Μικροπορώδη τσοκ SiC

Για την παροχή ανώτερης ακρίβειας και σταθερότητας καθώς και καθαριότητας για προηγμένη επεξεργασία πλακιδίων, τα Microporous SiC Chucks είναι κατασκευασμένα από καρβίδιο πυριτίου πολύ υψηλής καθαρότητας και έχουν μια ομοιόμορφα κατανεμημένη δομή μικροπορώδους (ή «μικροπόρου»), με αποτέλεσμα μια εξαιρετικά ομοιόμορφη κατανομή της προσρόφησης κενού σε μια πλήρως χρησιμοποιήσιμη επιφάνεια τσοκ. Αυτά τα τσοκ είναι ειδικά σχεδιασμένα για να ανταποκρίνονται στις αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών, της επεξεργασίας σύνθετων ημιαγωγών, των μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS) και άλλων βιομηχανιών που απαιτούν έλεγχο ακρίβειας.

Εξαιρετική απόδοση των Microporous SiC Chucks

Το κύριο πλεονέκτημα των μικροπορωδών τσοκ SiC είναι η πλήρης ενσωμάτωση της κατανομής κενού που επιτρέπει τον έλεγχο της μικροπορώδους μήτρας μέσα στο ίδιο το τσοκ, σε αντίθεση με τη χρήση αυλακώσεων και οπών όπως τα παραδοσιακά τσοκ κενού. Με τη χρήση μικροπορώδους δομής, η πίεση κενού μεταδίδεται ομοιόμορφα σε ολόκληρη την επιφάνεια του τσοκ, παρέχοντας την απαιτούμενη σταθερότητα και ομοιομορφία της δύναμης συγκράτησης για την ελαχιστοποίηση της παραμόρφωσης, της ζημιάς στην άκρη και της τοπικής συγκέντρωσης τάσεων, συμβάλλοντας έτσι στην αποφυγή των κινδύνων που σχετίζονται με λεπτότερα πλακίδια και προηγμένους κόμβους διεργασίας.

Η επιλογή τουΟύτωως υλικό για τα μικροπορώδη τσοκ SiC κατασκευάζεται λόγω των εξαιρετικών μηχανικών, θερμικών και χημικών χαρακτηριστικών του. Τα μικροπορώδη τσοκ SiC είναι επίσης σχεδιασμένα να είναι εξαιρετικά άκαμπτα και ανθεκτικά στη φθορά, έτσι ώστε να διατηρούν τη δεκάρα τους

σταθερότητα ακόμη και υπό συνεχή χρήση. Έχουν πολύ χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και πολύ υψηλή θερμική αγωγιμότητα. Έτσι, μπορούν να υποστηρίξουν εργασίες που περιλαμβάνουν γρήγορες αλλαγές στη θερμοκρασία και εντοπισμένη θέρμανση ή έκθεση στο πλάσμα, διατηρώντας παράλληλα την επιπεδότητα και την ακρίβεια θέσης της γκοφρέτας σε όλο τον κύκλο της διαδικασίας.

Η χημική σταθερότητα είναι ένα επιπλέον πλεονέκτημα των Microporous SiC τσοκ Semicorex. Ένα από τα βασικά πλεονεκτήματα του καρβιδίου του πυριτίου είναι η ικανότητά του να αντέχει την έκθεση σε επιβλαβή αέρια (συμπεριλαμβανομένων των διαβρωτικών αερίων, οξέων και αλκαλίων) που υπάρχουν συνήθως σε επιθετικά συστήματα πλάσματος που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή ημιαγωγών. Το υψηλό επίπεδο χημικής αδράνειας που παρέχεται από τα τσοκ Semicorex Microporous SiC επιτρέπει την ελάχιστη υποβάθμιση της επιφάνειας και τη δημιουργία σωματιδίων όταν έρχεται σε επαφή με διάφορες διεργασίες, γεγονός που επιτρέπει την επεξεργασία του καθαρού δωματίου κάτω από πολύ αυστηρά όρια καθαριότητας και αυξάνει την απόδοση και τη συνέπεια της διαδικασίας.

Οι διαδικασίες σχεδιασμού και κατασκευής της Semicorex επικεντρώνονται στην επίτευξη του υψηλότερου δυνατού βαθμού ακρίβειας και ποιότητας κατά τη δημιουργία οποιουδήποτε μικροπορώδους τσοκ SiC. Πλήρης επιπεδότητα επιφάνειας, παραλληλισμός και τραχύτητα επιτυγχάνονται με το Microporous SiC Chuck και οι αυλακώσεις που υπάρχουν συνήθως σε πολλούς άλλους τυπικούς τύπους τσοκ απουσιάζουν από την επιφάνεια του Microporous SiC Chuck, με αποτέλεσμα σημαντικά λιγότερη συσσώρευση σωματιδίων και πολύ ευκολότερο καθαρισμό και συντήρηση από την πλειονότητα των τυπικών τσοκ. Αυτό ενισχύει την αξιοπιστία των μικροπορωδών τσοκ SiC για όλες τις ευαίσθητες στη μόλυνση εφαρμογές.

Ευρεία Εφαρμογές

Τα Semicorex Microporous SiC τσοκ παράγονται σε πολλές προσαρμόσιμες διαμορφώσεις για να φιλοξενήσουν τη μεγάλη ποικιλία εργαλείων διεργασίας και εφαρμογών που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών. Αρκετές διαθέσιμες διαμορφώσεις περιλαμβάνουν διάφορους τύπους διαμέτρων, πάχους, επίπεδα πορώδους, διεπαφές κενού και τύπους στερέωσης. Το Semicorex Microporous SiC Chuck είναι επίσης σχεδιασμένο να λειτουργεί με σχεδόν όλα τα υλικά υποστρώματος, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίου, του καρβιδίου του πυριτίου, του ζαφείριου, του νιτριδίου του γαλλίου (GaN) και του γυαλιού. Έτσι, το Semicorex Microporous SiC Chuck μπορεί εύκολα να ενσωματωθεί σε διάφορους εξοπλισμούς OEM και πλατφόρμες διεργασιών που χρησιμοποιούνται ήδη από τους πελάτες.

Τα τσοκ Semicorex Microporous SiC προσφέρουν σημαντικά βελτιωμένη σταθερότητα και προβλεψιμότητα στη διαδικασία κατασκευής σας, καθώς και αυξημένο χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού. Η σταθερή προσρόφηση υπό κενό σε όλο το τεμάχιο εργασίας εγγυάται τη σωστή ευθυγράμμιση του πλακιδίου σε όλες τις κρίσιμες λειτουργίες, συμπεριλαμβανομένης της λιθογραφίας, της χάραξης, της εναπόθεσης, της στίλβωσης και της επιθεώρησης. Η ανώτερη ανθεκτικότητα και η αντοχή στη φθορά που σχετίζονται με το μικροπορώδες SiC οδηγούν σε χαμηλότερα ποσοστά αντικατάστασης και συνεπώς μείωση των εξόδων προληπτικής συντήρησης και του συνολικού κόστους ζωής που σχετίζονται με αυτές τις συσκευές.

Τα Semicorex Microporous SiC Chucks παρουσιάζουν μια αξιόπιστη μέθοδο υψηλής απόδοσης για το χειρισμό γκοφρετών επόμενης γενιάς. Ο συνδυασμός ομοιόμορφης κατανομής κενού με ανώτερη θερμική και χημική σταθερότητα, εξαιρετική μηχανική ακεραιότητα και ανώτερη ικανότητα καθαρισμού οδηγεί σε λύσεις τσοκ κενού Semicorex που αποτελούν αναπόσπαστο μέρος της προηγμένης διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών με συνέπεια, σιγουριά και αξιοπιστία.