Εξωτερικοί δακτύλιοι Poly-Si για χάραξη

Συνήθως τοποθετείται γύρω από τοντους, Ο εξωτερικός δακτύλιος Poly-Si λειτουργεί ως το συνδετικό τμήμα μεταξύ του δακτυλίου εξάτμισης και της κεφαλής ντους. Λειτουργεί σε συνεργασία με τηνηλεκτροστατικό τσοκ, η κεφαλή ντους Si, ο δακτύλιος εστίασης Si, ο δακτύλιος εξάτμισης Si και ο δακτύλιος θωράκισης Si, δημιουργώντας ένα σταθερό και αξιόπιστο περιβάλλον διαδικασίας για λειτουργία χάραξης υψηλής ακρίβειας.

Πλεονεκτήματα των εξωτερικών δακτυλίων Semicorex poly-Si για χάραξη

Οι εξωτερικοί δακτύλιοι χάραξης Semicorex poly-Si κατασκευάζονται με ακρίβεια από πολυπυρίτιο υψηλής ποιότητας, παρέχοντας την ακόλουθη εξαιρετική απόδοση.

1. Υψηλή καθαριότητα και χαμηλή περιεκτικότητα σωματιδίων

2. Ανώτερη αντίσταση σε υψηλή θερμοκρασία και υψηλή αντοχή σε θερμικό σοκ

3.Αξιόπιστη αντίσταση στη διάβρωση

4.Εξαιρετική ηλεκτρική απόδοση και ομοιομορφία υψηλής ηλεκτρικής αγωγιμότητας

Λειτουργίες εξωτερικών δακτυλίων Semicorex poly-Si για χάραξη

1. Σταθερή απόδοση γείωσης

Χρησιμοποιούνται για γείωση και προστασία ηλεκτροδίων, οι εξωτερικοί δακτύλιοι Semicorex poly-Si για χάραξη μπορούν να αποφύγουν τη στατική συσσώρευση καθώς και τη ζημιά στο τόξο και να εξασφαλίσουν σταθερή λειτουργία του συστήματος ηλεκτροδίων, ικανοποιώντας τέλεια τις απαιτήσεις της διαδικασίας για προηγμένη κατασκευή 3D NAND.

2. Αξιόπιστη υποστήριξη

Οι εξωτερικοί δακτύλιοι Semicorex poly-Si για χάραξη χρησιμεύουν ως τα βασικά στοιχεία που συνδέουν τον δακτύλιο εξάτμισης και την κεφαλή ντους. Παρέχουν αξιόπιστη μηχανική υποστήριξη και στα δύο μέρη και τα κρατούν σταθερά τοποθετημένα στην κατάλληλη θέση. Επιπλέον, η χρήση εξωτερικών δακτυλίων Semicorex poly-Si για χάραξη μπορεί να αποτρέψει τη διάβρωση του πλάσματος στον θάλαμο χάραξης, γεγονός που διασφαλίζει αποτελεσματικά τη σταθερή εκτέλεση της διαδικασίας χάραξης.

3. Συμβατότητα με τη διαδικασία χάραξης

Οι εξωτερικοί δακτύλιοι χάραξης Semicorex poly-Si διαθέτουν χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, παρέχοντας εξαιρετική συμβατότητα με την κατασκευή πλακών πυριτίου, η οποία μειώνει σημαντικά τα ελαττώματα του πλακιδίου που προκαλούνται από τη μόλυνση από χαραγμένα υποπροϊόντα και εξασφαλίζει σημαντικά υψηλό ποσοστό απόδοσης στην παραγωγή ημιαγωγών.