Τι είναι η διεργασία επιταξίας πυριτίου;

Η επιταξία πυριτίου είναι μια κύρια διαδικασία κατασκευής για ολοκληρωμένα κυκλώματα. Επιτρέπει την κατασκευή συσκευών IC σε ελαφρώς ντοπαρισμένα επιταξιακά στρώματα με βαριά θαμμένα στρώματα, ενώ σχηματίζει επίσης αναπτυγμένες συνδέσεις PN, λύνοντας έτσι το πρόβλημα απομόνωσης των IC.Επιταξιακές γκοφρέτες πυριτίουείναι επίσης ένα κύριο υλικό για την κατασκευή διακριτών συσκευών ημιαγωγών, επειδή μπορούν να εξασφαλίσουν υψηλή τάση διάσπασης των συνδέσεων PN ενώ μειώνουν την πτώση τάσης προς τα εμπρός των συσκευών. Η χρήση επιταξιακών πλακιδίων πυριτίου για την κατασκευή κυκλωμάτων CMOS μπορεί να καταστείλει τα φαινόμενα μανδάλωσης, επομένως, οι επιταξιακές γκοφρέτες πυριτίου χρησιμοποιούνται όλο και περισσότερο σε συσκευές CMOS.

Η Αρχή της Επιτάξεως Πυριτίου

Η επιταξία πυριτίου γενικά χρησιμοποιεί έναν κλίβανο επιταξίας σε φάση ατμού. Η αρχή της είναι ότι η αποσύνθεση πηγής πυριτίου (όπως σιλάνιο, διχλωροσιλάνιο, τριχλωροσιλάνιο και τετραχλωριούχο πυρίτιο αντιδρά με υδρογόνο για να δημιουργήσει πυρίτιο. Κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης, αέρια ντόπινγκ όπως PH3 και B2H6 μπορούν να εισαχθούν ταυτόχρονα. Η συγκέντρωση ντόπινγκ ελέγχεται με ακρίβεια με μια ειδική συγκέντρωση αερίου με μερική πίεση αντίσταση.

Τα πλεονεκτήματα του Silicon Epitaxy για συσκευές

1.Μειώστε την αντίσταση σειράς, απλοποιήστε τις τεχνικές απομόνωσης και μειώστε το αποτέλεσμα ανορθωτή ελεγχόμενου πυριτίου στο CMOS.

2. Τα επιταξιακά στρώματα υψηλής (χαμηλής) ειδικής αντίστασης μπορούν να αναπτυχθούν επιταξιακά σε υποστρώματα χαμηλής (υψηλής) ειδικής αντίστασης.

3. Μια επιταξιακή στρώση τύπου N(P) μπορεί να αναπτυχθεί σε ένα υπόστρωμα τύπου P(N) για να σχηματίσει απευθείας μια σύνδεση PN, εξαλείφοντας το πρόβλημα αντιστάθμισης που εμφανίζεται κατά την κατασκευή μιας ένωσης PN σε ένα μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα χρησιμοποιώντας τη μέθοδο διάχυσης.

4. Σε συνδυασμό με την τεχνολογία κάλυψης, η επιλεκτική επιταξιακή ανάπτυξη μπορεί να πραγματοποιηθεί σε καθορισμένες περιοχές, δημιουργώντας συνθήκες για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και συσκευών με ειδικές κατασκευές.

5. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης, ο τύπος και η συγκέντρωση του ντόπινγκ μπορούν να προσαρμοστούν όπως απαιτείται. η αλλαγή στη συγκέντρωση μπορεί να είναι είτε απότομη είτε σταδιακή.

6. Ο τύπος και η συγκέντρωση των προσμείξεων μπορούν να ρυθμιστούν όπως απαιτείται κατά τη διαδικασία επιταξιακής ανάπτυξης. Η αλλαγή συγκέντρωσης μπορεί να είναι απότομη ή σταδιακή.

Το Semicorex παρέχει Si επιταξιακό γεξαρτήματααπαιτείται για για εξοπλισμό ημιαγωγών. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com