Η ομοεπιταξία και η ετεροεπιταξία διαδραματίζουν κομβικούς ρόλους στην επιστήμη των υλικών. Η ομοεπιταξία περιλαμβάνει την ανάπτυξη ενός κρυσταλλικού στρώματος σε ένα υπόστρωμα από το ίδιο υλικό, εξασφαλίζοντας ελάχιστα ελαττώματα λόγω της τέλειας αντιστοίχισης του πλέγματος. Αντίθετα, η ετεροεπιταξ......
Διαβάστε περισσότεραΓια να επιτευχθούν οι απαιτήσεις υψηλής ποιότητας των διεργασιών κυκλώματος τσιπ IC με πλάτη γραμμής μικρότερα από 0,13μm έως 28nm για γκοφρέτες γυαλίσματος πυριτίου διαμέτρου 300mm, είναι απαραίτητο να ελαχιστοποιηθεί η μόλυνση από ακαθαρσίες, όπως ιόντα μετάλλων, στην επιφάνεια της γκοφρέτας.
Διαβάστε περισσότερα