Δαχτυλίδια με αυλακώσεις Poly-Si

Οι δακτύλιοι με σχισμές Poly-Si εγκαθίστανται συνήθως στον θάλαμο αντίδρασης του προηγμένου εξοπλισμού χάραξης ημιαγωγών. Λειτουργούν συνεργιστικά με μέρη πυριτίου, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίουδαχτυλίδια εστίασης, εξωτερικοί δακτύλιοι πυριτίου και πυρίτιοντους. Αυτά τα μέρη μπορούν να δημιουργήσουν ένα σταθερό και βέλτιστο περιβάλλον αντίδρασης για τη διαδικασία χάραξης, εξασφαλίζοντας εξαιρετικήχαλκογραφίαακρίβεια και συνέπεια της διαδικασίας.

Λειτουργίες δαχτυλιδιών με σχισμή Semicorex poly-Si

1. Οι δακτύλιοι με σχισμή πολυ-Si Semicorex είναι εξοπλισμένοι με πολλαπλές ομοιόμορφα κατανεμημένες σχισμές που χρησιμεύουν ως δίοδοι αερίων, οι οποίες επιτρέπουν την ομαλή εξαγωγή των αερίων διεργασίας μετά την αντίδραση.

2. Οι δακτύλιοι με σχισμές Semicorex poly-Si μπορούν να επιτύχουν εξαιρετικό έλεγχο πλάσματος, προσφέροντας αξιόπιστη προστασία για τον θάλαμο αντίδρασης του εξοπλισμού χάραξης ημιαγωγών.

3. Οι δακτύλιοι με σχισμές Semicorex poly-Si μπορούν να βοηθήσουν στη ρύθμιση του ηλεκτρικού πεδίου και της πίεσης του θαλάμου, αποτρέποντας έτσι την αστάθεια από το να επηρεάσει τη συνέπεια της διαδικασίας χάραξης.

Επιλογή υλικών υψηλών προδιαγραφών

Οι δακτύλιοι με σχισμές Semicorex poly-Si κατασκευάζονται από υψηλής ποιότητας πολυκρυσταλλικό πυρίτιο με επίπεδο καθαρότητας άνω του 99,9999%, το οποίο τους προσδίδει ανώτερες ιδιότητες ως εξής.

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα και εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες.

2. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος.

3. Ευνοϊκές ηλεκτρικές ιδιότητες, με ομοιομορφία αντίστασης: RRG ≤ 5%, low res. (<0,02), μεσαία ανάλυση. (1–4) και υψηλή ανάλυση. (70–90).

Κατασκευαστικές δυνατότητες και ποιοτικός έλεγχος

Εξοπλισμένη με προηγμένο εξοπλισμό μηχανικής κατεργασίας και έμπειρη τεχνική ομάδα, η Semicorex ελέγχει αυστηρά κάθε διαδικασία παραγωγής και προσφέρει υψηλής ποιότητας και ταιριαστούς δακτυλίους με σχισμή poly-Si στους πολύτιμους πελάτες μας. Επιπλέον, το Semicorex διενεργεί αυστηρό έλεγχο στη μέτρηση διαστάσεων, τη δοκιμή ειδικής αντίστασης και την οπτική επιθεώρηση στους τελειωμένους δακτυλίους με σχισμή poly-Si για να διασφαλίσει ότι δεν έχουν ελαττώματα όπως τσιπς, γρατσουνιές, ρωγμές και λεκέδες.