Το Semicorex είναι ένα αξιόπιστο όνομα στη βιομηχανία ημιαγωγών, παρέχοντας υψηλής ποιότητας MOCVD Planet Susceptor για Semiconductor. Το προϊόν μας έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις συγκεκριμένες ανάγκες των κατασκευαστών ημιαγωγών που αναζητούν έναν φορέα που μπορεί να προσφέρει εξαιρετική απόδοση, σταθερότητα και ανθεκτικότητα. Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το προϊόν μας και πώς μπορούμε να σας βοηθήσουμε με τις ανάγκες σας στην κατασκευή ημιαγωγών.
Το MOCVD Planet Susceptor για Ημιαγωγούς διαθέτει αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία, διασφαλίζοντας τη σταθερότητά του σε υψηλές θερμοκρασίες έως και 1600°C. Είναι επίσης εξαιρετικά καθαρό, κατασκευασμένο με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας, διασφαλίζοντας την ομοιομορφία και τη συνοχή του προϊόντος, ακόμη και το θερμικό προφίλ και τη στρωτή ροή αερίου.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το MOCVD Planet Susceptor για Ημιαγωγούς.
Παράμετροι του MOCVD Planet Susceptor για Ημιαγωγούς
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπυλική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του SiC Coated Graphite Susceptor για MOCVD
- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών