Όταν πρόκειται για διαδικασίες χειρισμού γκοφρέτας, όπως η επιταξία και το MOCVD, η επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας της Semicorex για θαλάμους χάραξης πλάσματος είναι η κορυφαία επιλογή. Οι φορείς μας παρέχουν ανώτερη αντοχή στη θερμότητα, ακόμη και θερμική ομοιομορφία και ανθεκτική χημική αντοχή χάρη στη λεπτή επικάλυψη κρυστάλλου SiC.
Στη Semicorex, κατανοούμε τη σημασία του υψηλής ποιότητας εξοπλισμού χειρισμού γκοφρετών. Αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο η επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος έχει σχεδιαστεί ειδικά για περιβάλλοντα χημικού καθαρισμού υψηλής θερμοκρασίας και σκληρού χημικού καθαρισμού. Οι φορείς μας παρέχουν ακόμη και θερμικά προφίλ, μοτίβα στρωτή ροής αερίου και αποτρέπουν τη μόλυνση ή τη διάχυση ακαθαρσιών.
Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για να μάθετε περισσότερα σχετικά με την επίστρωση SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος.
Παράμετροι επικάλυψης SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος
Βασικές προδιαγραφές επίστρωσης CVD-SIC |
||
Ιδιότητες SiC-CVD |
||
Κρυσταλλική Δομή |
FCC β φάση |
|
Πυκνότητα |
g/cm ³ |
3.21 |
Σκληρότητα |
Σκληρότητα Vickers |
2500 |
Μέγεθος κόκκου |
μm |
2~10 |
Χημική Καθαρότητα |
% |
99.99995 |
Θερμοχωρητικότητα |
J kg-1 K-1 |
640 |
Θερμοκρασία εξάχνωσης |
℃ |
2700 |
Καμπτική δύναμη |
MPa (RT 4 σημείων) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (κάμψη 4 pt, 1300℃) |
430 |
Θερμική Διαστολή (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Θερμική αγωγιμότητα |
(W/mK) |
300 |
Χαρακτηριστικά της επίστρωσης SiC υψηλής θερμοκρασίας για θαλάμους χάραξης πλάσματος
- Αποφύγετε το ξεφλούδισμα και εξασφαλίστε την επικάλυψη σε όλη την επιφάνεια
Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία: Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες έως 1600°C
Υψηλή καθαρότητα: γίνεται με εναπόθεση χημικών ατμών CVD υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια και λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
- Επιτύχετε το καλύτερο μοτίβο στρωτή ροής αερίου
- Εγγύηση ομοιομορφίας του θερμικού προφίλ
- Αποτρέψτε τυχόν μόλυνση ή διάχυση ακαθαρσιών