Τα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι οι βασικοί οριζόντιοι φορείς γκοφρέτας για τις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών αιχμής, οι οποίοι κατασκευάζονται με ακρίβεια από καρβίδιο πυριτίου υψηλής ποιότητας ημιαγωγών. Με εκτεταμένες και δοκιμασμένες στο χρόνο ικανότητες κατασκευής, η Semicorex μπορεί να παρέχει στους διακεκριμένους πελάτες μας εξαιρετικά συμβατά, ειδικά κατασκευασμένα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου.
Semicorex οριζόντιασκάφη καρβιδίου του πυριτίουσχηματίζονται ενσωματωμένα χρησιμοποιώντας τεχνολογία τρισδιάστατης εκτύπωσης και στη συνέχεια κατασκευάζονται μέσω πυροσυσσωμάτωσης σε υψηλή θερμοκρασία. Αυτά τα εξαρτήματα, ειδικά κατασκευασμένα για να ταιριάζουν σε διάφορα μεγέθη οριζόντιων κλιβάνων υψηλής θερμοκρασίας, εφαρμόζονται ευρέως για να ασφαλίζουν σταθερά τη συγκράτηση του πλακιδίου σε κρίσιμες διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, συμπεριλαμβανομένης της διάχυσης, της οξείδωσης και της εναπόθεσης χημικών ατμών.
| Σκηνικά θέατρου |
Οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex |
| Χύδην πυκνότητα |
3,05 g/cm³ |
| Σωματίδια |
3 μm |
| Αντοχή κάμψης |
260 Mpa |
| Αντοχή σε Θλίψη |
500 Mpa |
| Συντελεστής θερμικής διαστολής (θερμοκρασία δωματίου έως 1000℃) |
4,3*10-6 |
| Καθαρότητα |
5,38 ppm |
| Συντελεστής εφελκυσμού |
354 Gpa |
| Θερμική αγωγιμότητα |
135 W/(m·K) |

Η απαράμιλλη αντοχή και σκληρότητα του υλικού δίνουν στα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex εξαιρετική ικανότητα στήριξης, η οποία τους επιτρέπει να μεταφέρουν σταθερά πολλαπλές γκοφρέτες ταυτόχρονα. Μέσω μηχανικής κατεργασίας αυλακώσεων ακριβείας, τα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex μπορούν να στερεώσουν και να συγκρατήσουν με ασφάλεια τις γκοφρέτες ημιαγωγών. Η ομοιόμορφα τοποθετημένη δομή υποδοχής διασφαλίζει ότι οι γκοφρέτες διατηρούν μια σταθερή θέση σε όλο τον κύκλο επεξεργασίας, διασφαλίζοντας έτσι τη συνέπεια και την ακρίβεια των διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών.
Χάρη στην ανώτερη αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες και αντοχή στη διάβρωση, τα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex είναι ικανά να αντέχουν σε αυστηρά περιβάλλοντα λειτουργίας, όπως ατμόσφαιρες οξυγόνου, αζώτου ή υδροχλίου χαμηλής συγκέντρωσης σε υψηλή θερμοκρασία. Αυτές οι εξαιρετικές ιδιότητες υλικού μπορούν να αποτρέψουν αποτελεσματικά τη διάβρωση και τη ζημιά που προκαλούνται από διαβρωτικά αέρια υψηλής θερμοκρασίας, τα οποία παρατείνουν σημαντικά τη διάρκεια ζωής των σκαφών.
Διαφορετικά από τα συμβατικά σκάφη γραφίτη επικαλυμμένα με καρβίδιο πυριτίου, τα οριζόντια σκάφη καρβιδίου του πυριτίου Semicorex κατασκευάζονται από υψηλής καθαρότητας ποιότητας ημιαγωγώνκαρβίδιο του πυριτίου(99,999%) με εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες. Αυτή η επιλογή υλικών κορυφαίας ποιότητας εξαλείφει τον κίνδυνο εξάτμισης ρύπων ή ξεφλούδισμα της επίστρωσης, ακόμη και όταν εκτίθεται σε υψηλές θερμοκρασίες και σκληρά διαβρωτικά περιβάλλοντα. Επιπλέον, κάθε σκάφος μας από καρβίδιο του πυριτίου υποβάλλεται σε αυστηρές διαδικασίες καθαρισμού με υπερήχους πριν από τη συσκευασία υπό κενό, γεγονός που εγγυάται τη συμμόρφωση με τα πρότυπα καθαριότητας που απαιτούνται από τις προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.