Δακτύλιος εστίασης επεξεργασίας πλάσματος

Ο δακτύλιος εστίασης επεξεργασίας πλάσματος Semicorex είναι ειδικά σχεδιασμένος για να ανταποκρίνεται στις υψηλές απαιτήσεις της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος στη βιομηχανία ημιαγωγών. Τα προηγμένα, υψηλής καθαρότητας επικαλυμμένα εξαρτήματα με καρβίδιο πυριτίου είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα και είναι κατάλληλα για χρήση σε διάφορες εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων στρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου και ημιαγωγών επιταξίας.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Ο δακτύλιος εστίασης επεξεργασίας πλάσματος είναι εξαιρετικά σταθερός για RTA, RTP ή σκληρό χημικό καθαρισμό, καθιστώντας τα ιδανική επιλογή για χρήση σε θαλάμους χάραξης πλάσματος (ή ξηρής χάραξης). Σχεδιασμένοι για να βελτιώνουν την ομοιομορφία χάραξης γύρω από την άκρη ή την περίμετρο της γκοφρέτας, οι δακτύλιοι εστίασης ή οι δακτύλιοι ακμών έχουν σχεδιαστεί για να ελαχιστοποιούν τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση.

Η επίστρωση SiC μας είναι μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου με υψηλές ιδιότητες αντοχής στη διάβρωση και στη θερμότητα, καθώς και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Εφαρμόζουμε SiC σε λεπτές στρώσεις πάνω στον γραφίτη χρησιμοποιώντας τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Αυτό διασφαλίζει ότι οι δακτύλιοι εστίασης SiC έχουν ανώτερη ποιότητα και ανθεκτικότητα, καθιστώντας τους μια αξιόπιστη επιλογή για τις ανάγκες σας σε επεξεργασία χάραξης πλάσματος.

Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τον δακτύλιο εστίασης επεξεργασίας πλάσματος.

Παράμετροι του δακτυλίου εστίασης επεξεργασίας πλάσματος

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC
Ιδιότητες SiC-CVD
Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση
Πυκνότητα	g/cm ³	3.21
Σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers	2500
Μέγεθος κόκκου	μm	2~10
Χημική Καθαρότητα	%	99.99995
Θερμοχωρητικότητα	J kg-1 K-1	640
Θερμοκρασία εξάχνωσης	℃	2700
Καμπτική δύναμη	MPa (RT 4 σημείων)	415
Young's Modulus	Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)	430
Θερμική Διαστολή (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Θερμική αγωγιμότητα	(W/mK)	300

Χαρακτηριστικά του δακτυλίου εστίασης επεξεργασίας πλάσματος

- Επιστρώσεις καρβιδίου πυριτίου CVD για βελτίωση της διάρκειας ζωής.

- Θερμομόνωση κατασκευασμένη από καθαρό άκαμπτο άνθρακα υψηλής απόδοσης.

- Σύνθετη θέρμανση και πλάκα άνθρακα/άνθρακα. - Τόσο το υπόστρωμα γραφίτη όσο και το στρώμα καρβιδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετικές ιδιότητες κατανομής θερμότητας.

- Γραφίτης υψηλής καθαρότητας και επίστρωση SiC για αντοχή στις τρύπες και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής