Η ανάπτυξη του 3C-SiC, ενός σημαντικού πολυτύπου καρβιδίου του πυριτίου, αντανακλά τη συνεχή πρόοδο της επιστήμης των υλικών ημιαγωγών. Στη δεκαετία του 1980, οι Nishino et al. πέτυχε για πρώτη φορά ένα φιλμ 3C-SiC πάχους 4 μm σε ένα υπόστρωμα πυριτίου χρησιμοποιώντας χημική εναπόθεση ατμού (CVD)[1]......
Διαβάστε περισσότεραΤα παχιά, υψηλής καθαρότητας στρώματα καρβιδίου του πυριτίου (SiC), που συνήθως υπερβαίνουν το 1 mm, είναι κρίσιμα συστατικά σε διάφορες εφαρμογές υψηλής αξίας, συμπεριλαμβανομένων των τεχνολογιών κατασκευής ημιαγωγών και αεροδιαστημικής. Αυτό το άρθρο εμβαθύνει στη διαδικασία Chemical Vapor Deposit......
Διαβάστε περισσότεραΤο μονοκρυσταλλικό πυρίτιο και το πολυκρυσταλλικό πυρίτιο έχουν το καθένα τα δικά του μοναδικά πλεονεκτήματα και εφαρμόσιμα σενάρια. Το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο είναι κατάλληλο για ηλεκτρονικά προϊόντα υψηλής απόδοσης και μικροηλεκτρονικά λόγω των εξαιρετικών ηλεκτρικών και μηχανικών ιδιοτήτων του. Τ......
Διαβάστε περισσότεραΣτη διαδικασία παρασκευής της γκοφρέτας, υπάρχουν δύο βασικοί κρίκοι: ο ένας είναι η προετοιμασία του υποστρώματος και ο άλλος είναι η υλοποίηση της επιταξιακής διαδικασίας. Το υπόστρωμα, μια γκοφρέτα προσεκτικά κατασκευασμένη από ημιαγωγό μονοκρυσταλλικό υλικό, μπορεί να τοποθετηθεί απευθείας στη δ......
Διαβάστε περισσότεραΗ Chemical Vapor Deposition (CVD) είναι μια ευέλικτη τεχνική εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης που χρησιμοποιείται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών για την κατασκευή υψηλής ποιότητας, σύμμορφων λεπτών μεμβρανών σε διάφορα υποστρώματα. Αυτή η διαδικασία περιλαμβάνει χημικές αντιδράσεις αέριων πρόδρομων ουσι......
Διαβάστε περισσότερα