Ο δίσκος χάραξης πλάσματος ICP της Semicorex έχει σχεδιαστεί ειδικά για διαδικασίες χειρισμού γκοφρετών υψηλής θερμοκρασίας, όπως η επιταξία και το MOCVD. Με σταθερή αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία έως και 1600°C, οι φορείς μας παρέχουν ακόμη και θερμικά προφίλ, στρωτά μοτίβα ροής αερίου και αποτρέπουν τη διάχυση μόλυνσης ή ακαθαρσιών.
Ο δίσκος χάραξης πλάσματος ICP μας είναι επικαλυμμένος με καρβίδιο του πυριτίου χρησιμοποιώντας τη μέθοδο CVD, η οποία είναι η ιδανική λύση για διαδικασίες χειρισμού γκοφρετών που απαιτούν χημικό καθαρισμό σε υψηλή θερμοκρασία και σκληρό. Οι φορείς του Semicorex διαθέτουν λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC που παρέχει ομοιόμορφα θερμικά προφίλ, στρωτή ροή αερίων και αποτρέπει τη μόλυνση ή τη διάχυση ακαθαρσιών.
Στη Semicorex, εστιάζουμε στην παροχή υψηλής ποιότητας, οικονομικά αποδοτικών προϊόντων στους πελάτες μας. Ο δίσκος χάραξης πλάσματος ICP έχει πλεονέκτημα τιμής και εξάγεται σε πολλές ευρωπαϊκές και αμερικανικές αγορές. Στόχος μας είναι να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας, παρέχοντας προϊόντα σταθερής ποιότητας και εξαιρετική εξυπηρέτηση πελατών.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με το ICP Plasma Etching Tray.
Παράμετροι ICP Plasma Etching Tray
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά του ICP Plasma Etching Tray
- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών