Μικροπορώδη sic chuck

Το Semicorex Microporous SIC Chuck είναι ένα υπερσύγχρονο δισκίο τσοκ κενών που έχει σχεδιαστεί για χειρισμό ακριβείας των πλακιδίων σε εφαρμογές παραγωγής ημιαγωγών. Λειτουργεί ως ουσιαστικό μέρος της παραλαβή, τη συγκράτηση και τη μεταφορά WAFT μέσω των διαφορετικών σταδίων επεξεργασίας των πλακιδίων, η οποία περιλαμβάνει καθαρισμό, χάραξη, εναπόθεση και λιθογραφία. Αυτό το πλακίδιο Chuck εγγυάται εξαιρετική πρόσφυση και σταθερότητα με αποτέλεσμα το δίσκο να κρατηθεί με ασφάλεια κατά τη διάρκεια σύνθετων επιχειρήσεων.

Η μικροπορώδη SIC Chuck έχει μια μικροπορώδη δομή επιφάνειας. Αυτό παρασκευάζεται από καρβίδιο πυριτίου (SIC) υψηλής ποιότητας και εξασφαλίζει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντοχή και μακροπρόθεσμη ανθεκτικότητα. Επιτρέπει την ομοιόμορφη δύναμη αναρρόφησης σε ολόκληρη την επιφάνεια του πλακιδίου, ελαχιστοποιώντας τη βλάβη στο δίσκο, εξασφαλίζοντας παράλληλα αξιόπιστο χειρισμό σε όλο τον κύκλο επεξεργασίας. Τα βασικά υλικά που προσφέρονται περιλαμβάνουν ανοξείδωτο χάλυβα SUS430, κράμα αλουμινίου 6061, κεραμικό πυκνό κεραμικό αλουμίνα αλουμίνα, γρανίτη και πυριτίου.

Χαρακτηριστικά και οφέλη

Δομή επιφάνειας μικροπώτης: Το SIC Chuck έχει σχεδιαστεί με μικροπορώδη επιφάνεια, ενισχύοντας την αποτελεσματικότητα της απορρόφησης κενού. Αυτό εξασφαλίζει ότι ακόμη και ευαίσθητα πλακίδια διατηρούνται ασφαλώς στη θέση τους χωρίς να προκαλούν παραμόρφωση ή ζημιά.

Υλική ευελιξία: Το υλικό βάσης Chuck είναι προσαρμόσιμο για να ταιριάζει σε συγκεκριμένες ανάγκες διαδικασίας:

• SUS430 Ανοξείδωτος Χάλυβα: Προσφέρει καλή αντοχή στη διάβρωση σε προσιτή τιμή, ιδανική για τυποποιημένες εφαρμογές.
• Κράμα αλουμινίου 6061: ελαφρύ με υψηλή θερμική αγωγιμότητα, προσφέροντας εξαιρετική διάχυση θερμότητας για εφαρμογές που απαιτούν σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας.
• Πυκνό κεραμικό αλουμίνα (99% AL2O3): παρέχει εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, κατάλληλη για εφαρμογές υψηλής ακρίβειας στην παραγωγή ημιαγωγών.
• Γρανίτης: Γνωστός για τις εξαιρετικές μηχανικές του ιδιότητες, ο γρανίτης προσφέρει εξαιρετική απόσβεση δόνησης, καθιστώντας το ιδανικό για χειρισμό υψηλής ακρίβειας, όπου η μηχανική σταθερότητα είναι απαραίτητη.
• Κεραμικό καρβίδιο του πυριτίου: Η τελική επιλογή για υψηλή θερμική αγωγιμότητα και αντίσταση σε θερμικό σοκ, παρέχοντας μακροχρόνια απόδοση σε απαιτητικά περιβάλλοντα ημιαγωγών.

Ανώτερη ακρίβεια επιπεδότητας: Το Chuck διαθέτει εξαιρετική επίπεδη επίπεδη, απαραίτητη για την ακρίβεια χειρισμού των πλακιδίων. Η ακρίβεια επιπεδότητας των διαφορετικών υλικών βάσης ποικίλλει ως εξής:

Κράμα αλουμινίου 6061: Το καλύτερο κατάλληλο για εφαρμογές που απαιτούν μέτρια επίπεδη και ελαφριά.

SUS430 Ανοξείδωτος Χάλυβα: Προσφέρει καλή επίπεδη επίπεδη, συνήθως επαρκείς για τις περισσότερες διαδικασίες ημιαγωγών.

Η πυκνή αλουμίνα (99% AL2O3): παρέχει την υψηλότερη επίπεδη επιπεδότητα, εξασφαλίζοντας τη συγκράτηση πλακιδίων ακριβείας κατά τη διάρκεια ευαίσθητων διεργασιών.

Γρανίτης και κεραμικά SIC: Και τα δύο υλικά προσφέρουν υψηλή επιπεδότητα και εξαιρετική μηχανική σταθερότητα, παρέχοντας ανώτερη ακρίβεια για απαιτητικό χειρισμό πλακιδίων.

Προσαρμόσιμο βάρος: Το βάρος του Chuck εξαρτάται από το επιλεγμένο υλικό βάσης:

Κράμα αλουμινίου 6061: το ελαφρύτερο υλικό, ιδανικό για διαδικασίες που απαιτούν συχνή επανατοποθέτηση ή χειρισμό.

Γρανίτης: προσφέρει ένα μέτριο βάρος, παρέχοντας σταθερή σταθερότητα χωρίς υπερβολική μάζα.

Κεραμικά καρβιδίου πυριτίου και αλουμίνας: Τα βαρύτερα υλικά, προσφέροντας ανώτερη δύναμη και ακαμψία για απαιτητικές εφαρμογές.

Υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα: Το SIC Chuck εξασφαλίζει ότι τα πλακίδια αντιμετωπίζονται με μέγιστη ακρίβεια, προσφέροντας ελάχιστη μετατόπιση ή παραμόρφωση δίσκων κατά τη διάρκεια της μεταφοράς μέσω σταδίων επεξεργασίας.

Εφαρμογές στον κατασκευαστή ημιαγωγώνg

Ο μικροπορώδης SIC Chuck χρησιμοποιείται κυρίως στις εφαρμογές χειρισμού πλακιδίων εντός διαδικασιών κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων:

• Καθαρισμός πλακιδίων: Αποτελεσματικά διατηρεί πλακίδια κατά τη διάρκεια των διαδικασιών καθαρισμού για να εξασφαλιστεί ο πλήρης και ομοιόμορφος καθαρισμός χωρίς να προκαλεί ζημιά.
• Χάραξη και λιθογραφία: Παρέχει σταθερή εκμετάλλευση πλακιδίων κατά τη διάρκεια της χάραξης ή της λιθογραφίας, εξασφαλίζοντας την ακρίβεια και την ακρίβεια στη διαμόρφωση.
• Απορρίμματα: Εξασφαλίζει τα πλακίδια κατά τη διάρκεια της κατάθεσης φυσικού ατμού (PVD) ή της χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), που είναι κρίσιμη για τις επικαλύψεις λεπτών ταινιών στην κατασκευή ημιαγωγών.
• Επιθεώρηση: Ενεργοποιεί την ασφαλή εκμετάλλευση των πλακιδίων κατά τη διάρκεια των σταδίων επιθεώρησης, εξασφαλίζοντας ότι το δίσκο παραμένει τέλεια ευθυγραμμισμένη και σταθερή για απεικόνιση ή μετρήσεις υψηλής ανάλυσης.
• Συσκευασία: Βοηθά στη διαδικασία συσκευασίας πλακιδίων, παρέχοντας ασφαλή χειρισμό για πλακίδια πριν ή μετά τον διαχωρισμό των τσιπ.

Το Semicorex Microporous SIC Chuck έχει σχεδιαστεί με τις ανάγκες της σύγχρονης κατασκευής ημιαγωγών. Είτε χρειάζεστε ελαφριά υλικά για εύκολη επανατοποθέτηση ή βαρύτερα, πιο άκαμπτα υλικά για ακριβή χειρισμό, ο τσοκ μας μπορεί να προσαρμοστεί ώστε να ταιριάζει στις ακριβείς προδιαγραφές σας. Με μια σειρά επιλογών βάσης υλικού, που προσφέρει μοναδικά οφέλη για συγκεκριμένες ανάγκες επεξεργασίας, το Semicorex προσφέρει ένα προϊόν που συνδυάζει την ακρίβεια, την ευελιξία και την ανθεκτικότητα. Επιπλέον, η μικροπορώδη επιφάνεια εξασφαλίζει ότι οι πλακές κρατούνται με ασφάλεια και ομοιόμορφα, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο βλάβης και εξασφαλίζοντας τον χειρισμό της ποιότητας σε κάθε διαδικασία.

Για τους κατασκευαστές ημιαγωγών που αναζητούν αξιόπιστες, προσαρμόσιμες και υψηλής απόδοσης λύσεις χειρισμού πλακιδίων, το Semicorex Microporous SIC Chuck προσφέρει την τέλεια ισορροπία ακρίβειας, υλικού ευελιξία και μακροχρόνιες επιδόσεις. Με το προϊόν μας, μπορείτε να είστε βέβαιοι ότι η διαδικασία χειρισμού των πλακιδίων σας θα είναι αποτελεσματική, ασφαλής και εξαιρετικά ακριβής.