Οριζόντια φούρνο θαλάμου SIC σκάφη

Τα σκαμπανικά σκάφη Semicorex οριζόντιος θάλαμος είναι ένα πολύ μηχανικό τμήμα που συγκρατεί και μεταφέρει πλακίδια ή υποστρώματα ενώ υποβάλλονται σε θερμική επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας σε οριζόντιο κλιβάνλο. Το σκάφος του πλακιδίου είναι κατασκευασμένο από SIC υψηλής καθαρότητας καρβίδιο πυριτίου (sic), η οποία παρέχει τον μοναδικό συνδυασμό αντοχής, θερμικής σταθερότητας και υψηλής χημικής αντοχής που απαιτείται σε διεργασίες ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και προηγμένων κεραμικών. Το σκάφος δίσκου δρα επίσης ως άκαμπτη δομή για να κρατήσει τα δισκογραφικά δίσκους στη θέση του, η σταθερότητα των διαστάσεων και η ακρίβεια των πλακιδίων δεν θα χαθούν με εκτεταμένη έκθεση στις ακραίες θερμοκρασίες διεργασίας.

Οι ανώτερες ιδιότητες του καρβιδίου του πυριτίου παρέχουν το οριζόντιο φούρνο του φούρνου SIC ένα ανώτερο πλεονέκτημα απόδοσης σε σύγκριση με τα τυπικά υλικά για σκάφη πλακιδίων όπως χαλαζία ή αλουμίνα. Μπορούν καλύτερα να αντέχουν σε σπάνιους κύκλους θέρμανσης και ψύξης μικρής διάρκειας λόγω του υψηλού σημείου τήξης, της αντοχής σε θερμικό σοκ και της μηχανικής αντοχής, ανεξάρτητα από την ταχύτητα θέρμανσης και ψύξης ή άκρα του θερμικού κύκλου. Δεδομένου ότι ένας οριζόντιος κλιβάνος βασίζεται εξ ολοκλήρου στη συνοχή των θέσεων των πλακών και στην έκθεση των συνθηκών της διαδικασίας, η σωστή ευθυγράμμιση των πλακών παρέχει συνεπή απόδοση και επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Ο χαμηλός συντελεστής θερμικής επέκτασης σημαίνει ότι το σκάφος δεν θα στρεβλώσει τη ζωή του και θα παρέχει διατηρημένο σχήμα και απόσταση των πλακιδίων.

Η λεπτή, πυκνή δομή του ανακρυσταλλοποιημένου SIC παρέχει αξιοσημείωτη αντίσταση στην οξείδωση, τη διάβρωση και τη μόλυνση από τα αέρια διεργασίας και τα υποπροϊόντα. Αυτό καθιστά το σκάφος ιδιαίτερα επωφελές για τις διαδικασίες σε επιθετικές ατμόσφαιρες όπως η διάχυση, η οξείδωση, το LPCVD και η ανόπτηση. Η υψηλή χημική αδράνεια του SIC αποφεύγει τις αντιδράσεις με τις επιφάνειες του δίσκου, διατηρώντας έτσι την καθαρότητα των προϊόντων και ελαχιστοποιώντας την παραγωγή σωματιδίων στον κλίβανο. Τα σκάφη SIC μπορούν να βοηθήσουν τους κατασκευαστές που πρέπει να ανταποκριθούν σε αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας, παρέχοντας καθαρότερα περιβάλλοντα επεξεργασίας και βελτιωμένη ποιότητα δίσκων.

Αυτά τα σκάφη μπορούν να παραχθούν με διάφορες πολύπλοκες γεωμετρίες και συγκεκριμένες διαστάσεις με συγκεκριμένες διαστάσεις με τεχνικές κατεργασίας και σχηματισμού ακριβείας. Τα σχέδια χρησιμοποιούν γενικά πολλαπλές παράλληλες υποδοχές/αυλακώσεις για να κρατήσουν με ασφάλεια τις πλακές σε οριζόντιο προσανατολισμό και να εκθέσουν ομοιόμορφα ολόκληρη την επιφάνεια του δίσκου σε θερμικές συνθήκες. Η απόσταση και οι γωνίες της υποδοχής προς την τοποθέτηση μπορούν επίσης να βελτιστοποιηθούν ώστε να ταιριάζουν με πλακίδια άλλων διαμέτρων, όπως 150 mm, 200 mm ή 300 mm και άμεση ροή αέρα κατά τη διάρκεια των επιδράσεων επεξεργασίας, ενώ παράλληλα επιτυγχάνονται ομοιομορφία θερμοκρασίας για επεξεργασία.

Όχι μόνο μπορεί να σχεδιαστεί ο οριζόντιος φούρνος του φούρνου σε τυποποιημένες αναχωρήσεις, αλλά μπορούν να σχεδιαστούν για να λειτουργούν με αυτοματοποιημένους φορτωτές πλακιδίων, με αποτέλεσμα μια απρόσκοπτη ενσωμάτωση στις σύγχρονες γραμμές παραγωγής υψηλής απόδοσης. Ο ισχυρός σχεδιασμός θα κάνει τα σκάφη λιγότερο πιθανό να τσιπ ή να σπάσουν κατά τη διάρκεια του χειρισμού και να μειώσουν το χρόνο διακοπής και το κόστος για αντικαταστάσεις.

Η θερμική αγωγιμότητα τουκαρβίδιο πυριτίουΑντιπροσωπεύει ένα άλλο βασικό πλεονέκτημα που διευκολύνει την αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας μεταξύ των πλακών και του περιβάλλοντος του κλιβάνου. Το πλεονέκτημα είναι ότι οι κατασκευαστές είναι σε θέση να επιτύχουν πιο ομοιόμορφες συνθήκες επεξεργασίας και να συντομεύουν τους χρόνους κύκλου, γεγονός που μπορεί να αυξήσει την αποτελεσματικότητα της παραγωγής. Τα σκάφη SIC παρέχουν συνεπή και επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα είτε χρησιμοποιούνται για την κατασκευή των ημιαγωγών, την παραγωγή ηλιακών κυττάρων ή άλλα προηγμένα υλικά επεξεργασίας σε αυξημένες θερμοκρασίες.

Συνοπτικά, τα οριζόντια σκάφη του φούρνου του θαλάμου SIC αποτελούν βασικό στοιχείο για τους κατασκευαστές που θέλουν να παράγουν πλακίδια με υψηλής απόδοσης, μακροχρόνιους και ανθεκτικούς σε μολυσματικές μεταφορείς. Διαθέτει μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα και χημική αδράνεια που είναι απαράμιλλη σε οριζόντιες εφαρμογές φούρνου. Επιλέγοντας σκάφη καρβιδίου πυριτίου, οι χειριστές μπορούν να αξιοποιήσουν τον καλύτερο έλεγχο των διαδικασιών, τις υψηλότερες αποδόσεις και να ελαχιστοποιήσουν τις λειτουργικές διακοπές λόγω συντήρησης. Συνολικά προβλέπει πιο αποτελεσματικές, οικονομικά αποδοτικές παραγωγές.