Σπίτι > Προϊόντα > Επικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίου > ICP Etching Carrier > Επικάλυψη SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος
Προϊόντα
Επικάλυψη SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος

Επικάλυψη SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος

Όταν πρόκειται για διαδικασίες χειρισμού γκοφρέτας, όπως η επιταξία και το MOCVD, η επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας της Semicorex για θαλάμους χάραξης πλάσματος είναι η κορυφαία επιλογή. Οι φορείς μας παρέχουν ανώτερη αντοχή στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία και ανθεκτική χημική αντοχή χάρη στη λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Στη Semicorex, κατανοούμε τη σημασία του υψηλής ποιότητας εξοπλισμού χειρισμού γκοφρετών. Αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο η επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος έχει σχεδιαστεί ειδικά για περιβάλλοντα χημικού καθαρισμού υψηλής θερμοκρασίας και σκληρού χημικού καθαρισμού. Οι φορείς μας παρέχουν ακόμη και θερμικά προφίλ, μοτίβα στρωτή ροής αερίου και αποτρέπουν τη μόλυνση ή τη διάχυση ακαθαρσιών.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με την επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος.


Παράμετροι επικάλυψης SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος

Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC

Ιδιότητες SiC-CVD

Κρυσταλλική Δομή

FCC β φάση

Πυκνότητα

g/cm ³

3.21

Σκληρότητα

Σκληρότητα Vickers

2500

Μέγεθος κόκκου

μm

2~10

Χημική Καθαρότητα

%

99.99995

Θερμοχωρητικότητα

J kg-1 K-1

640

Θερμοκρασία εξάχνωσης

2700

Καμπτική δύναμη

MPa (RT 4 σημείων)

415

Young's Modulus

Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃)

430

Θερμική Διαστολή (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Θερμική αγωγιμότητα

(W/mK)

300


Χαρακτηριστικά της επίστρωσης SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος

- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια

Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C

Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.

Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.

Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.

- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου

- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ

- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών





Hot Tags: Επικάλυψη SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους εγχάραξης πλάσματος, Κίνα, κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστασιακό, προσαρμοσμένο, μαζικό, προηγμένο, ανθεκτικό
Σχετική Κατηγορία
Αποστολή Ερώτησης
Μη διστάσετε να δώσετε το ερώτημά σας στην παρακάτω φόρμα. Θα σας απαντήσουμε σε 24 ώρες.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept