυνση των σωματιδίων όσο και τη μηχανική βλάβη, διατηρώντας έτσι την ακεραιότητα των δισκίων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.

Το κεραμικό σώμα του τσοκ είναι κυρίως SIC υψηλής καθαρότητας, με άλλα κεραμικά, όπως η αλουμίνα (AL2O3), που ενδεχομένως χρησιμοποιείται για περιορισμένο αριθμό λειτουργικών στρωμάτων ανάλογα με την εφαρμογή. Η έρευνα και η ανάπτυξη του υλικού επιτρέπουν τη διαχείριση του μεγέθους και της κατανομής των πόρων να σχεδιάζουν τη ροή αέρα και τη δύναμη ανάλογα με τα μεγέθη των πλακιδίων και τις συνθήκες διεργασίας. Εάν είναι σημαντικό να ελέγξετε το κενό σε λεπτότερες γκοφρέτες, θα ενσωματωθεί μικρότερο μέγεθος πόρων. Για ταχύτερους ρυθμούς ροής όπου χρειάζεται, θα χρησιμοποιηθεί το μεγαλύτερο μέγεθος πόρων.

Τα πορώδη τσοκ παρουσιάζουν παραλλαγή χρώματος ως αποτέλεσμα των μεταβλητών μεγεθών πόρων, των κεραμικών συνθέσεων και των συνθηκών πυροδότησης. Τα τσοκ είναι μαύρα ή σκούρα γκρι καθώς το χρώμα του καρβιδίου του πυριτίου είναι είτε γκρίζο είτε μαύρο, ωστόσο οι τσοκ με μεγάλη περιεκτικότητα σε αλουμίνα τείνουν να έχουν λευκό χρώμα. Οι διακυμάνσεις στο χρώμα δεν έχουν καμία επίδραση στην απόδοση του προϊόντος και αντιπροσωπεύουν μόνο τις μηχανικές ιδιότητες που δημιουργήθηκαν για συγκεκριμένες εφαρμογές για να συμμορφωθούν με τις συγκεκριμένες ανάγκες των πελατών.

Στα εργαλεία επεξεργασίας πλακιδίων υψηλής ποιότητας, η θερμική σταθερότητα και η χημική αδράνεια είναι τα δύο πιο σημαντικά χαρακτηριστικά. Το καρβίδιο του πυριτίου παρέχει εξαιρετική αντίσταση στα αέρια διάβρωσης και τη θερμική ποδηλασία. Το Porous Sic Chuck λειτουργεί με επιτυχία σε θαλάμους κενού και εργαλεία χάραξης πλάσματος και συνεχίζει να αποδίδει καλά με ταχέως μεταβαλλόμενες θερμοκρασίες. Η ικανότητά τους να διατηρούν τη σταθερότητα του τσοκ εξασφαλίζει ότι το δίσκο παραμένει στην ίδια θέση, παρόλο που οι απαιτήσεις ακρίβειας μπορεί να είναι κάτω από το υπο-μικροσκοπικό ανάλογα με τη διαδικασία που συμβάλλει στη σταθεροποιημένη διαστάσεων εξασφαλίζει την ακρίβεια.

Οι πορώδεις τσοκ των Semicorex κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας εξουσιοδοτημένες διαδικασίες σχηματισμού και πυροσυσσωμάτωσης, οι οποίες παρέχουν ομοιόμορφο πορώδες, υψηλή αντοχή στην κάμψη και χαμηλή θερμική επέκταση. Κάθε τσοκ είναι επιθεωρείται για τη δομή των πόρων, την επιπεδότητα και την απόδοση κενού για να εξασφαλιστεί ένα αξιόπιστο και επαναλαμβανόμενο προϊόν. Τα προσαρμοσμένα σχέδια είναι επίσης διαθέσιμα για να φιλοξενήσουν συγκεκριμένα μεγέθη πλακιδίων και απαιτήσεις ολοκλήρωσης του συστήματος, όπως κανάλια ροής αερίου πίσω από την πλευρά ή χαρακτηριστικά στερέωσης.

Συμπερασματικά, το Porous SIC Chuck είναι ένα σύστημα υποστήριξης υποστρώματος υψηλής αξιοπιστίας το οποίο έχει σχεδιαστεί προσεκτικά για να συνεργαστεί σε συνδυασμό με τις απαιτήσεις για επεξεργασία δισκίων ακριβείας. Με υψηλή ικανότητα συγκράτησης κενού, προσαρμόσιμη δομή πόρων και εξαιρετική σταθερότητα υλικού, είναι ένα απαραίτητο προϊόν στις σημερινές γραμμές κατασκευής ημιαγωγών.